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激光超声表面缺陷检测的实验方法 被引量:15
1
作者 严刚 徐晓东 +2 位作者 沈中华 陆建 倪晓武 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期107-110,共4页
提出了一种非接触式、全光学激光超声检测的实验方法。利用Nd:YAG脉冲激光器、He-Ne激光器和平衡接收器构建一套基于光束偏转法的光差分检测系统,测量了表面带缺陷Al样品的声表面波(SAWs)。通过实验获得了SAWs经过表面缺陷时产生的反射... 提出了一种非接触式、全光学激光超声检测的实验方法。利用Nd:YAG脉冲激光器、He-Ne激光器和平衡接收器构建一套基于光束偏转法的光差分检测系统,测量了表面带缺陷Al样品的声表面波(SAWs)。通过实验获得了SAWs经过表面缺陷时产生的反射回波及透射波形的特征,说明了线光源产生的超声波非常适合材料表面缺陷的检测。 展开更多
关键词 激光超 声表面波(saw) 表面缺陷 光差分
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基于声表面波技术的高压开关柜温度监测系统 被引量:17
2
作者 胡建学 赵俊 +2 位作者 何利松 贝伟斌 林毅 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第2期214-216,共3页
高压开关柜温度监测系统是保障开关柜可靠运行的重要部分,该文论述了基于声表面波(SAW)的温度监测技术,提出了一种基于SAW技术的测温系统,给出传感器的压电材料、设计结构和阅读器的结构图。目前该系统已在110kV以上变电站应用,运行稳... 高压开关柜温度监测系统是保障开关柜可靠运行的重要部分,该文论述了基于声表面波(SAW)的温度监测技术,提出了一种基于SAW技术的测温系统,给出传感器的压电材料、设计结构和阅读器的结构图。目前该系统已在110kV以上变电站应用,运行稳定、效果良好。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 温度传感器 高压开关柜测温 无源 无线
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声表面波气体传感器技术 被引量:8
3
作者 王利敏 《舰船科学技术》 北大核心 2006年第2期92-95,共4页
叙述了声表面波(SAW)技术发展历史及其在气体传感器领域的技术现状和发展趋势。介绍了延迟线型(SAWDL)和谐振器型(SAWR)两种振荡器结构及技术优缺点;介绍了基于气相色谱柱分离气体组分———声表面波气体传感器定性、定量检测气体的一... 叙述了声表面波(SAW)技术发展历史及其在气体传感器领域的技术现状和发展趋势。介绍了延迟线型(SAWDL)和谐振器型(SAWR)两种振荡器结构及技术优缺点;介绍了基于气相色谱柱分离气体组分———声表面波气体传感器定性、定量检测气体的一种新型的气体检测技术。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 气体传感器 声表面波延迟线(sawDL) 声表面波谐振器(sawR)
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微机械叉指换能器声表面波陀螺 被引量:8
4
作者 马晋毅 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2003年第6期442-444,共3页
回顾了声表面波(SAW)陀螺发展史,总结了声表面波陀螺设计思想的变迁,重点介绍了一种新型微机械-叉指换能器(MEMS-IDT)声表面波陀螺。它具有适合标准IC工艺生产的简单二维结构,具备体积小、成本低、便于批量生产以及不用真空封装的特点... 回顾了声表面波(SAW)陀螺发展史,总结了声表面波陀螺设计思想的变迁,重点介绍了一种新型微机械-叉指换能器(MEMS-IDT)声表面波陀螺。它具有适合标准IC工艺生产的简单二维结构,具备体积小、成本低、便于批量生产以及不用真空封装的特点。由于没有普通微机械陀螺的悬浮机构,抗冲击及振动的能力较普通微机械陀螺显著提高。同时,提出了一些迫待解决的问题。 展开更多
关键词 微机械-叉指换能器(MEMS—IDT) 声表面波(saw) 陀螺
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适用SAW器件的高C轴取向ZnO薄膜制备及性能分析 被引量:8
5
作者 王芳 杨保和 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期28-31,共4页
探讨了高性能ZnO薄膜的制备工艺,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和高阻仪对各种条件下制备的薄膜进行了表征分析。研究表明:在一定温度范围内随退火温度上升薄膜C轴取向性更优;同时O空位的填充、自由Zn原子的氧化使得薄膜电阻... 探讨了高性能ZnO薄膜的制备工艺,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和高阻仪对各种条件下制备的薄膜进行了表征分析。研究表明:在一定温度范围内随退火温度上升薄膜C轴取向性更优;同时O空位的填充、自由Zn原子的氧化使得薄膜电阻率提高至107Ω·cm数量级;600℃为最佳退火处理温度,600℃退火处理的ZnO薄膜粗糙度小(RMS为2.486nm),且晶粒均匀致密,表面平整,是适于制备声表面波(SAW)器件的高C轴取向、高电阻率及较平坦的ZnO薄膜。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 saw器件 C轴取向 薄膜电阻 声表面波(saw) 性能分析 原子力显微镜(AFM) 平坦 上升 空位
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ZnO单晶声表面波谐振器传播特性的研究 被引量:9
6
作者 姚恒斌 胡芳仁 吴成玲 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第4期550-553,557,共5页
基于有限元压电材料中表面波传播的有限元分析原理,利用有限元分析软件COMSOL对基于ZnO单晶材料的声表面波器件进行多物理域耦合建模与仿真,提取出了符合声表面波振型的对称模态变形图和反对称模态变形图。通过谐振频率分析,计算出了Zn... 基于有限元压电材料中表面波传播的有限元分析原理,利用有限元分析软件COMSOL对基于ZnO单晶材料的声表面波器件进行多物理域耦合建模与仿真,提取出了符合声表面波振型的对称模态变形图和反对称模态变形图。通过谐振频率分析,计算出了ZnO单晶的相速度和机电耦合系数;通过频率响应分析,得出谐振器输入导纳、阻抗与频率之间的关系图;最后讨论了叉指换能器的结构对谐振频率、反谐振频率的影响,得出输入、输出叉指换能器(IDT)的叉指电极对数越大,插入损耗值越大,信号衰减越小。 展开更多
关键词 ZNO单晶 单端谐振器 声表面波(saw) 叉指换能器(IDT) COMSOL
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基于激光激发声表面波新型气体传感器的研究 被引量:6
7
作者 姜超 刘光达 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期132-135,共4页
提出了一种利用激光激发声表面波,通过气体吸附性薄膜对被测气体进行检测的传感原理。激光在覆有选择性气体吸附膜的铝块表面激发出声表面波,后者沿铝块表面传播。在吸附性薄膜与被测气体发生反应后,声表面波的强度被改变;然后利用PMT(... 提出了一种利用激光激发声表面波,通过气体吸附性薄膜对被测气体进行检测的传感原理。激光在覆有选择性气体吸附膜的铝块表面激发出声表面波,后者沿铝块表面传播。在吸附性薄膜与被测气体发生反应后,声表面波的强度被改变;然后利用PMT(光电倍增管),通过单芯光纤耦合的反射式光束偏转法探测由半导体激光器发出的探测光束,所检测的光强的变化反映了被检测气体的浓度,从而实现被测气体的浓度测量。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 吸附性膜 气体传感器 光偏转法
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环网柜无源无线测温管理系统设计 被引量:7
8
作者 霍富强 雷振锋 路进升 《科学技术与工程》 北大核心 2013年第25期7516-7520,共5页
为实现对环网柜电气连接点的温度在线监测和告警,设计了基于声表面波(SAW)的无源无线测温管理系统。重点论述了声表面波无源无线测温原理和告警控制算法。基于RS485标准Modbus协议,并通过Epon网络将SAW传感器采集的温度信息准确及时传... 为实现对环网柜电气连接点的温度在线监测和告警,设计了基于声表面波(SAW)的无源无线测温管理系统。重点论述了声表面波无源无线测温原理和告警控制算法。基于RS485标准Modbus协议,并通过Epon网络将SAW传感器采集的温度信息准确及时传输至通讯管理机。通讯管理机将温度信息转换为IEC61850信息并运行告警控制算法,监控计算机展示数据。采用高低温箱模拟温度变化和MV1000记录温度,对无源无线测温管理系统进行验证,试验证明,该系统运行稳定可靠,效果良好。 展开更多
关键词 环网柜 声表面波saw 无源无线 EPON网络 saw传感器
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两通道声表面波全光纤声光调制器的研究 被引量:6
9
作者 赵路明 赵启大 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1000-1003,共4页
研制了一种新型的两通道声表面波(SAW)全光纤声光调制器,建立了多通道声波与光纤中光导波相互作用的耦合模方程并求出其解。SAW全光纤声光器件由两通道SAW器件和单模光纤构成。光纤嵌入SAW器件,光纤中的光导波被声表面波调制,由于两个... 研制了一种新型的两通道声表面波(SAW)全光纤声光调制器,建立了多通道声波与光纤中光导波相互作用的耦合模方程并求出其解。SAW全光纤声光器件由两通道SAW器件和单模光纤构成。光纤嵌入SAW器件,光纤中的光导波被声表面波调制,由于两个通道中的SAW具有不同的中心频率,所以光纤中的光导波可以被具有不同频率的两个通道的SAW同时调制。测试了器件,实现了全光纤相干调制解调。 展开更多
关键词 全光纤 声表面波(saw) 多通道 光调制器
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声表面波(SAW)传感器断路器触臂安装方式可行性研究 被引量:7
10
作者 周小艺 Jeffrey Andle +3 位作者 王啸峰 宋智 张勇 张悦 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期72-79,共8页
由于高压开关柜过热问题引发的供电安全事故时有发生,然而高压开关柜全部为金属密封结构,其发热导电部位被金属遮挡,常规的红外测温手段无法对其内部情况进行测量,因此在开关柜内部安装在线测温装置成为一种有效手段。声表面波(SAW)测... 由于高压开关柜过热问题引发的供电安全事故时有发生,然而高压开关柜全部为金属密封结构,其发热导电部位被金属遮挡,常规的红外测温手段无法对其内部情况进行测量,因此在开关柜内部安装在线测温装置成为一种有效手段。声表面波(SAW)测温技术具有无源无线、运行可靠性高、维护工作量小等特点,是目前应用较为广泛的高压开关柜测温技术手段。但是不同厂家生产的SAW传感器安装位置与方式不一,不同的安装方式对测温结果的有效性和系统安全性带来了影响。文中针对声表面波(SAW)传感器手车开关导电臂安装方式的可行性进行了分析和论述。通过工频耐压试验、雷电冲击试验和局部放电检测验证了该安装方式的绝缘安全性能。另外通过对开关柜和手车开关整体做温升试验,从而验证手车开关导电臂安装方式下SAW传感器温度监测数据的准确性、实时性和有效性。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 温度传感器 测温 开关柜 断路器
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在旋转的半无限LiNbO_3上传播的声表面波 被引量:5
11
作者 李良儿 陈智军 +1 位作者 沈晓群 施文康 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2005年第2期80-84,共5页
声表面波(SAW)陀螺具有无源、无线、单层平面结构等优点。以目前国外研究小组所用的铌酸锂为对象,对含陀螺效应的声表面波的波动方程进行求解。用编制的程序进行了数值计算并绘制了基体绕各不同坐标轴旋转时,陀螺效应对铌酸锂表面传播... 声表面波(SAW)陀螺具有无源、无线、单层平面结构等优点。以目前国外研究小组所用的铌酸锂为对象,对含陀螺效应的声表面波的波动方程进行求解。用编制的程序进行了数值计算并绘制了基体绕各不同坐标轴旋转时,陀螺效应对铌酸锂表面传播的声表面波速度及对机电耦合系数影响的相关曲线,并对结果进行了分析。 展开更多
关键词 LINBO3 传播 半无限 声表面波(saw) 机电耦合系数 陀螺效应 坐标轴旋转 平面结构 动方程 数值计算 相关曲线 铌酸锂 速度 求解
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浅谈SAW气敏传感器的发展 被引量:3
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作者 孙海山 余愚 蒋永华 《中国仪器仪表》 2006年第6期38-38,40,42,共3页
SAW气敏传感器是一种基于声表面波器件波速和频率随外界环境的变化而发生漂移的原理制作而成的一种新型的传感器。本文介绍了SAW气敏传感器的结构、特点及其工作原理,讨论了SAW气敏传感器的应用前景和发展趋势。
关键词 声表面波(saw) 气敏传感器 叉指换能器 延迟线
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高性能声学滤波器技术研究进展 被引量:6
13
作者 李晖 米佳 +2 位作者 胡少勤 李左翰 邱海莲 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第5期617-622,共6页
声学滤波器是当前射频前端模块中最核心元器件之一。随着第五代(5G)移动通信技术的深入推进,对滤波器的技术要求也不断提高。近年来,在一些新架构、新材料和先进建模技术的加持下,声学滤波器技术屡有突破,已研制出多种高性能声学滤波器... 声学滤波器是当前射频前端模块中最核心元器件之一。随着第五代(5G)移动通信技术的深入推进,对滤波器的技术要求也不断提高。近年来,在一些新架构、新材料和先进建模技术的加持下,声学滤波器技术屡有突破,已研制出多种高性能声学滤波器。该文对高性能声表面波(SAW)和声体波(BAW)滤波器技术(包括UltraSAW、LowDrift TM和NoDrift TM、I.H.P SAW、XBAR TM、XBAW滤波器等)的研究情况进行了介绍与评述。最后对未来声学滤波器将面临的技术问题做了简要总结。 展开更多
关键词 声表面波(saw) (BAW) 射频前端模块(RFFEM) 第五代移动通信技术(5G)
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剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究 被引量:6
14
作者 陈颖慧 高杨 +1 位作者 郑英彬 赵兴海 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第2期124-128,共5页
研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器... 研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器电极线条光滑、陡直、清晰,但是成品率较低。对比分析了采用铝和铬金制作的叉指换能器样品结构,结果表明两种金属材料在剥离液中的腐蚀时间不同,铝材料需要较长的剥离时间;两种材料制作的电极图形质量也有差异,铝材料制作的电极更为陡直、精细。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 叉指换能器(IDT) 剥离 陡直度
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声表面波(SAW)中陀螺效应的理论研究 被引量:4
15
作者 陈明 邢珺 范正翥 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1995年第1期46-54,共9页
本文从定性、定量分析哥氏惯性力对声表面波传播特性的影响,详细推导了声表面波传播速度的改变量与各向同性传播介质旋转角速度的关系.并与光学中的法拉第(Faraday)效应相比,进一步说明了SAW陀螺效应的产生原因。
关键词 声表面波(saw) 陀螺效应 哥氏力 动方程 法拉第效应 传播速度 弹性系数 瑞利 声表面波振荡器 离心力
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基于微流控芯片的SAW分选技术研究现状 被引量:3
16
作者 刘国君 何芳 +3 位作者 马祥 王记波 李新波 刘建芳 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第9期642-651,共10页
声表面波(SAW)分选技术因其无接触性、生物相容性好等特点,在生物医学、诊断学等领域有着广阔的应用前景。概述了声表面波分选芯片的基本结构组成、叉指换能器(IDT)的基本结构及工作原理,分析了行波声表面波(TSAW)和驻波声表面波... 声表面波(SAW)分选技术因其无接触性、生物相容性好等特点,在生物医学、诊断学等领域有着广阔的应用前景。概述了声表面波分选芯片的基本结构组成、叉指换能器(IDT)的基本结构及工作原理,分析了行波声表面波(TSAW)和驻波声表面波(SSAW)进入流体后产生的复杂的声流效应。根据声表面波分选技术的分选机理不同,将声表面波分选技术分为驻波声表面波分选技术和行波声表面波分选技术。分别讨论了声表面波分选技术的分选原理和研究现状,指出了声表面波分选技术相对于其他分选技术的优势,并综合国内外研究现状分析了研究过程中存在的问题,提出了声表面波分选技术今后的研究方向。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 分选技术 微流控芯片 叉指换能器(IDT) 声表面波(Ssaw) 声表面波(Tsaw)
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TC-SAW滤波器仿真与设计技术 被引量:1
17
作者 陈晓阳 苏波 +4 位作者 叶志 史向龙 范佰杰 张俊茜 于倩至 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期560-565,共6页
该文介绍了温度补偿滤波器的设计方法。通过研究温度补偿结构的材料,在性能和温度系数之间求取最佳的层间参数搭配。在此基础上提取三维耦合模式模型(COM)参数数据库,并置于设计仿真软件中,最终可以实现高温稳定型声表面波(TC-SAW)滤波... 该文介绍了温度补偿滤波器的设计方法。通过研究温度补偿结构的材料,在性能和温度系数之间求取最佳的层间参数搭配。在此基础上提取三维耦合模式模型(COM)参数数据库,并置于设计仿真软件中,最终可以实现高温稳定型声表面波(TC-SAW)滤波器的设计优化。根据指标要求设计目标函数,设计出满足要求的低损耗TC-SAW滤波器。利用多层FEM/BEM软件对性能进行精确验证,实验结果与仿真结果吻合良好。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 高温稳定型声表面波(TC-saw) 三维耦合模式模型(COM) FEM/BEM
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一种用于检测H_2S气体的SAW传感器技术 被引量:5
18
作者 潘勇 杨柳 刘卫卫 《化学传感器》 CAS 2012年第4期49-52,共4页
采用声表面波(SAW)传感器技术,以三乙醇胺(TEA)为检测硫化氢气体的敏感膜材料,优化了镀膜方法及检测条件,对所研制传感器的稳定性、重现性、检测硫化氢的浓度范围、抗干扰能力等性能进行了研究,检测灵敏度达到1.5mg/m3,响应时间小于15s。
关键词 声表面波(saw) 硫化氢 三乙醇胺(TEA) 检测
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差分负载式无线无源声表面波应变传感器研究 被引量:5
19
作者 王毅坚 薛蓄峰 +2 位作者 梁勇 王文 朱宸晖 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期374-378,共5页
在用声表面波(SAW)传感器直接测量应变时,易受到环境温度的干扰,将不可避免地产生力温耦合效应。针对该问题,该文提出了一种新型的外接应变传感器负载,并采用了差分结构的无线无源SAW应变传感器设计方法。传感器采用双通道SAW反射型延... 在用声表面波(SAW)传感器直接测量应变时,易受到环境温度的干扰,将不可避免地产生力温耦合效应。针对该问题,该文提出了一种新型的外接应变传感器负载,并采用了差分结构的无线无源SAW应变传感器设计方法。传感器采用双通道SAW反射型延迟线作为无线传感系统的应答器,其中一个通道外接力容性应变片作为外接负载传感器以感知应变量,另外一个通道则外接参考负载以差分抵消测试环境温度变化的影响。该文结合耦合模理论,仿真了负载容性应变传感器电容变化引起的SAW传感系统响应特性。最后通过实验验证了这种差分负载式SAW应变传感器的可行性与有效性。 展开更多
关键词 声表面波(saw) 应变传感器 负载传感器 无线无源
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采用SAW和PLL技术的扩频通信信道模块 被引量:5
20
作者 江洪敏 马晋毅 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2004年第5期348-350,共3页
通过采用锁相环 (PL L)技术实现了射频载波的跳频扩频 (FHSS) ,跳变载波相噪小于 - 98d Bc/ Hz@1k Hz,杂散抑制大于 70 d B,收发端隔离度大于 10 5 d B;声表面波 (SAW)匹配滤波器保证了 2 0 Mbps的直接序列扩频 (DSSS)信号的实时解扩 ,... 通过采用锁相环 (PL L)技术实现了射频载波的跳频扩频 (FHSS) ,跳变载波相噪小于 - 98d Bc/ Hz@1k Hz,杂散抑制大于 70 d B,收发端隔离度大于 10 5 d B;声表面波 (SAW)匹配滤波器保证了 2 0 Mbps的直接序列扩频 (DSSS)信号的实时解扩 ,SAW固定延迟线实现了延迟差分解调与解码。导出采用 2阶有源比例积分器作为PL 展开更多
关键词 PLL 声表面波(saw) 直接序列扩频 跳频扩频 匹配滤 固定延迟线
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