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GREGOR望远系统高透射深截止多腔负滤光片研制
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作者 常艳贺 付秀华 +3 位作者 张功 张静 李春 Shigeng Song 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第13期36-43,共8页
为满足GREGOR望远系统末端的测试需求,实现对某些荧光光谱干扰信号的有效过滤和屏蔽,在可见光范围内设计并制备了一种高透射深截止多腔负滤光片。采用变迹函数不同级次的高阶迭代算法,通过设计厚度调制层来有效抑制通带波纹;在B270基底... 为满足GREGOR望远系统末端的测试需求,实现对某些荧光光谱干扰信号的有效过滤和屏蔽,在可见光范围内设计并制备了一种高透射深截止多腔负滤光片。采用变迹函数不同级次的高阶迭代算法,通过设计厚度调制层来有效抑制通带波纹;在B270基底上采用离子束辅助反应磁控溅射的沉积方法进行制备,使用光控法和时间控制法相结合的方案对非四分之一膜层厚度进行监控。实验结果表明,实际制备结果与理论设计吻合较好,制备工艺可行性较高。所设计的多腔负滤光片膜系结构总层数为190层,总厚度约为20μm,测得各通带透射率均大于90%,截止深度大于0.1%,反射带半峰全宽小于24 nm,最大位置偏差为2 nm,样品的均匀性良好,测试结果完全满足实际应用需求。 展开更多
关键词 薄膜 多腔负滤光片 反应磁控溅射 Nb_(2)O_(5) SiO_(2)
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