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题名Φ2 m平面反射镜低频轮廓非接触测量设备研制进展
被引量：1
- 1
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作者
何煦
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期80-86,共7页
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基金
国家自然科学基金(61307114)
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文摘
口径2m的高质量平面反射镜可用于大口径光电设备像质评价和性能检测,但受使用环境影响,平面反射镜的面形精度不易长期保持稳定,因此需要在使用前对其面形精度进行现场、快速校验,而常规的全口径或子孔径干涉检测均难以满足上述需求。由于反射镜面形在制造过程引入的中高频误差已处于稳定状态,环境扰动只引入低频像差,而选择子孔径斜率扫描再重构波面低频轮廓的方法较适于面形精度现场校验。提出双五棱镜配合双测角仪进行子孔径斜率同步差分测量的方法,可改善长测量周期内环境扰动引起的随机误差。并对测量设备光学、机械及控制系统进行设计,提出采用2台S-H传感器代替传统测角仪用于子孔径斜率测量的解决方法。验证试验结果表明,波面重构算法以及仪器测角精度可满足面形测量精度需求,其与ZYGO干涉仪测量结果的互差小于20nm(RMS)。
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关键词
大口径平面反射镜
面形精度
轮廓测量
子孔径波面斜率
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Keywords
large diameter flat refleetor
surface figure preeision
profile seanning
sub-aperture slope
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
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题名离散傅里叶级数在五棱镜扫描检测中的应用
被引量：1
- 2
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作者
周子云
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机构
吉林建筑大学土木工程学院
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2015年第7期134-137,共4页
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基金
国家863计划(2014AA7031010B)
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文摘
为了更好地检测与评价大口径平面镜,引入了离散傅里叶级数作为处理五棱镜扫描结果的数学工具。从基本理论出发,分析了离散傅里叶方法本身性质以及在处理斜率信息上的优势;之后借助功率谱以及Zernike多项式,分析了经过傅里叶方法处理得到结果的空间域以及频域的特性。针对米级口径的反射镜面形数据,进行模拟数据采集,之后对于该数据进行处理,得到可以用于检测装调的低阶面形。
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关键词
测量
大口径平面反射镜
波像差
离散傅里叶级数
五棱镜
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Keywords
measurement
large aperture reflecting mirror
wave front error
discrete Fourier transform
pentaprism
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分类号
TH751
[机械工程—仪器科学与技术]
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题名指向可变平面反射镜支撑方法研究
- 3
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作者
付亮亮
何欣
廉凤慧
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
空军航空大学航理系
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出处
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期734-737,共4页
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文摘
为了适应大口径、大视场的离轴光学系统结构的特殊性,要求装调过程中平面反射镜口径足够大且必须有大角度俯仰偏转的工作状态。介绍了直径为760mm的指向可变平面反射镜微晶玻璃材料的选取,探讨了反射镜的几种支撑方式,针对两种不同的柔性支撑方式通过CAD/CAE工程分析软件来对比,确定了一种有效的支撑方式,即采用中心定位和18点背部支撑的复合式支撑结构,有效地克服了重力和温度对镜面变形的影响。
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关键词
大口径平面反射镜
微晶玻璃
柔性支撑
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Keywords
large plain reflected mirror support
Zerodur
flexible link
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分类号
TN206
[电子电信—物理电子学]
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题名大口径动态扫描反射镜背部悬浮支撑结构设计
- 4
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作者
张翼
靳国华
姜勇
彭涛
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机构
西南技术物理研究所
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期441-446,共6页
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文摘
为了消除自重和热应力对大口径平面反射镜面形精度的影响,采用有限元分析方法,对比分析了在-20℃环境温度下采用背部固定约束与背部浮动约束获得的反射镜面形仿真数据,设计了动态扫描反射镜背部悬浮支撑结构以实现浮动约束,搭建了检测平台,并进行了大口径平面反射镜面形检测。结果表明,安装该支撑结构后反射镜的面形峰谷值为0.236λ,平均值为0.049λ。背部悬浮支撑结构实现了浮动约束,释放了大口径平面反射镜因自重和热应力造成的变形,有效保证了面形精度。
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关键词
光学设计
悬浮支撑
仿真分析
大口径平面反射镜
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Keywords
optical design
suspension support
simulation analysis
large flat mirror
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分类号
TN202
[电子电信—物理电子学]
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