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柔性复合压电薄膜的制备及其电导率研究 被引量：9
1
作者 海振银 高立波 +3 位作者 李俊漾 张强 刘俊 薛晨阳 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第7期861-865,共5页
将具有优异导电性能的碳纳米管(CNT)与压电材料钛酸钡(BTO)复合于高分子有机材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)中,制备出了具有低内阻的柔性复合压电薄膜,研究了制备的薄膜在不同极化条件下的开路电压以及不同体积配比的BTO/CNT压电薄膜的电导... 将具有优异导电性能的碳纳米管(CNT)与压电材料钛酸钡(BTO)复合于高分子有机材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)中,制备出了具有低内阻的柔性复合压电薄膜,研究了制备的薄膜在不同极化条件下的开路电压以及不同体积配比的BTO/CNT压电薄膜的电导率。实验结果表明,在电场为3.6 kV/mm、温度是90℃、时间为60 min的极化条件下,当BTO与CNT的体积比N为2∶3以及BTO与CNT混合颗粒占PDMS基体的总体积比V为8%时,能得到具有最佳电导率的复合压电薄膜。 展开更多
关键词 复合压电薄膜 碳纳米管 钛酸钡 电导率 BATIO3
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BTO NWs/PVDF柔性复合薄膜的制备及其压电性能研究
2
作者 郭凡 李银辉 +2 位作者 马俊格 梁建国 李朋伟 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第3期389-396,402,共9页
该文通过两步水热法制备了钛酸钡纳米线(BTO NWs),采用旋涂法与聚偏氟乙烯(PVDF)复合制备BTO NWs/PVDF复合薄膜。系统地研究了水热反应中不同NaOH浓度、不同反应时间及不同BTO NWs掺杂量对BTO NWs/PVDF复合薄膜压电输出性能的影响,并与... 该文通过两步水热法制备了钛酸钡纳米线(BTO NWs),采用旋涂法与聚偏氟乙烯(PVDF)复合制备BTO NWs/PVDF复合薄膜。系统地研究了水热反应中不同NaOH浓度、不同反应时间及不同BTO NWs掺杂量对BTO NWs/PVDF复合薄膜压电输出性能的影响,并与商用钛酸钡纳米球(BTO NPs)制备的BTO NPs/PVDF复合薄膜进行了压电性能对比。结果表明,当NaOH浓度为10 mol/L,反应时间为10 h时,BTO NWs/PVDF复合薄膜开路电压和短路电流分别可达5.42 V和1.81μA。当BTO NWs掺杂量(质量分数)为20%时,复合压电薄膜的开路电压可达9.34 V,短路电流可达2.15μA,分别是BTO NPs/PVDF复合薄膜输出电压和电流的1.92倍和1.49倍。当负载电阻值为5 MΩ时,BTO NWs/PVDF复合薄膜输出功率可达1.44μW。经过4000次循环敲击测试,BTO NWs/PVDF复合薄膜表现出良好的机械稳定性,其有望在自供电器件、柔性可穿戴电子设备等领域得到广泛应用。 展开更多
关键词 钛酸钡纳米线(BTO NWs) 聚偏氟乙烯(PVDF) 复合压电薄膜 输出特性
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0-3型PVDF/BaTiO_(3)复合压电薄膜制备工艺及性能研究 被引量：1
3
作者 黄卫清 李德友 +2 位作者 李霞 安大伟 朱孔军 《塑料科技》 CAS 北大核心 2021年第3期6-11,共6页
传统的流延法在薄膜制备过程中存在薄膜烘干耗时过长、薄膜成品质量过低等问题,本实验优化了薄膜制备工艺,采用二次热处理法对复合薄膜进行烘干,大幅缩短薄膜烘干时间的同时,提升了薄膜成品质量及其压电性能,并对其进行SEM、TG、DSC以... 传统的流延法在薄膜制备过程中存在薄膜烘干耗时过长、薄膜成品质量过低等问题,本实验优化了薄膜制备工艺,采用二次热处理法对复合薄膜进行烘干,大幅缩短薄膜烘干时间的同时,提升了薄膜成品质量及其压电性能,并对其进行SEM、TG、DSC以及力学性能进行分析。探讨了制备工艺、填充料BaTiO_(3)的填充量以及薄膜极化时间、极化温度对PVDF基复合压电薄膜压电性能的影响。结果表明:二次热处理的制备工艺有利于薄膜成品质量的提升,同时当BaTiO_(3)填充量在15%,90℃极化40 min的PVDF基复合薄膜其压电常数可达38 pC/N。 展开更多
关键词 复合压电薄膜 热处理 优化改良 压电常数
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AlN/PZT复合压电薄膜层SAW激励与传播研究
4
作者 文芷菁 张涛 +3 位作者 柯贤桐 刘鑫鑫 曹晓闯 ALIREZA Baghai Wadji 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期205-209,共5页
该文在单晶硅基底上设计了AlN/PZT复合压电薄膜层声表面波(SAW)器件,采用有限元法(FEM)研究了复合压电材料厚度(PZT厚度h_(PZT)和AlN厚度h_(AlN))对AlN/IDT/PZT/Si结构中零阶、一阶SAW的相速度、机电耦合系数和电极反射系数的影响,根据... 该文在单晶硅基底上设计了AlN/PZT复合压电薄膜层声表面波(SAW)器件,采用有限元法(FEM)研究了复合压电材料厚度(PZT厚度h_(PZT)和AlN厚度h_(AlN))对AlN/IDT/PZT/Si结构中零阶、一阶SAW的相速度、机电耦合系数和电极反射系数的影响,根据色散特性得到最优化薄膜厚度。结果表明,AlN/IDT/PZT/Si结构中,当h_(PZT)=0.025λ,h_(AlN)=λ时,零阶、一阶SAW都能取得最高相速度(分别为5582 m/s和5711 m/s),适用于高频器件设计;在h_(PZT)=0.2λ,h_(AlN)=0.1λ时,零阶SAW波的机电耦合系数最大(为21.55%),但此时相速度最小(仅为2890 m/s),适用于移动通信领域宽带低损耗SAW滤波器和延迟线结构信号处理器件的设计。 展开更多
关键词 声表面波(SAW) 复合压电薄膜 声激励 声传播 色散
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柔性复合压电薄膜材料的应用
5
作者 魏道兴 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1995年第2期38-41,共4页
柔性复合压电薄膜材料的应用魏道兴（成都宏明电子实业总公司成都６１００５８）由于柔性复合压电薄膜具有高的水声传感灵敏度、高的机电耦合、低的声阻抗和具有优良的柔顺性，可制成面积大及形状复杂的制品。同时膜表面可淀积金属化层... 柔性复合压电薄膜材料的应用魏道兴（成都宏明电子实业总公司成都６１００５８）由于柔性复合压电薄膜具有高的水声传感灵敏度、高的机电耦合、低的声阻抗和具有优良的柔顺性，可制成面积大及形状复杂的制品。同时膜表面可淀积金属化层，用光刻法在膜层上制成接收极和发射... 展开更多
关键词 复合压电薄膜 材料 薄膜 复合材料
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复合氮化铝压电薄膜研制及其应用
6
作者 陈运祥 赵雪梅 +5 位作者 郑泽渔 陶毅 伍平 田亚睿 张永川 许东辉 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第5期628-630,共3页
采用中频(MF,40 kHz)双S枪磁控反应溅射制备出了氮化铝(AlN)压电薄膜;采用直流磁控溅射法制作了Mo电极薄膜;采用脉冲DC磁控溅射Au、Cr、Al靶分别制作Au/Cr底电极薄膜及Al/Cr顶电极薄膜。通过对AlN压电薄膜、Mo及Au电极薄膜进行了X线衍射... 采用中频(MF,40 kHz)双S枪磁控反应溅射制备出了氮化铝(AlN)压电薄膜;采用直流磁控溅射法制作了Mo电极薄膜;采用脉冲DC磁控溅射Au、Cr、Al靶分别制作Au/Cr底电极薄膜及Al/Cr顶电极薄膜。通过对AlN压电薄膜、Mo及Au电极薄膜进行了X线衍射(XRD)分析,结果表明,复合AlN压电薄膜(002)面、Mo薄膜(110)面及Au薄膜(111)面择优取向优良,说明选用Al/Cr/AlN/Au/Cr/YAG复合结构压电薄膜能研制出Ku波段及K波段声体波微波延迟线(BAWDL),其Ku及K波段BAWDL器件插入损耗分别低至43.7 dB、54.6 dB。 展开更多
关键词 复合氮化铝压电薄膜 Ku及K波段声体波微波延迟线(BAWDL) 低插损
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纳米复合压电薄膜胎音传感器又传喜讯
7
《传感器世界》 2002年第11期37-37,共1页
关键词 纳米 复合压电薄膜胎音 传感器
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