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复合光导层液晶光阀的研究 被引量：4
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作者 于永红 杜丕一 +2 位作者 王瑞春 韩高荣 翁文剑 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2003年第3期305-308,共4页
介绍了一种具有柱状结构的a-Si:H/nc-Si复合光导层的液晶光阀,复合光导层是通过热蒸发和等离子体辉光放电沉积方法,采用Al诱导a-Si:H制成的。经过测试,这种柱状结构薄膜具有电导各向异性,其横向电导率小于纵向电导率。用这种薄膜制成的... 介绍了一种具有柱状结构的a-Si:H/nc-Si复合光导层的液晶光阀,复合光导层是通过热蒸发和等离子体辉光放电沉积方法,采用Al诱导a-Si:H制成的。经过测试,这种柱状结构薄膜具有电导各向异性,其横向电导率小于纵向电导率。用这种薄膜制成的液晶光阀其分辨率达到500lp/inch。 展开更多
关键词 液晶光阀 柱状结构 a-Si:H/nc-Si 复合光导层 电导率 分辨率
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