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基于CMOS工艺的双层非制冷热敏电阻型红外探测器
被引量：
3
1
作者
申宁
余隽
+1 位作者
黄正兴
唐祯安
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期845-850,共6页
采用0.5μm标准CMOS工艺和微机械加工工艺,设计并制作了低成本双层非制冷热敏电阻型红外探测器。探测器采用隐藏桥腿式微桥结构,使用表面牺牲层技术实现,其中包括Al、W和Si3种牺牲层材料。CMOS工艺加工完成后,双层微桥结构的微机械加工...
采用0.5μm标准CMOS工艺和微机械加工工艺,设计并制作了低成本双层非制冷热敏电阻型红外探测器。探测器采用隐藏桥腿式微桥结构,使用表面牺牲层技术实现,其中包括Al、W和Si3种牺牲层材料。CMOS工艺加工完成后,双层微桥结构的微机械加工过程只需进行湿法腐蚀即可,成本较低。对双层红外探测器的热性能和光电特性进行测试,其热导为1.96×10-5 W/K,热容为2.23×10-8 J/K,热时间常数为1.14ms。当红外辐射调制频率为10Hz时,双层红外探测器的电压响应率为2.54×104 V/W,探测率为1.6×108 cm·Hz1/2/W。
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关键词
CMOS红外探测器
非制冷红外探测器
低成本红外探测器
多
牺牲
层
双
层
红外探测器
原文传递
梯度温度场中多胞材料牺牲层的抗冲击分析
2
作者
李志斌
卢芳云
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期2463-2471,共9页
针对多胞材料作为牺牲覆盖层防护结构来保护主体结构经受爆炸/冲击载荷的典型应用,分析了梯度温度场中多胞牺牲层的抗冲击行为。基于多胞材料的刚性-理想塑性-锁定模型,建立了梯度温度场中多胞牺牲层的一维冲击波模型,揭示了冲击波在多...
针对多胞材料作为牺牲覆盖层防护结构来保护主体结构经受爆炸/冲击载荷的典型应用,分析了梯度温度场中多胞牺牲层的抗冲击行为。基于多胞材料的刚性-理想塑性-锁定模型,建立了梯度温度场中多胞牺牲层的一维冲击波模型,揭示了冲击波在多胞牺牲层中的传播特性,并获得了多胞牺牲层临界厚度和临界冲击速度随梯度温度场分布的依赖关系。通过有限元方法采用基于实验数据的多胞材料刚性-幂指数硬化模型验证了理论模型的有效性。推导了梯度温度场多胞牺牲层的临界厚度、临界冲击速度以及端面载荷历史等与温度场分布的关系,给出了给定长度的多胞牺牲层临界冲击速度与牺牲层端面温差的关系。结果表明,对于已设计完成的闭孔多胞材料牺牲覆盖层结构,当支撑端温度不变、冲击端温度升高时,结构容许的临界冲击速度是线性降低的。
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关键词
固体力学
多
胞材料
牺牲
层
梯度温度场
耐撞性
冲击波传播
优化设计
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职称材料
题名
基于CMOS工艺的双层非制冷热敏电阻型红外探测器
被引量：
3
1
作者
申宁
余隽
黄正兴
唐祯安
机构
大连理工大学电子科学与技术学院
出处
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期845-850,共6页
基金
国家自然科学基金(61131004
61274076)资助项目
文摘
采用0.5μm标准CMOS工艺和微机械加工工艺,设计并制作了低成本双层非制冷热敏电阻型红外探测器。探测器采用隐藏桥腿式微桥结构,使用表面牺牲层技术实现,其中包括Al、W和Si3种牺牲层材料。CMOS工艺加工完成后,双层微桥结构的微机械加工过程只需进行湿法腐蚀即可,成本较低。对双层红外探测器的热性能和光电特性进行测试,其热导为1.96×10-5 W/K,热容为2.23×10-8 J/K,热时间常数为1.14ms。当红外辐射调制频率为10Hz时,双层红外探测器的电压响应率为2.54×104 V/W,探测率为1.6×108 cm·Hz1/2/W。
关键词
CMOS红外探测器
非制冷红外探测器
低成本红外探测器
多
牺牲
层
双
层
红外探测器
Keywords
CMOS infrared detector
uncooled infrared detector
low-cost infrared detector
multi- sacri-ficial layers
double-layer infrared detector
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
梯度温度场中多胞材料牺牲层的抗冲击分析
2
作者
李志斌
卢芳云
机构
国防科技大学理学院
出处
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期2463-2471,共9页
基金
国家自然科学基金项目(11402299)
文摘
针对多胞材料作为牺牲覆盖层防护结构来保护主体结构经受爆炸/冲击载荷的典型应用,分析了梯度温度场中多胞牺牲层的抗冲击行为。基于多胞材料的刚性-理想塑性-锁定模型,建立了梯度温度场中多胞牺牲层的一维冲击波模型,揭示了冲击波在多胞牺牲层中的传播特性,并获得了多胞牺牲层临界厚度和临界冲击速度随梯度温度场分布的依赖关系。通过有限元方法采用基于实验数据的多胞材料刚性-幂指数硬化模型验证了理论模型的有效性。推导了梯度温度场多胞牺牲层的临界厚度、临界冲击速度以及端面载荷历史等与温度场分布的关系,给出了给定长度的多胞牺牲层临界冲击速度与牺牲层端面温差的关系。结果表明,对于已设计完成的闭孔多胞材料牺牲覆盖层结构,当支撑端温度不变、冲击端温度升高时,结构容许的临界冲击速度是线性降低的。
关键词
固体力学
多
胞材料
牺牲
层
梯度温度场
耐撞性
冲击波传播
优化设计
Keywords
solid mechanics
cellular material sacrificial cladding
temperature gradient
crashworthi-ness
shock wave propagation
optimization design
分类号
O347.3 [理学—固体力学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于CMOS工艺的双层非制冷热敏电阻型红外探测器
申宁
余隽
黄正兴
唐祯安
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
3
原文传递
2
梯度温度场中多胞材料牺牲层的抗冲击分析
李志斌
卢芳云
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
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职称材料
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