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全玻璃真空集热管镀膜设备的发展 被引量：2
1
作者 陈志涛 《真空》 CAS 2020年第1期35-39,共5页
本文主要介绍了全玻璃真空集热管镀膜设备的发展历程,重点描述了集热管镀膜设备发展过程中的重大改进,以及镀膜设备提高生产效率和节能降耗的方法,对其他行业镀膜设备的发展和改进有一定的借鉴意义。
关键词 渐变集热膜 干涉集热膜 定向溅射靶 弱磁铁 三靶镀膜机
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