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MEMS器件的计算机辅助设计方法和仿真研究 被引量：1
1
作者 杨晓光 姚伯威 张丽丽 《微计算机信息》 北大核心 2006年第05Z期205-207,共3页
MEMS技术的进一步发展依赖于MEMS器件计算机辅助设计的发展和水平的提高。系统级仿真和多能量场耦合是MEMS器件计算机辅助设计的核心环节。提出了一种MEMS器件设计的参考方法,并对系统级仿真这一难点做了深入阐述。
关键词 MEMS CAD 系统级仿真 多能量场耦合
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