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XPS大型真空互联测试平台的建设及管理模式探讨
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作者 刘佳梅 孙宇 +1 位作者 孟令杰 高禄梅 《高校实验室科学技术》 2022年第1期103-106,共4页
大型真空互联测试平台可将不同功能的设备集成于一套大型真空系统,能够同时完成材料的制备与表征,是现代仪器分析测试领域发展的一个新方向。本文围绕X射线光电子能谱仪(XPS)大型真空互联测试平台的建设背景、建设历程、配置方案、场地... 大型真空互联测试平台可将不同功能的设备集成于一套大型真空系统,能够同时完成材料的制备与表征,是现代仪器分析测试领域发展的一个新方向。本文围绕X射线光电子能谱仪(XPS)大型真空互联测试平台的建设背景、建设历程、配置方案、场地设计及未来的管理模式进行探讨并提出创新性的建议,可为其他大型原位表征系统的搭建和管理提供参考和借鉴。 展开更多
关键词 X射线光电子能谱仪 大型仪器联用平台 平台建设 平台管理
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