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题名小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的研究
被引量：2
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作者
廖斌
周蓓
曹焕丽
朱守正
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机构
华东师范大学信息学院电子系
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出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第8期1860-1864,共5页
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基金
国家自然科学基金(No.60471015)
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文摘
本文提出一种基于平面螺旋微带的2.45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律.研究表明,在低气压条件下,输入功率不超过220mW时,空气开始放电;而在常压条件下,输入功率不超过1.5W时,氩气开始放电;随着微波等离子体的激励,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数都发生变化.这为电感耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.
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关键词
平面螺旋微带
小功率电感耦合微波等离子体源
谐振特性
气体放电
S参数
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Keywords
planar spiral microstrip
low power inductively-coupled microwave plasma source
resonance
gas discharge
S parameter
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分类号
TN99
[电子电信—信号与信息处理]
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