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φ300mm干涉仪参考镜的设计及测试 被引量：12
1
作者 武旭华 陈磊 王磊 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1235-1240,共6页
针对一台有效口径为300 mm的斐索立式移相干涉仪的参考镜,采用有限元方法对其水平状态不同支承方式下的表面变形进行了分析及优化设计,根据设计结果在对镜坯抛光时留出变形余量,并用液面基准法进一步验证了分析结果,其PV的差值为0.008λ... 针对一台有效口径为300 mm的斐索立式移相干涉仪的参考镜,采用有限元方法对其水平状态不同支承方式下的表面变形进行了分析及优化设计,根据设计结果在对镜坯抛光时留出变形余量,并用液面基准法进一步验证了分析结果,其PV的差值为0.008λ,RMS的差值为0.005λ。实验结果表明,此干涉仪参考镜支撑结构的设计满足技术要求。 展开更多
关键词 应用光学 大口径干涉仪 参考镜 镜面支承 有限元法
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大口径干涉仪系统传递函数的修正和校准 被引量：3
2
作者 徐建程 许乔 彭翰生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1293-1296,共4页
采用子孔径拼接法对传统系统传递函数校准方法进行修正。将大口径干涉仪视场分成若干个等晕区,采用标准台阶相位比较法分别测得每个等晕区的传递函数,然后将大口径干涉仪系统传递函数修正为每个等晕区传递函数的加权平均,其权重因子由... 采用子孔径拼接法对传统系统传递函数校准方法进行修正。将大口径干涉仪视场分成若干个等晕区,采用标准台阶相位比较法分别测得每个等晕区的传递函数,然后将大口径干涉仪系统传递函数修正为每个等晕区传递函数的加权平均,其权重因子由对应等晕区内测试面的功率谱决定。实验结果表明:中心视场对应传递函数和修正后的系统传递函数在3 mm-1附近处差值大于0.2;修正后的系统传递函数校准方法能更准确地得到波前功率谱密度。 展开更多
关键词 干涉检测 功率谱密度 系统传递函数 大口径干涉仪 台阶相位板
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大口径干涉仪装置的调整及支承机构 被引量：3
3
作者 汤更秀 刘志刚 +2 位作者 王聪瑜 庞向阳 朱健强 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期611-613,共3页
采用蜗轮蜗杆驱动调整机构、使用同步带安装标准镜片方式、正交十字导轨支撑等可有效提高光学精密检测系统中大口径干涉仪装置的镜面面形质量、稳定性和调节准确度,从理论上介绍了蜗轮蜗杆驱动机构等设计原理及其基本公式,并从实验上验... 采用蜗轮蜗杆驱动调整机构、使用同步带安装标准镜片方式、正交十字导轨支撑等可有效提高光学精密检测系统中大口径干涉仪装置的镜面面形质量、稳定性和调节准确度,从理论上介绍了蜗轮蜗杆驱动机构等设计原理及其基本公式,并从实验上验证了这些机构对光学精密检测系统稳定性的影响· 展开更多
关键词 大口径干涉仪 蜗轮蜗杆驱动 同步带安装标准镜片 正交十字导轨 调整准确度
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Φ600mm波长调谐干涉仪的振动误差抑制算法 被引量：1
4
作者 郑东晖 陈磊 +2 位作者 马致遥 李金鹏 胡晨辉 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第23期96-103,共8页
为抑制Φ600 mm波长调谐干涉仪测量过程中振动引起的测量误差,研究了波长调谐振动抑制算法。该算法构建了基于波长调谐移相的振动理论模型,在此基础上建立光强与初始相位的关系曲线,从它的频谱中提取谐波系数用于修正初始相位,解算出真... 为抑制Φ600 mm波长调谐干涉仪测量过程中振动引起的测量误差,研究了波长调谐振动抑制算法。该算法构建了基于波长调谐移相的振动理论模型,在此基础上建立光强与初始相位的关系曲线,从它的频谱中提取谐波系数用于修正初始相位,解算出真实相位。引入评价参数误差抑制系数,将该算法应用于Φ600 mm波长调谐平面移相干涉仪,经过振动抑制算法的处理,振动引起的二倍频“纹波”误差得到较好的抑制,波面峰谷值由0.1180λ降至0.0951λ(λ为波长),均方根值由0.0164λ降到0.0135λ,结果验证了振动抑制算法在波长调谐移相干涉仪上的有效性。 展开更多
关键词 测量 移相干涉 波长调谐 大口径干涉仪 振动抑制
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大口径PZT移相干涉仪的几个关键技术 被引量：1
5
作者 武旭华 陈磊 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第13期232-236,共5页
以大口径斐索卧式移相干涉仪为研究对象，研究以压电陶瓷（PZT）实现移相为代表的大口径干涉仪所包含的技术难点和解决方案，主要包括大口径平晶的支撑技术与绝对校准、动态波面测试、大口径波面测试技术、移相器在线测试等关键技术，... 以大口径斐索卧式移相干涉仪为研究对象，研究以压电陶瓷（PZT）实现移相为代表的大口径干涉仪所包含的技术难点和解决方案，主要包括大口径平晶的支撑技术与绝对校准、动态波面测试、大口径波面测试技术、移相器在线测试等关键技术，为更大口径的干涉仪的研制提供理论基础研究和关键技术储备。 展开更多
关键词 测量 光学测试 大口径干涉仪 PZT移相 关键技术
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基于电子自准直仪的大口径准直波前检测系统
6
作者 徐建程 陈曌 侯园园 《浙江师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2016年第1期43-47,共5页
为测量大口径准直波前的准直性,开发了基于电子自准直仪的准直波前检测系统.介绍了大口径准直波前检测原理及检测装置,分析了主要误差源.采用800 mm口径参考面测量系统误差并进行校准,校准后,该系统的精度从0.91″提高到0.36″.用该系... 为测量大口径准直波前的准直性,开发了基于电子自准直仪的准直波前检测系统.介绍了大口径准直波前检测原理及检测装置,分析了主要误差源.采用800 mm口径参考面测量系统误差并进行校准,校准后,该系统的精度从0.91″提高到0.36″.用该系统测量610 mm口径相移干涉仪的准直波前,实验结果表明:该干涉仪的准直波前处于发散状态,最大发散角为24.53″.开发的波前准直检测系统能够满足大口径干涉仪准直波前的检测要求. 展开更多
关键词 大口径干涉仪 准直波前 电子自准直仪 系统误差
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基于区间直觉模糊工业设计方案评价研究
7
作者 孙皓 《纳税》 2018年第22期242-242,共1页
利用区间直觉模糊语义来确定最优工业设计方案。将决策专家评价性价信息用区间数表示出来,分别计算专家与属性之间的相似度以及专家之间的接近度,最终确定专家权重,结合灰色关联法排序确定最优方案。以大口径激光干涉仪的设计方案评价... 利用区间直觉模糊语义来确定最优工业设计方案。将决策专家评价性价信息用区间数表示出来,分别计算专家与属性之间的相似度以及专家之间的接近度,最终确定专家权重,结合灰色关联法排序确定最优方案。以大口径激光干涉仪的设计方案评价为例证明所提方法的准确性与有效性。 展开更多
关键词 工业设计方案 区间直觉模糊熵 大口径激光干涉仪
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