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题名TiCN,TiAlN,TiAlCN涂层研究现状
被引量：1
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作者
吴勇
杨汉哲
孙清云
陈辉
夏思瑶
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机构
中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司
特种表面保护材料及应用技术国家重点实验室
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出处
《材料保护》
CAS
CSCD
2023年第9期1-10,共10页
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基金
国家重点研发计划项目(2020YFB2010400)
湖北省重点研发计划项目(2021BAA210)
+1 种基金
国家自然科学基金面上基金项目(52175182)
湖北省自然科学基金计划项目(2022CFB936)资助。
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文摘
TiAlCN等硬质涂层能提高金属工件的表面硬度、耐磨性及抗腐蚀性,从而有效提高高速旋转条件下服役的刀具、磨具及汽车零部件的精密度和使用寿命。综述了TiN添加Al、C元素形成的TiCN、TiAlN及TiAlCN涂层的结构及应用,总结了添加元素Al、C对涂层结构及性能的影响及其作用机理。归纳了近几年TiCN、TiAlN及TiAlCN涂层的制备方法,包括直流磁控溅射法(DCMS)、高功率脉冲磁控溅射法(HiPIMS)、中温化学气相沉积法(MTCVD)和激光化学气相沉积法(LCVD)等,并对多元TiN涂层的未来发展方向进行了展望。
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关键词
硬质涂层
多元tin涂层
物理气相沉积(PVD)
化学气相沉积(CVD)
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Keywords
hard coating
multicomponent tin coating
PVD
CVD
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分类号
TG174.4
[金属学及工艺—金属表面处理]
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题名TiCN,TiAlN,TiAlCN涂层研究现状
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作者
吴勇
杨汉哲
孙清云
陈辉
夏思瑶
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机构
中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司
特种表面保护材料及应用技术国家重点实验室
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出处
《表面工程与再制造》
2023年第6期40-43,共4页
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文摘
TiAlCN等硬质涂层能提高金属工件的表面硬度、耐磨性及抗腐蚀性,从而有效提高高速旋转条件下服役的刀具、磨具及汽车零部件的精密度和使用寿命。综述了TiN添加Al、C元素形成的TiCN、TiAlN及TiAlCN涂层的结构及应用,总结了添加元素Al、C对涂层结构及性能的影响及其作用机理。归纳了近几年TiCN、TiAlN及TiAlCN涂层的制备方法,包括直流磁控溅射法(DCMS)、高功率脉冲磁控溅射法(HiPIMS)、中温化学气相沉积法(MTCVD)和激光化学气相沉积法(LCVD)等,并对多元TiN涂层的未来发展方向进行了展望。
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关键词
硬质涂层
多元tin涂层
物理气相沉积(PVD)
化学气相沉积(CVD)
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Keywords
hard coating
multicomponent tin coating
PVD
CVD
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分类号
TG1
[金属学及工艺—金属学]
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