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AlN多层共烧陶瓷微波外壳的设计与制作 被引量:12
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作者 刘俊永 孙文超 +1 位作者 崔嵩 张浩 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1-4,共4页
使用Ansoft HFSS软件设计了一种微波多芯片组件(MCM)用陶瓷外壳,并采用AlN多层共烧陶瓷工艺制作了样品。微波输入输出(I/O)端子采用微带线直接穿墙形式,并与陶瓷外壳一体设计、制作。试验结果表明,在2~12 GHz内驻波比(VSWR)<1.3,测... 使用Ansoft HFSS软件设计了一种微波多芯片组件(MCM)用陶瓷外壳,并采用AlN多层共烧陶瓷工艺制作了样品。微波输入输出(I/O)端子采用微带线直接穿墙形式,并与陶瓷外壳一体设计、制作。试验结果表明,在2~12 GHz内驻波比(VSWR)<1.3,测量漏率R1≤1×10–3Pa.cm3/s(He)。 展开更多
关键词 氮化铝 多层陶瓷 微波外壳 HFSS
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红外探测器封装陶瓷衬底材料特性及其应用研究 被引量:5
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作者 王玉龙 张磊 +2 位作者 赵秀峰 张懿 范博文 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期595-600,共6页
随着红外探测器阵列规模快速提升,在封装杜瓦要求轻量化、低成本、高效率的形势下,封装杜瓦陶瓷衬底设计难度加大。文章对比了几种科研实际中使用的陶瓷材料特性及其工艺可行性;研究了在测试杜瓦中,随着混成芯片阵列规模的提升,热应力... 随着红外探测器阵列规模快速提升,在封装杜瓦要求轻量化、低成本、高效率的形势下,封装杜瓦陶瓷衬底设计难度加大。文章对比了几种科研实际中使用的陶瓷材料特性及其工艺可行性;研究了在测试杜瓦中,随着混成芯片阵列规模的提升,热应力与芯片尺寸的相对关系;研究了Al2O3、Al N、Si C衬底材料在降低芯片热应力方面的能力差异;结合目前陶瓷加工工艺水平、加工成本以及探测器阵列规模,给出了Al2O3、Al N、Si C衬底材料在实际应用中的选取建议。 展开更多
关键词 红外探测器 陶瓷衬底 热应力 多层陶瓷
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Mn_(2.1)Ni_(0.9)O_4热敏陶瓷的制备与复阻抗分析 被引量:4
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作者 张丙寅 姚金城 +2 位作者 常爱民 赵鹏君 赵丽君 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1-5,共5页
采用传统固相反应法制备了Mn2.1Ni0.9O4热敏陶瓷,运用X射线衍射仪、直流阻温测试仪、交流阻抗技术对其结构和电学性能进行了测试,并对Mn2.1Ni0.9O4热敏陶瓷的微观导电机理进行了分析。结果表明:Mn2.1Ni0.9O4热敏陶瓷由立方尖... 采用传统固相反应法制备了Mn2.1Ni0.9O4热敏陶瓷,运用X射线衍射仪、直流阻温测试仪、交流阻抗技术对其结构和电学性能进行了测试,并对Mn2.1Ni0.9O4热敏陶瓷的微观导电机理进行了分析。结果表明:Mn2.1Ni0.9O4热敏陶瓷由立方尖晶石相和岩盐相NiO组成。其电阻主要来源于晶粒和晶界的贡献,在293~363K测试温区内,其晶粒电阻和晶界电阻都表现出明显的NTC特性,且两者导电机理均符合小极化子跳跃电导模型,晶界电阻受岩盐相NiO的影响大于晶粒电阻。 展开更多
关键词 0氮化铝 多层陶瓷 微波外壳 HFSS
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高精度薄厚膜异构HTCC基板制备工艺
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作者 张鹤 杨鑫 +2 位作者 谢岳 杨振涛 刘林杰 《微纳电子技术》 CAS 2024年第7期150-155,共6页
针对高温共烧陶瓷(HTCC)基板高平整度、高密度封装需求,提出了一种高精度薄厚膜异构HTCC基板的制备方法,并对其关键工艺进行研究。结合陶瓷基板精密研磨工艺与薄膜制备工艺,该方法在大幅降低原有HTCC基板的平面度、粗糙度的同时,实现HTC... 针对高温共烧陶瓷(HTCC)基板高平整度、高密度封装需求,提出了一种高精度薄厚膜异构HTCC基板的制备方法,并对其关键工艺进行研究。结合陶瓷基板精密研磨工艺与薄膜制备工艺,该方法在大幅降低原有HTCC基板的平面度、粗糙度的同时,实现HTCC表面精密布线。测量结果表明,薄厚膜HTCC基板的平面度低至15μm,表面布线最小线宽低至10μm,与传统陶瓷基板平面度(30μm)与最小线宽(50μm)相比均有较大改善。在此基础上,研究了不同种子层厚度对薄厚膜异构HTCC基板结合力的影响。结果表明当钛钨层厚度为150 nm时,薄膜层和陶瓷基板结合力高达9.27 gf(1 gf=0.0098 N)。 展开更多
关键词 多层陶瓷 薄膜金属化 封装基板 异构集成 键合强度
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微系统封装陶瓷外壳结构可靠性设计研究
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作者 杨振涛 余希猛 +4 位作者 于斐 段强 陈江涛 淦作腾 张志忠 《电子质量》 2024年第6期68-72,共5页
由于微系统的集成芯片多、密度大且可靠性要求高,因此大部分微系统采用封装密度高、电热性能好且气密性好的陶瓷封装,封装管壳和基板为一体化设计,大大节省了布局空间。陶瓷外壳作为微系统的载体,其结构可靠性对微系统的性能起至关重要... 由于微系统的集成芯片多、密度大且可靠性要求高,因此大部分微系统采用封装密度高、电热性能好且气密性好的陶瓷封装,封装管壳和基板为一体化设计,大大节省了布局空间。陶瓷外壳作为微系统的载体,其结构可靠性对微系统的性能起至关重要的作用,因此基于高密度多层共烧陶瓷技术体系,采用有限元分析软件,对微系统外壳的结构可靠性进行了系统仿真研究,形成了适用于微系统封装的大尺寸、高可靠外壳的结构设计规则。采用该规则设计的微系统具有高可靠、高密度、高性能、低功耗和设计周期短等优势。 展开更多
关键词 微系统 多层陶瓷 热膨胀系数 结构可靠性 有限元分析 仿真
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一种应用于12 GHz的AlN多层陶瓷外壳 被引量:2
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作者 杨振涛 彭博 +1 位作者 刘林杰 高岭 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第2期158-163,168,共7页
以AlN材料为陶瓷基材,采用陶瓷绝缘子的射频传输端口结构及陶瓷焊球阵列封装形式,结合多层陶瓷加工工艺,设计并制备了一款可封装多个芯片的X波段AlN陶瓷外壳。采用应力仿真软件对外壳进行结构设计,利用电磁仿真软件对该外壳的射频端口... 以AlN材料为陶瓷基材,采用陶瓷绝缘子的射频传输端口结构及陶瓷焊球阵列封装形式,结合多层陶瓷加工工艺,设计并制备了一款可封装多个芯片的X波段AlN陶瓷外壳。采用应力仿真软件对外壳进行结构设计,利用电磁仿真软件对该外壳的射频端口进行仿真优化。采用微带线直接穿墙形式,设计了共面波导-带状线-共面波导的射频传输结构,并与陶瓷外壳进行一体化设计和制作。利用GSG探针对外壳样品进行测试,实测结果表明,在0~12 GHz频段内,外壳射频端口的插入损耗不小于-0.5 dB,回波损耗不大于-15 dB,AlN一体化外壳尺寸为10.25 mm×16.25 mm×4 mm,可广泛应用于高频高速信号一体化封装领域。 展开更多
关键词 ALN 多层陶瓷 绝缘子 陶瓷焊球阵列 X波段
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红外探测器封装结构电学框架设计方法 被引量:2
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作者 马静 袁羽辉 徐长彬 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2022年第6期856-860,共5页
随着红外焦平面探测器的广泛应用,其封装结构朝着几个方向发展,一方面是单片小型化轻量化结构,另外一方面是多片超大规模拼接结构,无论哪种结构都需要进行封装结构的电学框架设计。文章首先列举几种可用于电学框架加工的材料,并从热应... 随着红外焦平面探测器的广泛应用,其封装结构朝着几个方向发展,一方面是单片小型化轻量化结构,另外一方面是多片超大规模拼接结构,无论哪种结构都需要进行封装结构的电学框架设计。文章首先列举几种可用于电学框架加工的材料,并从热应力、加工工艺水平以及电学参数方面进行比较;然后结合目前探测器规模、封装结构,以及应用给出电学框架加工材料和工艺在设计中的选取建议;最后介绍电学框架布线设计方法及注意事项。 展开更多
关键词 杜瓦封装 多层陶瓷 电学框架
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超厚多层共烧陶瓷砂轮切片方法研究 被引量:1
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作者 何中伟 徐姗姗 刘昕 《新技术新工艺》 2017年第1期76-79,共4页
通过精确设计和制作多层共烧陶瓷板顶面、底面上的成组切片对准线,合理选配划片机的砂轮-法兰组,稳定装卡待切片陶瓷板,科学设定相关切片工艺参数,并采取分别从陶瓷板的顶面、底面多刀渐进加深旋切贯通的方法,很好地解决了多层共烧陶瓷... 通过精确设计和制作多层共烧陶瓷板顶面、底面上的成组切片对准线,合理选配划片机的砂轮-法兰组,稳定装卡待切片陶瓷板,科学设定相关切片工艺参数,并采取分别从陶瓷板的顶面、底面多刀渐进加深旋切贯通的方法,很好地解决了多层共烧陶瓷加工中常用单面切片最大切厚只能达到5mm的难题,有效实现了厚度为5~10 mm超厚多层陶瓷的分切加工。试验结果表明,所加工的厚度为8.92mm单元陶瓷产品的长、宽尺寸准确度优于±0.04mm,侧壁切面平面度<0.02mm。 展开更多
关键词 多层陶瓷 超厚陶瓷 切片对准线 砂轮-法兰组 砂轮双面切片
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制定多层共烧陶瓷工艺标准必要性分析 被引量:1
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作者 晁宇晴 曹坤 夏庆水 《印制电路信息》 2016年第10期28-32,共5页
文章介绍了我国多层共烧陶瓷工艺技术的发展现状,以及国内外多层共烧陶瓷工艺技术的标准化现状,分析了我国制定多层共烧陶瓷工艺标准的必要性和社会经济效益,并论述了多层共烧陶瓷工艺标准体系的构建原则。
关键词 多层陶瓷 工艺标准 必要性分析 标准体系构建
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中、高温多层陶瓷基板共烧用导体浆料的研究现状及发展趋势 被引量:1
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作者 吴亚光 赵昱 +1 位作者 刘林杰 张炳渠 《标准科学》 2023年第S01期215-220,共6页
本文主要以烧结温度作为分类依据,对当前陶瓷封装领域内中、高温多层陶瓷基板共烧用导体浆料不同的导电相、填充相以及粘结相做了介绍并综述了相关研究进展。最后对中、高温多层陶瓷基板共烧用导体浆料今后的研究方向做了展望。
关键词 中、高温多层陶瓷基板 导体浆料 导电相 填充相 粘结相
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多层共烧陶瓷孔壁金属化工艺常见缺陷分析
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作者 李伟 王元仕 郭婷婷 《电子工业专用设备》 2022年第3期14-17,共4页
对多层共烧陶瓷封装用零部件制造过程中的孔壁金属化工艺开发了专用工装设备,并介绍了主要结构原理及其工艺技术难点。就设备生产使用过程中的常见缺陷形式进行了记录,分析了其成因和预防要点,为后续工艺提高及判断提供了基础研究。
关键词 多层陶瓷技术 孔壁金属化 缺陷分析
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S波段接收通道的小型化研究 被引量:2
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作者 王元佳 要志宏 +1 位作者 王乔楠 高长征 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期347-352,共6页
基于Ga As单片集成电路工艺,对接收通道的关键元器件低噪声放大器和电调衰减器进行了芯片化设计。采用基于多层高温共烧陶瓷埋线工艺设计的金属化陶瓷外壳,对接收通道进行了微组装。测试结果表明,该S波段接收通道接收动态范围大于60 d B... 基于Ga As单片集成电路工艺,对接收通道的关键元器件低噪声放大器和电调衰减器进行了芯片化设计。采用基于多层高温共烧陶瓷埋线工艺设计的金属化陶瓷外壳,对接收通道进行了微组装。测试结果表明,该S波段接收通道接收动态范围大于60 d B,增益大于95 d B,噪声系数小于1.3 d B,本振抑制大于30 d Bc,中频信号的谐波抑制大于30 d Bc。当中频自动增益控制电路起控时,接收通道输出功率稳定在(2±0.5)d Bm。该接收通道采用+5 V供电,工作电流小于250 m A。整个接收通道的尺寸仅为20 mm×13.8 mm×5.75 mm,其性能优异且集成度非常高,小型化优势非常明显。 展开更多
关键词 砷化镓单片集成电路 接收通道 多层高温陶瓷埋线 微组装 小型化
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