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题名单基多电极石英晶体谐振器的力-频特性
被引量：3
- 1
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作者
田文杰
程红亚
宁永怀
崔媛媛
鄂然
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机构
北京信息工程学院传感器技术研究中心
中国电子技术标准化研究所
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2007年第6期641-643,共3页
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基金
北京市科技发展资助项目(KM200610772009)
北京市高校学术创新团队资助项目(51050031)
北京市传感器重点实验室资助项目(KM200710772022)
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文摘
利用有限元法分析了同一圆形晶体基片上不同区域的应力分布,通过蒸镀电极的方法证实了理论分析结果的正确性。在此基础上,根据晶体振动的限波理论,设计制作了单基多电极石英晶体谐振器,由此构成的差频式力敏感元件的力-频灵敏度系数可达251.9 Hz/N,输出特性非线性度小于0.5%满刻度(FS)。
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关键词
有限元法
多电极石英谐振器
力-频特性
非线性度
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Keywords
finite element method
multi-electrode quartz resonator
force-frequency characteristic
non-linear degree
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分类号
TP21
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名多电极石英力敏谐振器的力敏特性及稳定性研究
被引量：3
- 2
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作者
马博
田文杰
赵庆江
陈福彬
雷欧
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机构
北京信息科技科技大学传感器重点实验室
昆明学院物理科学与技术系
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017年第6期865-868,共4页
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基金
北京市自然科学基金资助项目(4122030)
北京市自然科学基金重点资助项目(B类KZ201511232037)
+1 种基金
北京市教育委员会科技计划基金资助项目(KM201511232022)
现代控制技术教育部重点实验室(北京信息科技大学)基金资助项目
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文摘
在分析石英晶片受力作用时晶片内应力分布的基础上,设计了一种多电极新型石英力敏谐振器及信号处理电路。在室温及大气状态下对设计的力敏谐振器同时进行激励时,各对电极对应的谐振器的力-频特性线性度及频率稳定性良好。将各谐振器的频率互作差频,再作叠加处理后,输出的频率信号的力-频系数达到2 951.8Hz/N,线性相关度为0.999 7,频率稳定性可达10-10数量级。
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关键词
多电极石英谐振器
力敏特性
频率稳定性
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Keywords
multi-electrode quartz resonator
force-sensitive characteristics
frequency stability
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分类号
TN389
[电子电信—物理电子学]
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题名单基三电极石英晶体谐振器频率-温度特性研究
被引量：2
- 3
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作者
崔媛媛
田文杰
鄂然
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机构
北京信息工程学院传感器技术研究中心
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第7期28-30,共3页
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基金
北京市高校学术创新团队基金资助(51050031)
北京市科技发展基金资助(KM200610772009)
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文摘
设计了一种新型的单基三电极石英晶体谐振器,并在大气环境条件下测试分析了这种谐振器的频率-温度特性,验证了其频率-温度特性与已有的单基单电极谐振器的频率-温度特性基本一致,曲线为三次曲线。在相同激励及环境条件下,在同一基片上设置多对电极时,各对电极构成的谐振器的频率-温度特性基本相同。根据这种相似特点,将同一基片上不同电极对应的谐振器的振动频率进行差频补偿,可有效地抑制温度对谐振器振动频率的影响。这种谐振器所采用的差频补偿方法可为石英谐振器相关特性的进一步开发利用提供依据。研究了这种结构的石英晶体谐振器的晶片表面处理(是否抛光)及边沿形状(是否倒边)对其频率-温度特性的影响。实验结果表明,对单基多电极石英晶体谐振器的晶片表面进行抛光并对边沿进行倒边处理后,谐振器的稳定性得到了有效的改善,性能得到了优化。
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关键词
多电极石英谐振器
频率-温度特性
表面处理
差频补偿
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Keywords
multi-electrode quartz resonator
frequency temperature characteristic
surfacetreatment
differential frequency compensation
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分类号
TH703.2
[机械工程—仪器科学与技术]
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