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微波介质陶瓷谐振器磁控溅射金属化
被引量:
3
1
作者
魏淑萍
王德苗
金浩
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期689-693,共5页
微波介质陶瓷谐振器在无线通信基站中有广泛的应用,其品质因数(Q值)主要由材料的介质损耗和金属膜的电导损耗所决定的,传统丝印烧结的金属化膜损耗较大,已成为限制谐振器Q值的主要因素。本文采用直流磁控溅射对相对介电常数为45的微...
微波介质陶瓷谐振器在无线通信基站中有广泛的应用,其品质因数(Q值)主要由材料的介质损耗和金属膜的电导损耗所决定的,传统丝印烧结的金属化膜损耗较大,已成为限制谐振器Q值的主要因素。本文采用直流磁控溅射对相对介电常数为45的微波介质陶瓷进行金属化处理,研究了不同的清洗工艺和复合膜系对介质谐振器性能的影响。实验结果表明,1表面精细打磨和等离子清洗工艺有利于提高膜层结合力,其中Cr/Cu/Ag复合膜系性能最佳,溅射金属化膜层结合力可达6.4MPa,优于丝印工艺的1.8MPa;250~100nm厚度的过渡层金属Cr对Q值几乎无影响,因此可用Cr层提高结合力,且不会牺牲器件Q值;3溅射后器件的Q值最大可达到2673,明显优于丝印烧结工艺的2268。
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关键词
直流磁控溅射
介质谐振器
复合膜
系
等离子清洗
Q值
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职称材料
单层及多层PP蜂窝膜驻极体的压电性
被引量:
1
2
作者
邱勋林
夏钟福
王飞鹏
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期207-209,共3页
经压力膨化处理后,以正逆压电系数d33测量研究了一种经无栅电晕充电的国产商用聚丙烯蜂窝膜(cellular PP,商品名PQ50)驻极体的压电性。经过优化工艺参数压力膨化处理后的PQ50蜂窝膜呈现600pC/N以上的准静态压电系数,这一量值约为PVDF相...
经压力膨化处理后,以正逆压电系数d33测量研究了一种经无栅电晕充电的国产商用聚丙烯蜂窝膜(cellular PP,商品名PQ50)驻极体的压电性。经过优化工艺参数压力膨化处理后的PQ50蜂窝膜呈现600pC/N以上的准静态压电系数,这一量值约为PVDF相关系数的40倍。而通过将单层PQ50蜂窝膜驻极体粘贴形成合理的多层结构,得到的复合膜系压电系数d33高达2010pC/N,约为PZT压电陶瓷相应系数的3倍。从而为拓宽这类新一代的非极性孔洞聚合物压电功能膜应用领域,推动其应用进程提供了一定的理论和技术依据。
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关键词
PP蜂窝
膜
压电性
压力膨化技术
复合膜
系
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职称材料
新型透明隔热太阳膜—TiO2/Cu/TiO2薄膜
3
作者
张存洲
贾友群
《南开大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
1992年第1期83-86,共4页
关键词
复合膜
系
光谱选择性
反射率
薄
膜
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职称材料
全玻璃太阳能真空管高耐热性复合膜系的研究
4
作者
孙学斌
《科技视界》
2016年第9期31-31,共1页
现阶段的太阳能真空管采用的膜层绝大多数是ALN/AL-N/AL渐变工艺或ALN/AL-SS-N/Cu干涉膜工艺。本文研制出一种具有高耐热性的α-C:H复合膜系,替代ALN/AL-N/AL和ALN/AL-SS-N/Cu两种工艺,生产出在使用寿命、热性能指标等质量和技术方面均...
现阶段的太阳能真空管采用的膜层绝大多数是ALN/AL-N/AL渐变工艺或ALN/AL-SS-N/Cu干涉膜工艺。本文研制出一种具有高耐热性的α-C:H复合膜系,替代ALN/AL-N/AL和ALN/AL-SS-N/Cu两种工艺,生产出在使用寿命、热性能指标等质量和技术方面均大幅优于国家标准和现行真空管的全玻璃真空管产品。
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关键词
太阳能
真空管
中、高温
复合膜
系
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职称材料
题名
微波介质陶瓷谐振器磁控溅射金属化
被引量:
3
1
作者
魏淑萍
王德苗
金浩
机构
浙江大学信息与电子工程学院
浙江大学昆山创新中心
苏州求是真空电子有限公司
出处
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期689-693,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(61204124)
文摘
微波介质陶瓷谐振器在无线通信基站中有广泛的应用,其品质因数(Q值)主要由材料的介质损耗和金属膜的电导损耗所决定的,传统丝印烧结的金属化膜损耗较大,已成为限制谐振器Q值的主要因素。本文采用直流磁控溅射对相对介电常数为45的微波介质陶瓷进行金属化处理,研究了不同的清洗工艺和复合膜系对介质谐振器性能的影响。实验结果表明,1表面精细打磨和等离子清洗工艺有利于提高膜层结合力,其中Cr/Cu/Ag复合膜系性能最佳,溅射金属化膜层结合力可达6.4MPa,优于丝印工艺的1.8MPa;250~100nm厚度的过渡层金属Cr对Q值几乎无影响,因此可用Cr层提高结合力,且不会牺牲器件Q值;3溅射后器件的Q值最大可达到2673,明显优于丝印烧结工艺的2268。
关键词
直流磁控溅射
介质谐振器
复合膜
系
等离子清洗
Q值
Keywords
direct-current magnetron sputtering
microwave dielectric resonators
metallization films
plasma cleaning
Q value
分类号
TM283 [一般工业技术—材料科学与工程]
TN929.52 [电气工程—电工理论与新技术]
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职称材料
题名
单层及多层PP蜂窝膜驻极体的压电性
被引量:
1
2
作者
邱勋林
夏钟福
王飞鹏
机构
同济大学波耳固体物理研究所
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期207-209,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(50073016)
德国大众汽车基金会资助项目(I/77365)
文摘
经压力膨化处理后,以正逆压电系数d33测量研究了一种经无栅电晕充电的国产商用聚丙烯蜂窝膜(cellular PP,商品名PQ50)驻极体的压电性。经过优化工艺参数压力膨化处理后的PQ50蜂窝膜呈现600pC/N以上的准静态压电系数,这一量值约为PVDF相关系数的40倍。而通过将单层PQ50蜂窝膜驻极体粘贴形成合理的多层结构,得到的复合膜系压电系数d33高达2010pC/N,约为PZT压电陶瓷相应系数的3倍。从而为拓宽这类新一代的非极性孔洞聚合物压电功能膜应用领域,推动其应用进程提供了一定的理论和技术依据。
关键词
PP蜂窝
膜
压电性
压力膨化技术
复合膜
系
Keywords
cellular PP
piezoelectricity
pressure expansion
hybrid multi-layer system
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
新型透明隔热太阳膜—TiO2/Cu/TiO2薄膜
3
作者
张存洲
贾友群
出处
《南开大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
1992年第1期83-86,共4页
关键词
复合膜
系
光谱选择性
反射率
薄
膜
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
全玻璃太阳能真空管高耐热性复合膜系的研究
4
作者
孙学斌
机构
浙江桑乐数字化太阳能有限公司
出处
《科技视界》
2016年第9期31-31,共1页
文摘
现阶段的太阳能真空管采用的膜层绝大多数是ALN/AL-N/AL渐变工艺或ALN/AL-SS-N/Cu干涉膜工艺。本文研制出一种具有高耐热性的α-C:H复合膜系,替代ALN/AL-N/AL和ALN/AL-SS-N/Cu两种工艺,生产出在使用寿命、热性能指标等质量和技术方面均大幅优于国家标准和现行真空管的全玻璃真空管产品。
关键词
太阳能
真空管
中、高温
复合膜
系
Keywords
Solar power
Vacuum tubes
Medium、High temperature
Composite membrane system
分类号
TK519 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微波介质陶瓷谐振器磁控溅射金属化
魏淑萍
王德苗
金浩
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
下载PDF
职称材料
2
单层及多层PP蜂窝膜驻极体的压电性
邱勋林
夏钟福
王飞鹏
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
下载PDF
职称材料
3
新型透明隔热太阳膜—TiO2/Cu/TiO2薄膜
张存洲
贾友群
《南开大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
1992
0
下载PDF
职称材料
4
全玻璃太阳能真空管高耐热性复合膜系的研究
孙学斌
《科技视界》
2016
0
下载PDF
职称材料
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