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日本近年RF MEMS开关研究的进展 被引量：4
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作者 景玉鹏 黄钦文 +7 位作者 石莎莉 焦斌斌 李超波 董立军 杨清华 欧毅 陈大鹏 叶甜春 《电子工业专用设备》 2006年第1期43-45,共3页
RFMEMS是射频表面微机械系统简称。射频表面微机械系统现在包括滤波器和微型电器元件,如开关,微可变电容和微可变电感。射频开关按驱动原理分有静电,压电,电磁以及热驱动。由于这一研究的高频化和高精度的特点,目前开关的研究集中在静... RFMEMS是射频表面微机械系统简称。射频表面微机械系统现在包括滤波器和微型电器元件,如开关,微可变电容和微可变电感。射频开关按驱动原理分有静电,压电,电磁以及热驱动。由于这一研究的高频化和高精度的特点,目前开关的研究集中在静电驱动的方式的研究上,从上市的产品来看,静电驱动是最有希望的RFMEMS的执行机构。静电执行器驱动的RFMEMS开关成为下一代高频通讯中的关键部件。 展开更多
关键词 射频表面微机械系统 高频开关 高频继电器
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