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用计算全息法检测大口径凸非球面的研究
被引量：
13
1
作者
常军
李凤友
+3 位作者
翁志成
张增宝
姜会林
丛小杰
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第10期1266-1268,共3页
针对大口径的凸非球面零件使用特殊材料 (如采用碳化硅 )时无法用传统的背部检验方法的难题 ,初步研究了计算全息法检测凸非球面的原理和方法。所研究的凸曲面为一扁球面 ,口径为 10 0mm ,通过设计得出了相应的结果 。
关键词
大
口径
凸
非球面
计算全息法
二元光学面
光学元件
检测方法
光学设计
原文传递
子孔径拼接和计算全息混合补偿检测大口径凸非球面(特邀)
被引量：
4
2
作者
苏航
王孝坤
+7 位作者
程强
李凌众
王晶
李雯研
吴琼
唐瓦
罗霄
张学军
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第9期67-75,共9页
为了实现大口径凸非球面的高精度检测,提出了将子孔径拼接检测法和计算全息补偿检测法相结合的检测方法。由于其中心的非球面度较小,采用球面波直接检测;而外圈的非球面度较大,采用子孔径拼接和计算全息混合补偿的方法进行测量,再通过...
为了实现大口径凸非球面的高精度检测,提出了将子孔径拼接检测法和计算全息补偿检测法相结合的检测方法。由于其中心的非球面度较小,采用球面波直接检测;而外圈的非球面度较大,采用子孔径拼接和计算全息混合补偿的方法进行测量,再通过拼接算法将中心检测数据和外圈检测数据进行拼接从而得到全口径面形。结合实例对一块口径为540 mm的大口径凸非球面进行测量,并将检测结果与Luphoscan检测结果进行对比,两种方法检测面形残差的RMS值为0.019λ,自检验子孔径与拼接结果点对点相减后的RMS值为0.017λ。结果表明该方法能够实现大口径凸非球面的高精度检测。
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关键词
光学检测
大
口径
凸
非球面
混合补偿
子孔径拼接检测
计算全息
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职称材料
大口径凸非球面反射镜的拼接检测算法研究
被引量：
2
3
作者
张伟
王曌
+1 位作者
任智斌
王玲
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期182-186,共5页
大口径凸非球面子孔径拼接干涉检测中的各子孔径之间为离轴形式,各子孔径之间除了平移和倾斜变换外,还含有旋转变换,测量结果中不可避免地会出现参考面未对准的情况,当进行数据拟合处理时,需要把由未对准造成的误差去除。本文在平面检...
大口径凸非球面子孔径拼接干涉检测中的各子孔径之间为离轴形式,各子孔径之间除了平移和倾斜变换外,还含有旋转变换,测量结果中不可避免地会出现参考面未对准的情况,当进行数据拟合处理时,需要把由未对准造成的误差去除。本文在平面检测的最小二乘拟合基础上,对拟合算法进行了改进,从而实现了离轴子孔径的拼接检测拟合。为了验证算法的有效性,采用Matlab对口径为1m的大口径凸非球面的子孔径拼接检测的拟合过程进行了仿真实验,实验结果表明,离轴式大口径凸非球面干涉检测的子孔径拼接可采用改进后的最小二乘法拟合而成,且拟合精度可达到0.0048λ。
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关键词
大
口径
凸
非球面
离轴子孔径
拼接拟合
最小二乘法
拟合精度
原文传递
题名
用计算全息法检测大口径凸非球面的研究
被引量：
13
1
作者
常军
李凤友
翁志成
张增宝
姜会林
丛小杰
机构
长春光学精密机械与物理研究所国家应用光学重点实验室
长春理工大学光电工程学院
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第10期1266-1268,共3页
基金
国家自然科学基金 (6 99780 2 0 )资助课题
文摘
针对大口径的凸非球面零件使用特殊材料 (如采用碳化硅 )时无法用传统的背部检验方法的难题 ,初步研究了计算全息法检测凸非球面的原理和方法。所研究的凸曲面为一扁球面 ,口径为 10 0mm ,通过设计得出了相应的结果 。
关键词
大
口径
凸
非球面
计算全息法
二元光学面
光学元件
检测方法
光学设计
Keywords
Optical design
Optical devices
Optical systems
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
O438 [机械工程—仪器科学与技术]
原文传递
题名
子孔径拼接和计算全息混合补偿检测大口径凸非球面(特邀)
被引量：
4
2
作者
苏航
王孝坤
程强
李凌众
王晶
李雯研
吴琼
唐瓦
罗霄
张学军
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第9期67-75,共9页
基金
吉林省重点研发计划(20200401065GX)
国家自然科学基金(62127901)
中国科学院大学生创新实践训练计划项目(Y91838S)。
文摘
为了实现大口径凸非球面的高精度检测,提出了将子孔径拼接检测法和计算全息补偿检测法相结合的检测方法。由于其中心的非球面度较小,采用球面波直接检测;而外圈的非球面度较大,采用子孔径拼接和计算全息混合补偿的方法进行测量,再通过拼接算法将中心检测数据和外圈检测数据进行拼接从而得到全口径面形。结合实例对一块口径为540 mm的大口径凸非球面进行测量,并将检测结果与Luphoscan检测结果进行对比,两种方法检测面形残差的RMS值为0.019λ,自检验子孔径与拼接结果点对点相减后的RMS值为0.017λ。结果表明该方法能够实现大口径凸非球面的高精度检测。
关键词
光学检测
大
口径
凸
非球面
混合补偿
子孔径拼接检测
计算全息
Keywords
optical testing
large convex asphere
mixed compensation
sub-aperture stitching testing
computer generated hologram
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
大口径凸非球面反射镜的拼接检测算法研究
被引量：
2
3
作者
张伟
王曌
任智斌
王玲
机构
哈尔滨工业大学空间光学工程研究中心
出处
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期182-186,共5页
文摘
大口径凸非球面子孔径拼接干涉检测中的各子孔径之间为离轴形式,各子孔径之间除了平移和倾斜变换外,还含有旋转变换,测量结果中不可避免地会出现参考面未对准的情况,当进行数据拟合处理时,需要把由未对准造成的误差去除。本文在平面检测的最小二乘拟合基础上,对拟合算法进行了改进,从而实现了离轴子孔径的拼接检测拟合。为了验证算法的有效性,采用Matlab对口径为1m的大口径凸非球面的子孔径拼接检测的拟合过程进行了仿真实验,实验结果表明,离轴式大口径凸非球面干涉检测的子孔径拼接可采用改进后的最小二乘法拟合而成,且拟合精度可达到0.0048λ。
关键词
大
口径
凸
非球面
离轴子孔径
拼接拟合
最小二乘法
拟合精度
Keywords
large convex aspheric surface
off-axis sub-aperture
stitching
least squared fit
stitching precision
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用计算全息法检测大口径凸非球面的研究
常军
李凤友
翁志成
张增宝
姜会林
丛小杰
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
13
原文传递
2
子孔径拼接和计算全息混合补偿检测大口径凸非球面(特邀)
苏航
王孝坤
程强
李凌众
王晶
李雯研
吴琼
唐瓦
罗霄
张学军
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022
4
下载PDF
职称材料
3
大口径凸非球面反射镜的拼接检测算法研究
张伟
王曌
任智斌
王玲
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
2
原文传递
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