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题名新一代超高速SiGe BiCMOS工艺研究进展
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作者
马羽
张培健
徐学良
陈仙
易孝辉
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机构
中电科芯片技术(集团)有限公司
模拟集成电路国家级重点实验室
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出处
《微电子学》
CAS
北大核心
2023年第2期272-285,共14页
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基金
国防科技工业抗辐照应用技术创新中心创新基金资助项目(KFZC2020020702)
重庆市博士后特别资助项目(YBSH2103)。
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文摘
综述了近年来国际上SiGe BiCMOS工艺的最新研究成果和工艺量产情况,具体展现和讨论了不同机构所研发的器件结构、工艺流程及其性能,并且展望了器件及工艺进一步优化的方向。虽然目前传统的双多晶自对准选择性外延基区结构实现了最佳的量产性能,但受限于内外基区连接电阻和选择性外延基区薄膜的不均匀性,其器件性能很难再有进一步提高。非选择性外延基区结构在实验室获得了极高的性能,但其自对准特性较低,这妨碍了其工业量产和更大规模集成。维持HBT器件与更小尺寸基线CMOS的工艺兼容性变得越来越困难。对高性能、工业量产和低成本进行综合,仍然是一项具有较大挑战性的任务。
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关键词
SiGe
BiCMOS
SiGe
HBT
高频性能
工业量产
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Keywords
SiGe BiCMOS
SiGe HBT
high frequency performance
mass production
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名工业裁切机
被引量：3
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作者
苏平永
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机构
宁波华翔汽车纤维研发有限公司
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出处
《中国新技术新产品》
2016年第2期90-90,共1页
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文摘
工业裁切机是用于各行各业的片材的分割与裁切,它不需要任何模具;通过系统软件来控制,然后直接对产品进行裁切,只要在操作平台上设置好相应的参数,电脑传输相应的指令给裁切机,裁切机就根据接受的设计图稿进行快速裁切,自动化程序高,操作简单,是目前很多行业所采用的裁切设备。目前国际知名工业裁切机主要用在衣服面料、纸张、复合材料,特别是航空复材,风力叶片,汽车复材,玻纤布料下料等方面,已是企业量产化的成熟裁切设备,国内裁床在量产化使用过程中问题还较多,国内还需要取长补短,努力赶上或超越。
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关键词
工业裁切机
裁切机的特点
裁切机的技术参数
裁切机的运用与发展
裁切机供应商
工业裁切机量产化系统组成
裁切工艺路线
空气过滤循环系统
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分类号
TG172
[金属学及工艺—金属表面处理]
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