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数字脉冲应答机的时延补偿方法
被引量:
6
1
作者
陈霞
《电讯技术》
北大核心
2010年第4期65-68,共4页
针对模拟体制脉冲应答机中声表面波延迟线的设计缺陷,运用基于FPGA的数字存储转发技术,提出一种数字化高精度时延补偿方法,大大提高了脉冲应答机的时延转发精度。该脉冲应答机具有延迟时间易修改、转发精度高等特点,对实际工程应用具有...
针对模拟体制脉冲应答机中声表面波延迟线的设计缺陷,运用基于FPGA的数字存储转发技术,提出一种数字化高精度时延补偿方法,大大提高了脉冲应答机的时延转发精度。该脉冲应答机具有延迟时间易修改、转发精度高等特点,对实际工程应用具有借鉴价值。
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关键词
脉冲应答机
声表面波
滤波
存储转发
时延补偿
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职称材料
低频高阻带抑制SAW有源滤波组件
2
作者
张晓迎
谭学斌
张峥嵘
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2002年第4期255-257,共3页
介绍了一种低频高阻带抑制 SAW有源滤波组件的设计方法 ,并介绍了最新研制的滤波组件的性能。其中心频率 18MHz,通带波动 0 .5 d B,近端阻带抑制达 10 5 d B,远端阻带抑制大于 95 d B(其中三次谐波抑制大于75 d B) ,增益 8d B。
关键词
低频带通
滤波
器
体液效应
声表面波
滤波
低频
声表面波
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职称材料
新型多频介电频散测井仪信号源设计
3
作者
李郴
《石油仪器》
2012年第6期15-17,101-102,共3页
分析了新型多频介电频散测井仪的工作原理及应用,设计了一种新型多频介电频散测井仪的信号源方案。采用超奈奎斯特频率操作技术和SPI通信控制接口。硬件电路系统由基于DSP的通信控制板、基于多功能调制器AD9912的信号发生器板及声表面...
分析了新型多频介电频散测井仪的工作原理及应用,设计了一种新型多频介电频散测井仪的信号源方案。采用超奈奎斯特频率操作技术和SPI通信控制接口。硬件电路系统由基于DSP的通信控制板、基于多功能调制器AD9912的信号发生器板及声表面波滤波器组成。经过分析和实验验证,信号源的性能参数能满足测井的需要,为新型多频介电频散测井技术提供了新手段。
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关键词
多频介电频散测井仪
超奈奎斯特频率
声表面波
滤波
DSP
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职称材料
滤波器的过去、现在与未来
被引量:
6
4
作者
邓重一
《世界电子元器件》
2003年第4期48-49,共2页
前言 凡是有能力进行信号处理的装置都可以称为滤波器.在近代电信装备和各类控制系统中,滤波器应用极为广泛;在所有的电子部件中,使用最多,技术最复杂要算滤波器了.滤波器的优劣直接决定产品的优劣,所以,对滤波器的研究和生产历来为各...
前言 凡是有能力进行信号处理的装置都可以称为滤波器.在近代电信装备和各类控制系统中,滤波器应用极为广泛;在所有的电子部件中,使用最多,技术最复杂要算滤波器了.滤波器的优劣直接决定产品的优劣,所以,对滤波器的研究和生产历来为各国所重视.
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关键词
滤波
器
分类
有源
滤波
器
自适应
滤波
器
多维
滤波
器
声表面波
滤波
器
晶体
滤波
器
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职称材料
基于X-LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si低温漂、大机电耦合SH-SAW谐振器的设计
5
作者
温福军
王园园
+5 位作者
钱莉荣
王荔田
李翠平
熊阳
田亚会
李红浪
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期290-295,共6页
铌酸锂(LN)单晶薄膜具有较高的机电耦合系数(k_(eff)^(2)>30%),其水平剪切(SH)声学模式常被应用于开发具有大机电耦合系数的薄膜声学谐振器和超宽带滤波器。但LN的频率温度系数较大(TCF>-50×10^(-6)/℃),这不仅会降低滤波器...
铌酸锂(LN)单晶薄膜具有较高的机电耦合系数(k_(eff)^(2)>30%),其水平剪切(SH)声学模式常被应用于开发具有大机电耦合系数的薄膜声学谐振器和超宽带滤波器。但LN的频率温度系数较大(TCF>-50×10^(-6)/℃),这不仅会降低滤波器的可用有效带宽,同时也会限制器件的功率处理能力。采用3D周期有限元模型对基于X切LN/SiO2/Si结构SH声表面波(SH-SAW)谐振器进行了优化研究。研究结果表明,当SH-SAW传播角ψ=-10°~-20°、LN和SiO2膜厚分别为hLN=0.1λ和hSiO_(2)=0.2λ(λ为叉指换能器周期)、铝电极金属化率η=0.4、电极相对厚度hAl/λ=5%~10%时,SH-SAW谐振器的k_(eff)^(2)约为30%,且其TCF<-20×10^(-6)/℃,有望用于开发新一代的低温漂、超宽带5G SAW滤波器。
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关键词
X切铌酸锂薄膜
水平剪切
声表面波
有效机电耦合系数
频率温度系数
声表面波
谐振器
超宽带
声表面波
滤波
器
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职称材料
高频窄带声表面波滤波器
6
作者
李勇
谢中华
+3 位作者
周宗闽
章德
翟凡
王蓉
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第2期216-220,共5页
为满足温漂要求,同时避免驻波效应,利用剥离工艺在石英基片上制作了中心频率为1128MHz,3dB带宽为2.8MHz,插入损耗>-12dB,带外抑制>40dB的高频窄带声表面波滤波器。
关键词
声表面波
滤波
器
剥离
准谐
波
声表面波
器件
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职称材料
新型波浪加权式高性能声表面波滤波器设计
7
作者
张帅
郭瑜
+2 位作者
傅肃磊
李百川
王为标
《电子元件与材料》
CAS
北大核心
2024年第1期73-78,共6页
射频滤波器是移动通信中信号传输频率选择、噪声滤除干扰的不可或缺的关键器件。压电薄膜多层衬底结构的声表面波滤波器因具有高矩形度、低损耗等优点在近年来被广泛应用,但其谐振器固有的横向模式会极大影响滤波器性能。为此提出了一...
射频滤波器是移动通信中信号传输频率选择、噪声滤除干扰的不可或缺的关键器件。压电薄膜多层衬底结构的声表面波滤波器因具有高矩形度、低损耗等优点在近年来被广泛应用,但其谐振器固有的横向模式会极大影响滤波器性能。为此提出了一种新型的波浪加权式叉指设计的声表面波谐振器,该谐振器通过使用正弦函数作为交叠长度加权包络曲线,能够在不恶化谐振器性能的前提下有效抑制谐振器中的横向模式。将波浪加权式叉指设计的谐振器按照梯形拓扑结构级联,设计并制备了一款尺寸为1.1 mm×0.9 mm×0.55 mm的高性能滤波器。该滤波器中心频率为2.593 GHz,相对带宽为8.8%,插入损耗为0.52 dB。实物测试结果与仿真基本一致。
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关键词
压电薄膜
声表面波
谐振器
声表面波
滤波
器
横向模式
波
浪加权
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职称材料
声表面波滤波器的综合设计
被引量:
6
8
作者
刘清洪
《火控雷达技术》
2002年第4期38-43,共6页
对常规插入损耗的声表面波滤波器的设计进行分析和综合 ,提出此类滤波器的常规设计方法 ,并对容易产生的问题进行分析 ,并提出相应的对策。给出了几种典型滤波器的设计及其结果 ,证明这些设计方法是正确可靠的 ,是设计高性能声表面波滤...
对常规插入损耗的声表面波滤波器的设计进行分析和综合 ,提出此类滤波器的常规设计方法 ,并对容易产生的问题进行分析 ,并提出相应的对策。给出了几种典型滤波器的设计及其结果 ,证明这些设计方法是正确可靠的 ,是设计高性能声表面波滤波器的一种有效方法。
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关键词
声表面波
滤波
器
设计
叉指换能器
时域抽样
二阶效应
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职称材料
硅基底和金刚石基底上沉积ZnO薄膜工艺研究
被引量:
7
9
作者
陈颖慧
高杨
+1 位作者
席仕伟
赵兴海
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期25-28,共4页
采用射频磁控溅射方法分别在硅基底和金刚石基底上制备ZnO薄膜,研究了硅和金刚石衬底的不同对ZnO薄膜生长机理的影响,同时分析了氩氧比和退火温度这两个工艺参数对薄膜的晶格取向和表面形貌的影响。利用XRD和AFM对ZnO压电薄膜的性能进...
采用射频磁控溅射方法分别在硅基底和金刚石基底上制备ZnO薄膜,研究了硅和金刚石衬底的不同对ZnO薄膜生长机理的影响,同时分析了氩氧比和退火温度这两个工艺参数对薄膜的晶格取向和表面形貌的影响。利用XRD和AFM对ZnO压电薄膜的性能进行了测试。结果显示,金刚石基片上制备的薄膜表面状态远优于硅基片上的薄膜表面状态;在同类型基底上生长的ZnO薄膜,薄膜的晶格取向随着氩氧比的升高而增强;对于硅基底上生长的ZnO薄膜,适当的退火能够成倍地提高薄膜的c轴取向性。
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关键词
声表面波
滤波
器
ZNO薄膜
金刚石
射频磁控溅射
氩氧比
退火温度
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职称材料
GPS接收机的抗干扰设计
被引量:
3
10
作者
蒋海丽
郑建生
潘慧
《航天电子对抗》
2004年第6期36-39,共4页
简单地阐述了GPS信号的特性 ,并据此分析了对GPS信号的几种干扰形式 ,同时提出了基于自适应天线阵列和声表面波滤波器 (SAWF)的抗干扰设计。通过计算机仿真试验 。
关键词
GPS
干扰
抗干扰
自适应天线阵列
声表面波
滤波
器(SAWF)
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职称材料
硅基钽酸锂异质晶圆键合工艺研究
11
作者
陈哲明
丁雨憧
+3 位作者
邹少红
龙勇
石自彬
马晋毅
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2024年第4期634-640,共7页
5G移动通信的发展对声表面波滤波器提出了高频、小型化、集成化的要求。相较于传统压电体单晶材料,采用硅基压电单晶薄膜材料制备的声表面波滤波器具有高频、低插入损耗、高温稳定性等优势,是高性能声表面波器件发展的核心基础材料。Sma...
5G移动通信的发展对声表面波滤波器提出了高频、小型化、集成化的要求。相较于传统压电体单晶材料,采用硅基压电单晶薄膜材料制备的声表面波滤波器具有高频、低插入损耗、高温稳定性等优势,是高性能声表面波器件发展的核心基础材料。Smart-Cut^(TM)是制备硅基压电单晶薄膜材料的主要方法,键合工艺是其中的核心工序,键合质量决定了硅基压电单晶薄膜晶圆材料的质量,并影响器件性能。本文通过低温直接键合工艺,对等离子活化、兆声清洗、预键合、键合加固四道工序展开优化,最终实现了键合强度高达1.84 J/m^(2)、键合面积超过99.9%的高质量硅基钽酸锂异质晶圆键合。
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关键词
硅基钽酸锂
低温直接键合
等离子活化
兆
声
清洗
预键合
键合加固
声表面波
滤波
器
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职称材料
采用还原基片的声表面波滤波器可靠性研究
12
作者
倪烨
袁燕
+4 位作者
张倩
任秀娟
刘启迪
张志阳
张志悦
《仪器与设备》
2024年第1期1-10,共10页
分析了压电基片热释电效应产生的机理和使用中带来的问题,采用还原基片(以下简称黑片)可以有效提高声表面波滤波器的抗静电能力。针对采用黑片工艺的声表面波滤波器可靠性展开研究:选取不同种类的黑片,进行不同芯片尺寸的声表面波滤波...
分析了压电基片热释电效应产生的机理和使用中带来的问题,采用还原基片(以下简称黑片)可以有效提高声表面波滤波器的抗静电能力。针对采用黑片工艺的声表面波滤波器可靠性展开研究:选取不同种类的黑片,进行不同芯片尺寸的声表面波滤波器粘接固化、筛选试验和装配后的剪切/粘接强度测试,并进行结构分析、鉴定检验和元器件评估。试验结果表明,黑片满足声表面波滤波器的高可靠性要求,对后续在高可靠声表面波滤波器中的应用具有指导意义。
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关键词
热释电效应
还原基片
声表面波
滤波
器
可靠性
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职称材料
小型化高阻带抑制声表面波滤波器组件设计
被引量:
2
13
作者
张伟
蒲志勇
+3 位作者
龚旭
温桎茹
杨桃均
吕翼
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第5期677-681,共5页
基于声表面波(SAW)滤波器技术,采用两级滤波器级联、滤波器环绕开关、多通道抗干扰布局等方法,实现了一种小型化、高阻带抑制组件的研制。实验结果表明,研制的多通道滤波组件尺寸为18 mm×15 mm×5 mm,其-3 dB带宽大于48 MHz,...
基于声表面波(SAW)滤波器技术,采用两级滤波器级联、滤波器环绕开关、多通道抗干扰布局等方法,实现了一种小型化、高阻带抑制组件的研制。实验结果表明,研制的多通道滤波组件尺寸为18 mm×15 mm×5 mm,其-3 dB带宽大于48 MHz,插入损耗小于7 dB,带内幅度波动小于1.5 dB,近端阻带抑制大于70 dBc,具有很好的实用性。
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关键词
声表面波
滤波
器
级联
小型化
阻带抑制
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职称材料
一种横向耦合改进型结构极窄带声表面波滤波器研究
14
作者
张显洪
杨卫东
+3 位作者
肖强
蒋道军
张晟
施建峰
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期306-309,共4页
该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插...
该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插入损耗约为6 dB的极窄带声表面波滤波器并进行验证。结果表明,中心耦合条开腔结构的声表面波滤波器的相对带宽达到7.2‰,与不开腔结构5.2‰相对带宽相比,提升了2‰。这说明横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构变化,能改变极窄带声表面波滤波器的相对带宽。
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关键词
横向耦合
极窄带
声表面波
滤波
器
物理场COMSOL软件
相对带宽
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职称材料
超宽带低损耗SAW滤波器的优化设计
被引量:
6
15
作者
黄歆
闫坤坤
+1 位作者
黄玮
魏勇平
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020年第2期155-158,共4页
该文介绍了基于大机电耦合系数乐甫波模式的超宽带低损耗声表滤波器的开发,基底为15°YX-LiNbO3晶体和铜电极。设计采用修正的耦合模模型进行精确仿真以及模拟退火算法进行谐振器参数的优化。通过假指电极宽度/长度加权来抑制横向...
该文介绍了基于大机电耦合系数乐甫波模式的超宽带低损耗声表滤波器的开发,基底为15°YX-LiNbO3晶体和铜电极。设计采用修正的耦合模模型进行精确仿真以及模拟退火算法进行谐振器参数的优化。通过假指电极宽度/长度加权来抑制横向模式谐振造成的寄生响应,通过在滤波器表面涂覆黏性膜来有效抑制瑞利波模式造成的寄生凹坑,最终制作出一款中心频率约620 MHz,插损0.94 dB,-1 dB相对带宽14.9%,-3 dB相对带宽18.3%,带外抑制大于40 dB性能较优良的器件。
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关键词
声表面波
滤波
器
超宽带
铜电极/15°YX-LiNbO3
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职称材料
一种宽带低损耗声表面波滤波器
被引量:
5
16
作者
秦廷辉
朱自湘
周平
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1998年第2期77-79,共3页
阐述了一种利用纵向耦合双模制作宽带低损耗声表面波滤波器的方法,给出了理论计算方法和计算机模拟结果,最后给出了制作中心频率为453MHz的声表面波滤波器实验结果,插入损耗为1.9dB,1dB带宽为6.66MHz,远端带...
阐述了一种利用纵向耦合双模制作宽带低损耗声表面波滤波器的方法,给出了理论计算方法和计算机模拟结果,最后给出了制作中心频率为453MHz的声表面波滤波器实验结果,插入损耗为1.9dB,1dB带宽为6.66MHz,远端带外抑制大于45dB。
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关键词
声表面波
滤波
器
反射器
叉指换能器
滤波
器
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职称材料
低插损窄带TCSAW滤波器的设计与研制
17
作者
黄亮
周亚男
+2 位作者
王志超
何朝峰
朱卫俊
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期300-305,共6页
为了减小窄带滤波器的插入损耗,在梯形拓扑的基础上引入并联电容,提出了一种并联电容型梯形拓扑。利用并联电容大幅度改变反谐振点频率的特点,以牺牲较小插入损耗的代价来缩小带宽。通过谐振器设计与进化算法寻优,成功研制出一款基于SiO...
为了减小窄带滤波器的插入损耗,在梯形拓扑的基础上引入并联电容,提出了一种并联电容型梯形拓扑。利用并联电容大幅度改变反谐振点频率的特点,以牺牲较小插入损耗的代价来缩小带宽。通过谐振器设计与进化算法寻优,成功研制出一款基于SiO_(2)/Cu/127°YX-LiNbO3结构的低插损窄带温补型声表面波(TCSAW)滤波器。实验结果表明,滤波器的中心频率为1514 MHz,相对带宽为0.46%,带内插入损耗仅1.45 dB,过渡带20 MHz带外抑制滚降到24 dB,远带带外抑制大于30 dB,WiFi频段抑制高达48 dB,频率温度系数TCF为-20×10^(-6)/℃,器件尺寸为1.1 mm×0.9 mm。
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关键词
温补型
声表面波
滤波
器
梯形拓扑
并联电容
窄带
低插损
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职称材料
改进型梯形谐振滤波器的带通滤波器设计
被引量:
5
18
作者
盛正茂
覃亚丽
谢长明
《电声技术》
2011年第7期31-32,37,共3页
提出了一种改进型的梯形滤波器,串联支路由单端谐振器构成,并联支路由单端对谐振器与电容元件组成。以这种改进型梯形谐振滤波器为基本单元,进行了五级级联,同时并联了一个SAW谐振器,设计出一个带通滤波器。利用等效电路模型,得到了频...
提出了一种改进型的梯形滤波器,串联支路由单端谐振器构成,并联支路由单端对谐振器与电容元件组成。以这种改进型梯形谐振滤波器为基本单元,进行了五级级联,同时并联了一个SAW谐振器,设计出一个带通滤波器。利用等效电路模型,得到了频率响应。与传统方法相比,通带内更加平稳,同时获得了一个陡峭的过渡带,带外抑制达30dB以上。
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关键词
声表面波
滤波
器
SAW单端对谐振器
LC等效电路
近阻带抑制
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职称材料
高阻带抑制宽带低损耗声表面波滤波器研究
被引量:
5
19
作者
毛世平
曾庆高
+2 位作者
陈彦光
蒋世义
彭昱皓
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期337-339,共3页
基于分布间隙纵向耦合五换能器结构,加入谐振器单元,采用41°Y-X LiNbO_3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232 MHz,3dB带宽23.2 MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗为-1.9dB,相对带宽达到10%,矩形系数2.2,阻带抑制大于50dB...
基于分布间隙纵向耦合五换能器结构,加入谐振器单元,采用41°Y-X LiNbO_3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232 MHz,3dB带宽23.2 MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗为-1.9dB,相对带宽达到10%,矩形系数2.2,阻带抑制大于50dB,产品综合性能指标优异,有很好的实用性。
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关键词
大带宽
声表面波
滤波
器
五换能器
谐振器
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职称材料
题名
数字脉冲应答机的时延补偿方法
被引量:
6
1
作者
陈霞
机构
中国西南电子技术研究所
出处
《电讯技术》
北大核心
2010年第4期65-68,共4页
文摘
针对模拟体制脉冲应答机中声表面波延迟线的设计缺陷,运用基于FPGA的数字存储转发技术,提出一种数字化高精度时延补偿方法,大大提高了脉冲应答机的时延转发精度。该脉冲应答机具有延迟时间易修改、转发精度高等特点,对实际工程应用具有借鉴价值。
关键词
脉冲应答机
声表面波
滤波
存储转发
时延补偿
查找表
Keywords
pulse transponder
surface acoustic wave filter(SAWF)
store and forward(SAF)
time delay compensation
look-up table(LUT)
分类号
TN802 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
低频高阻带抑制SAW有源滤波组件
2
作者
张晓迎
谭学斌
张峥嵘
机构
四川压电与声光技术研究所
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2002年第4期255-257,共3页
文摘
介绍了一种低频高阻带抑制 SAW有源滤波组件的设计方法 ,并介绍了最新研制的滤波组件的性能。其中心频率 18MHz,通带波动 0 .5 d B,近端阻带抑制达 10 5 d B,远端阻带抑制大于 95 d B(其中三次谐波抑制大于75 d B) ,增益 8d B。
关键词
低频带通
滤波
器
体液效应
声表面波
滤波
低频
声表面波
Keywords
low frequency bandpass filter
filter module
bulk wave
分类号
TN713.4 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
新型多频介电频散测井仪信号源设计
3
作者
李郴
机构
中国电波传播研究所
出处
《石油仪器》
2012年第6期15-17,101-102,共3页
文摘
分析了新型多频介电频散测井仪的工作原理及应用,设计了一种新型多频介电频散测井仪的信号源方案。采用超奈奎斯特频率操作技术和SPI通信控制接口。硬件电路系统由基于DSP的通信控制板、基于多功能调制器AD9912的信号发生器板及声表面波滤波器组成。经过分析和实验验证,信号源的性能参数能满足测井的需要,为新型多频介电频散测井技术提供了新手段。
关键词
多频介电频散测井仪
超奈奎斯特频率
声表面波
滤波
DSP
Keywords
dielectric scanner
super Nyquist sampling
SAW
DSP
frequency agility
分类号
P631.811 [天文地球—地质矿产勘探]
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职称材料
题名
滤波器的过去、现在与未来
被引量:
6
4
作者
邓重一
机构
湖南建材高等专科学校电子信息工程系
出处
《世界电子元器件》
2003年第4期48-49,共2页
文摘
前言 凡是有能力进行信号处理的装置都可以称为滤波器.在近代电信装备和各类控制系统中,滤波器应用极为广泛;在所有的电子部件中,使用最多,技术最复杂要算滤波器了.滤波器的优劣直接决定产品的优劣,所以,对滤波器的研究和生产历来为各国所重视.
关键词
滤波
器
分类
有源
滤波
器
自适应
滤波
器
多维
滤波
器
声表面波
滤波
器
晶体
滤波
器
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
基于X-LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si低温漂、大机电耦合SH-SAW谐振器的设计
5
作者
温福军
王园园
钱莉荣
王荔田
李翠平
熊阳
田亚会
李红浪
机构
天津理工大学集成电路科学与工程学院
天津理工大学光电器件与通信技术教育部工程研究中心
中国科学院声学研究所
国家纳米科学中心
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期290-295,共6页
基金
国家重点研发计划项目(2022YFB3606702)
广东省重点研发计划项目(2023B0101190002)
+3 种基金
广州市重点研发计划项目(202206070001)
天津市技术创新引导专项(基金)企业科技特派员项目(23YDTPJC00600)
北京市科技新星计划项目(20220484172)
中国科学院青年创新促进会(2022024)。
文摘
铌酸锂(LN)单晶薄膜具有较高的机电耦合系数(k_(eff)^(2)>30%),其水平剪切(SH)声学模式常被应用于开发具有大机电耦合系数的薄膜声学谐振器和超宽带滤波器。但LN的频率温度系数较大(TCF>-50×10^(-6)/℃),这不仅会降低滤波器的可用有效带宽,同时也会限制器件的功率处理能力。采用3D周期有限元模型对基于X切LN/SiO2/Si结构SH声表面波(SH-SAW)谐振器进行了优化研究。研究结果表明,当SH-SAW传播角ψ=-10°~-20°、LN和SiO2膜厚分别为hLN=0.1λ和hSiO_(2)=0.2λ(λ为叉指换能器周期)、铝电极金属化率η=0.4、电极相对厚度hAl/λ=5%~10%时,SH-SAW谐振器的k_(eff)^(2)约为30%,且其TCF<-20×10^(-6)/℃,有望用于开发新一代的低温漂、超宽带5G SAW滤波器。
关键词
X切铌酸锂薄膜
水平剪切
声表面波
有效机电耦合系数
频率温度系数
声表面波
谐振器
超宽带
声表面波
滤波
器
Keywords
X-cut lithium niobate
SH-SAW
effective electromechanical coupling coefficient
temperature
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
TN713
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职称材料
题名
高频窄带声表面波滤波器
6
作者
李勇
谢中华
周宗闽
章德
翟凡
王蓉
机构
南京电子器件研究所
南京大学声学研究所
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第2期216-220,共5页
文摘
为满足温漂要求,同时避免驻波效应,利用剥离工艺在石英基片上制作了中心频率为1128MHz,3dB带宽为2.8MHz,插入损耗>-12dB,带外抑制>40dB的高频窄带声表面波滤波器。
关键词
声表面波
滤波
器
剥离
准谐
波
声表面波
器件
Keywords
SAWFLiftoffQuasiharmonic
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
TN713
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职称材料
题名
新型波浪加权式高性能声表面波滤波器设计
7
作者
张帅
郭瑜
傅肃磊
李百川
王为标
机构
江南大学物联网工程学院
无锡市好达电子股份有限公司
上海师范大学信息与机电工程学院
出处
《电子元件与材料》
CAS
北大核心
2024年第1期73-78,共6页
基金
国家自然科学基金(61701195)。
文摘
射频滤波器是移动通信中信号传输频率选择、噪声滤除干扰的不可或缺的关键器件。压电薄膜多层衬底结构的声表面波滤波器因具有高矩形度、低损耗等优点在近年来被广泛应用,但其谐振器固有的横向模式会极大影响滤波器性能。为此提出了一种新型的波浪加权式叉指设计的声表面波谐振器,该谐振器通过使用正弦函数作为交叠长度加权包络曲线,能够在不恶化谐振器性能的前提下有效抑制谐振器中的横向模式。将波浪加权式叉指设计的谐振器按照梯形拓扑结构级联,设计并制备了一款尺寸为1.1 mm×0.9 mm×0.55 mm的高性能滤波器。该滤波器中心频率为2.593 GHz,相对带宽为8.8%,插入损耗为0.52 dB。实物测试结果与仿真基本一致。
关键词
压电薄膜
声表面波
谐振器
声表面波
滤波
器
横向模式
波
浪加权
Keywords
piezoelectric thin films
surface acoustic wave resonator
surface acoustic wave filter
transverse mode
wave weighted
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
声表面波滤波器的综合设计
被引量:
6
8
作者
刘清洪
机构
西安电子工程研究所
出处
《火控雷达技术》
2002年第4期38-43,共6页
文摘
对常规插入损耗的声表面波滤波器的设计进行分析和综合 ,提出此类滤波器的常规设计方法 ,并对容易产生的问题进行分析 ,并提出相应的对策。给出了几种典型滤波器的设计及其结果 ,证明这些设计方法是正确可靠的 ,是设计高性能声表面波滤波器的一种有效方法。
关键词
声表面波
滤波
器
设计
叉指换能器
时域抽样
二阶效应
Keywords
residual sideband filter interdigital transducer odd even resolution time domain sampling second order effect
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
硅基底和金刚石基底上沉积ZnO薄膜工艺研究
被引量:
7
9
作者
陈颖慧
高杨
席仕伟
赵兴海
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
中国工程物理研究院北京研究生部.北京
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第1期25-28,共4页
基金
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016,2010A0302013)
文摘
采用射频磁控溅射方法分别在硅基底和金刚石基底上制备ZnO薄膜,研究了硅和金刚石衬底的不同对ZnO薄膜生长机理的影响,同时分析了氩氧比和退火温度这两个工艺参数对薄膜的晶格取向和表面形貌的影响。利用XRD和AFM对ZnO压电薄膜的性能进行了测试。结果显示,金刚石基片上制备的薄膜表面状态远优于硅基片上的薄膜表面状态;在同类型基底上生长的ZnO薄膜,薄膜的晶格取向随着氩氧比的升高而增强;对于硅基底上生长的ZnO薄膜,适当的退火能够成倍地提高薄膜的c轴取向性。
关键词
声表面波
滤波
器
ZNO薄膜
金刚石
射频磁控溅射
氩氧比
退火温度
Keywords
SAW filter
ZnO film
diamond
RF reactive magnetron sputtering
the ratio of Ar/02
annealing temperature
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
GPS接收机的抗干扰设计
被引量:
3
10
作者
蒋海丽
郑建生
潘慧
机构
武汉大学电子信息学院
出处
《航天电子对抗》
2004年第6期36-39,共4页
文摘
简单地阐述了GPS信号的特性 ,并据此分析了对GPS信号的几种干扰形式 ,同时提出了基于自适应天线阵列和声表面波滤波器 (SAWF)的抗干扰设计。通过计算机仿真试验 。
关键词
GPS
干扰
抗干扰
自适应天线阵列
声表面波
滤波
器(SAWF)
分类号
P228.4 [天文地球—大地测量学与测量工程]
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职称材料
题名
硅基钽酸锂异质晶圆键合工艺研究
11
作者
陈哲明
丁雨憧
邹少红
龙勇
石自彬
马晋毅
机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2024年第4期634-640,共7页
基金
科工局项目(JPPT-XX)。
文摘
5G移动通信的发展对声表面波滤波器提出了高频、小型化、集成化的要求。相较于传统压电体单晶材料,采用硅基压电单晶薄膜材料制备的声表面波滤波器具有高频、低插入损耗、高温稳定性等优势,是高性能声表面波器件发展的核心基础材料。Smart-Cut^(TM)是制备硅基压电单晶薄膜材料的主要方法,键合工艺是其中的核心工序,键合质量决定了硅基压电单晶薄膜晶圆材料的质量,并影响器件性能。本文通过低温直接键合工艺,对等离子活化、兆声清洗、预键合、键合加固四道工序展开优化,最终实现了键合强度高达1.84 J/m^(2)、键合面积超过99.9%的高质量硅基钽酸锂异质晶圆键合。
关键词
硅基钽酸锂
低温直接键合
等离子活化
兆
声
清洗
预键合
键合加固
声表面波
滤波
器
Keywords
silicon-based lithium tantalate
low-temperature direct bonding
plasma activation
megasonic cleaning
pre-bonding
thermal treatment
surface acoustic wave filter
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TM22 [一般工业技术—材料科学与工程]
TN713 [电气工程—电工理论与新技术]
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职称材料
题名
采用还原基片的声表面波滤波器可靠性研究
12
作者
倪烨
袁燕
张倩
任秀娟
刘启迪
张志阳
张志悦
机构
北京航天微电科技有限公司
出处
《仪器与设备》
2024年第1期1-10,共10页
文摘
分析了压电基片热释电效应产生的机理和使用中带来的问题,采用还原基片(以下简称黑片)可以有效提高声表面波滤波器的抗静电能力。针对采用黑片工艺的声表面波滤波器可靠性展开研究:选取不同种类的黑片,进行不同芯片尺寸的声表面波滤波器粘接固化、筛选试验和装配后的剪切/粘接强度测试,并进行结构分析、鉴定检验和元器件评估。试验结果表明,黑片满足声表面波滤波器的高可靠性要求,对后续在高可靠声表面波滤波器中的应用具有指导意义。
关键词
热释电效应
还原基片
声表面波
滤波
器
可靠性
分类号
TN7 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
小型化高阻带抑制声表面波滤波器组件设计
被引量:
2
13
作者
张伟
蒲志勇
龚旭
温桎茹
杨桃均
吕翼
机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023年第5期677-681,共5页
文摘
基于声表面波(SAW)滤波器技术,采用两级滤波器级联、滤波器环绕开关、多通道抗干扰布局等方法,实现了一种小型化、高阻带抑制组件的研制。实验结果表明,研制的多通道滤波组件尺寸为18 mm×15 mm×5 mm,其-3 dB带宽大于48 MHz,插入损耗小于7 dB,带内幅度波动小于1.5 dB,近端阻带抑制大于70 dBc,具有很好的实用性。
关键词
声表面波
滤波
器
级联
小型化
阻带抑制
Keywords
surface acoustic wave filter
cascade
miniaturization
stop-band suppression
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN713
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职称材料
题名
一种横向耦合改进型结构极窄带声表面波滤波器研究
14
作者
张显洪
杨卫东
肖强
蒋道军
张晟
施建峰
机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期306-309,共4页
基金
国家重大预研项目(31512030307,31512030304)。
文摘
该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插入损耗约为6 dB的极窄带声表面波滤波器并进行验证。结果表明,中心耦合条开腔结构的声表面波滤波器的相对带宽达到7.2‰,与不开腔结构5.2‰相对带宽相比,提升了2‰。这说明横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构变化,能改变极窄带声表面波滤波器的相对带宽。
关键词
横向耦合
极窄带
声表面波
滤波
器
物理场COMSOL软件
相对带宽
Keywords
lateral coupled
ultra-narrow band
SAW filter
multi-physics COMSOL software
fractional bandwidth
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
下载PDF
职称材料
题名
超宽带低损耗SAW滤波器的优化设计
被引量:
6
15
作者
黄歆
闫坤坤
黄玮
魏勇平
机构
北京中科飞鸿科技有限公司
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020年第2期155-158,共4页
文摘
该文介绍了基于大机电耦合系数乐甫波模式的超宽带低损耗声表滤波器的开发,基底为15°YX-LiNbO3晶体和铜电极。设计采用修正的耦合模模型进行精确仿真以及模拟退火算法进行谐振器参数的优化。通过假指电极宽度/长度加权来抑制横向模式谐振造成的寄生响应,通过在滤波器表面涂覆黏性膜来有效抑制瑞利波模式造成的寄生凹坑,最终制作出一款中心频率约620 MHz,插损0.94 dB,-1 dB相对带宽14.9%,-3 dB相对带宽18.3%,带外抑制大于40 dB性能较优良的器件。
关键词
声表面波
滤波
器
超宽带
铜电极/15°YX-LiNbO3
Keywords
SAW filter
ultra-wideband
Cu electrode/15°YX-LiNbO3
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
TN384
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职称材料
题名
一种宽带低损耗声表面波滤波器
被引量:
5
16
作者
秦廷辉
朱自湘
周平
机构
四川压电与声光技术研究所
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1998年第2期77-79,共3页
文摘
阐述了一种利用纵向耦合双模制作宽带低损耗声表面波滤波器的方法,给出了理论计算方法和计算机模拟结果,最后给出了制作中心频率为453MHz的声表面波滤波器实验结果,插入损耗为1.9dB,1dB带宽为6.66MHz,远端带外抑制大于45dB。
关键词
声表面波
滤波
器
反射器
叉指换能器
滤波
器
Keywords
SAW filter,reflector,interdigital transducer
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
TN65
下载PDF
职称材料
题名
低插损窄带TCSAW滤波器的设计与研制
17
作者
黄亮
周亚男
王志超
何朝峰
朱卫俊
机构
中电科技德清华莹电子有限公司
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期300-305,共6页
文摘
为了减小窄带滤波器的插入损耗,在梯形拓扑的基础上引入并联电容,提出了一种并联电容型梯形拓扑。利用并联电容大幅度改变反谐振点频率的特点,以牺牲较小插入损耗的代价来缩小带宽。通过谐振器设计与进化算法寻优,成功研制出一款基于SiO_(2)/Cu/127°YX-LiNbO3结构的低插损窄带温补型声表面波(TCSAW)滤波器。实验结果表明,滤波器的中心频率为1514 MHz,相对带宽为0.46%,带内插入损耗仅1.45 dB,过渡带20 MHz带外抑制滚降到24 dB,远带带外抑制大于30 dB,WiFi频段抑制高达48 dB,频率温度系数TCF为-20×10^(-6)/℃,器件尺寸为1.1 mm×0.9 mm。
关键词
温补型
声表面波
滤波
器
梯形拓扑
并联电容
窄带
低插损
Keywords
TCSAW filter
ladder-type topology
shunt capacitance
narrow-band
low insertion loss
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
TN713
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职称材料
题名
改进型梯形谐振滤波器的带通滤波器设计
被引量:
5
18
作者
盛正茂
覃亚丽
谢长明
机构
浙江工业大学信息工程学院
出处
《电声技术》
2011年第7期31-32,37,共3页
文摘
提出了一种改进型的梯形滤波器,串联支路由单端谐振器构成,并联支路由单端对谐振器与电容元件组成。以这种改进型梯形谐振滤波器为基本单元,进行了五级级联,同时并联了一个SAW谐振器,设计出一个带通滤波器。利用等效电路模型,得到了频率响应。与传统方法相比,通带内更加平稳,同时获得了一个陡峭的过渡带,带外抑制达30dB以上。
关键词
声表面波
滤波
器
SAW单端对谐振器
LC等效电路
近阻带抑制
Keywords
SAWF
SAW resonator
LC equivalent circuit
suppression near to passband
分类号
TN713.5 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
高阻带抑制宽带低损耗声表面波滤波器研究
被引量:
5
19
作者
毛世平
曾庆高
陈彦光
蒋世义
彭昱皓
机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
天津大学电气自动化与信息工程学院
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期337-339,共3页
基金
国家科技部重点研发计划项目资助
文摘
基于分布间隙纵向耦合五换能器结构,加入谐振器单元,采用41°Y-X LiNbO_3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232 MHz,3dB带宽23.2 MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗为-1.9dB,相对带宽达到10%,矩形系数2.2,阻带抑制大于50dB,产品综合性能指标优异,有很好的实用性。
关键词
大带宽
声表面波
滤波
器
五换能器
谐振器
Keywords
wide bandwidth
surface acoustic wave filter
five-IDT
resonator
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
数字脉冲应答机的时延补偿方法
陈霞
《电讯技术》
北大核心
2010
6
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职称材料
2
低频高阻带抑制SAW有源滤波组件
张晓迎
谭学斌
张峥嵘
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2002
0
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职称材料
3
新型多频介电频散测井仪信号源设计
李郴
《石油仪器》
2012
0
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职称材料
4
滤波器的过去、现在与未来
邓重一
《世界电子元器件》
2003
6
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职称材料
5
基于X-LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si低温漂、大机电耦合SH-SAW谐振器的设计
温福军
王园园
钱莉荣
王荔田
李翠平
熊阳
田亚会
李红浪
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024
0
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职称材料
6
高频窄带声表面波滤波器
李勇
谢中华
周宗闽
章德
翟凡
王蓉
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
1999
0
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职称材料
7
新型波浪加权式高性能声表面波滤波器设计
张帅
郭瑜
傅肃磊
李百川
王为标
《电子元件与材料》
CAS
北大核心
2024
0
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职称材料
8
声表面波滤波器的综合设计
刘清洪
《火控雷达技术》
2002
6
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职称材料
9
硅基底和金刚石基底上沉积ZnO薄膜工艺研究
陈颖慧
高杨
席仕伟
赵兴海
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012
7
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职称材料
10
GPS接收机的抗干扰设计
蒋海丽
郑建生
潘慧
《航天电子对抗》
2004
3
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职称材料
11
硅基钽酸锂异质晶圆键合工艺研究
陈哲明
丁雨憧
邹少红
龙勇
石自彬
马晋毅
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2024
0
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职称材料
12
采用还原基片的声表面波滤波器可靠性研究
倪烨
袁燕
张倩
任秀娟
刘启迪
张志阳
张志悦
《仪器与设备》
2024
0
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职称材料
13
小型化高阻带抑制声表面波滤波器组件设计
张伟
蒲志勇
龚旭
温桎茹
杨桃均
吕翼
《压电与声光》
CAS
北大核心
2023
2
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职称材料
14
一种横向耦合改进型结构极窄带声表面波滤波器研究
张显洪
杨卫东
肖强
蒋道军
张晟
施建峰
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024
0
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职称材料
15
超宽带低损耗SAW滤波器的优化设计
黄歆
闫坤坤
黄玮
魏勇平
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020
6
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职称材料
16
一种宽带低损耗声表面波滤波器
秦廷辉
朱自湘
周平
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1998
5
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职称材料
17
低插损窄带TCSAW滤波器的设计与研制
黄亮
周亚男
王志超
何朝峰
朱卫俊
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024
0
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职称材料
18
改进型梯形谐振滤波器的带通滤波器设计
盛正茂
覃亚丽
谢长明
《电声技术》
2011
5
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职称材料
19
高阻带抑制宽带低损耗声表面波滤波器研究
毛世平
曾庆高
陈彦光
蒋世义
彭昱皓
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2018
5
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职称材料
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