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Ar射频放电特性随时间演化的PIC／MCC模拟
被引量：
2
1
作者
张浚源
陈峰
+3 位作者
孙伟中
吕晓丹
贺平逆
苟富均
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期49-54,共6页
采用等离子体粒子模拟方法(PIC/MCC)方法对一维模型模拟了容性耦合等离子体(CCP)源放电过程中等离子体的动力学行为。在模拟氩气放电的过程中,综合考虑了电子与Ar之间的弹性碰撞、激发、电离以及Ar与Ar+之间的弹性碰撞和电荷交换过程。...
采用等离子体粒子模拟方法(PIC/MCC)方法对一维模型模拟了容性耦合等离子体(CCP)源放电过程中等离子体的动力学行为。在模拟氩气放电的过程中,综合考虑了电子与Ar之间的弹性碰撞、激发、电离以及Ar与Ar+之间的弹性碰撞和电荷交换过程。由模拟结果可知,射频极板附近鞘层区域在极短时间内形成,其厚度随着时间的增加而增厚;而射频极板处的粒子通量随着时间的增加逐渐减小。经过一段时间后,射频极板处平均粒子通量、平均电流以及鞘层平均厚度逐渐趋于平衡。在鞘层区域电流主要由位移电流构成,在等离子体区域电流主要由传导电流贡献。最后讨论了达到平衡态后等离子体密度、电势、电场强度和能量的空间分布情况。
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关键词
等离子体
鞘层
等离子体
粒子模拟方法(PIC/MCC)
容性
耦合
等离子体
源
(
ccp
)
原文传递
不同成分等离子体对PET薄膜表面亲水性改性的影响
被引量：
3
2
作者
张瀚文
郭颖
+2 位作者
黄晓江
钟方川
张菁
《东华大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期255-258,共4页
采用射频容性耦合等离子体(CCP)对聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜进行不同气氛下的表面改性处理,研究氩等离子体和氩/氧混合等离子体对PET薄膜表面形貌、成分、亲水性和结合性能的影响.研究结果表明,氩/氧等离子体处理相较于纯氩等离子...
采用射频容性耦合等离子体(CCP)对聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜进行不同气氛下的表面改性处理,研究氩等离子体和氩/氧混合等离子体对PET薄膜表面形貌、成分、亲水性和结合性能的影响.研究结果表明,氩/氧等离子体处理相较于纯氩等离子体处理,由于氧的化学活性,提升了等离子体的化学作用,处理后PET薄膜表面粗糙度增加,并引入大量含氧官能团,显著提高了薄膜的亲水性,提升了其与金膜的黏结力.
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关键词
聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜
容性
耦合
等离子体
(
ccp
)
表面改性
亲水性
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职称材料
题名
Ar射频放电特性随时间演化的PIC／MCC模拟
被引量：
2
1
作者
张浚源
陈峰
孙伟中
吕晓丹
贺平逆
苟富均
机构
四川大学原子核科学技术研究所
贵州大学PSI研究所MEMS课题组
荷兰皇家科学院等离子体所
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期49-54,共6页
基金
国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(批准号:2009GB104006)
贵州省优秀青年科技人才培养计划(批准号:700968101)资助
文摘
采用等离子体粒子模拟方法(PIC/MCC)方法对一维模型模拟了容性耦合等离子体(CCP)源放电过程中等离子体的动力学行为。在模拟氩气放电的过程中,综合考虑了电子与Ar之间的弹性碰撞、激发、电离以及Ar与Ar+之间的弹性碰撞和电荷交换过程。由模拟结果可知,射频极板附近鞘层区域在极短时间内形成,其厚度随着时间的增加而增厚;而射频极板处的粒子通量随着时间的增加逐渐减小。经过一段时间后,射频极板处平均粒子通量、平均电流以及鞘层平均厚度逐渐趋于平衡。在鞘层区域电流主要由位移电流构成,在等离子体区域电流主要由传导电流贡献。最后讨论了达到平衡态后等离子体密度、电势、电场强度和能量的空间分布情况。
关键词
等离子体
鞘层
等离子体
粒子模拟方法(PIC/MCC)
容性
耦合
等离子体
源
(
ccp
)
Keywords
Plasma, Sheath, Particle-in-cell/Monte Carlo collision, Capacitively coupled reactor
分类号
O531 [理学—等离子体物理]
O539 [理学—物理]
原文传递
题名
不同成分等离子体对PET薄膜表面亲水性改性的影响
被引量：
3
2
作者
张瀚文
郭颖
黄晓江
钟方川
张菁
机构
东华大学理学院
出处
《东华大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期255-258,共4页
基金
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(11005017)
上海市学科带头人资助项目(10XD1400100)
文摘
采用射频容性耦合等离子体(CCP)对聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜进行不同气氛下的表面改性处理,研究氩等离子体和氩/氧混合等离子体对PET薄膜表面形貌、成分、亲水性和结合性能的影响.研究结果表明,氩/氧等离子体处理相较于纯氩等离子体处理,由于氧的化学活性,提升了等离子体的化学作用,处理后PET薄膜表面粗糙度增加,并引入大量含氧官能团,显著提高了薄膜的亲水性,提升了其与金膜的黏结力.
关键词
聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜
容性
耦合
等离子体
(
ccp
)
表面改性
亲水性
Keywords
polyethylene terephthalate （PET） film
capacitive coupled plasma （
ccp
）
surface modification
hydrophilicity
分类号
TQ323.41 [化学工程—合成树脂塑料工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Ar射频放电特性随时间演化的PIC／MCC模拟
张浚源
陈峰
孙伟中
吕晓丹
贺平逆
苟富均
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012
2
原文传递
2
不同成分等离子体对PET薄膜表面亲水性改性的影响
张瀚文
郭颖
黄晓江
钟方川
张菁
《东华大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2013
3
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职称材料
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