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等离子体增强原子层沉积增透阻隔膜的研究被引量：4: 1; 作者林晶于贵文 +3 位作者孙智慧张莉巩雪钱锋《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期566-570,共5页; 高阻隔高透光率的柔性复合材料在包装和电子封装领域具有很高的应用价值。本文采用等离子增强原子层沉积技术在PET基体上制备了多层结构的增透阻隔膜,研究了等离子增强原子层沉积制备氧化硅和氮化硅的工艺参数,利用光学模拟软件设计出... 展开更多; 关键词等离子体增强原子层沉积 PET 阻隔性增透性; 下载PDF 职称材料

硫化锌表面微结构抗反射特性的理论模拟及制备: 2; 作者罗兴李明毛建勇《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期67-75,共9页; 针对硫化锌表面微纳米结构在中远红外波段7~10μm的增透性能开展理论及实验研究。基于时域有限差分软件建立物理模型,理论研究微结构参数变化对减反性能产生的影响,依据红外光谱值分布图宏观展示微结构参数与透过率的关系。利用飞秒激... 展开更多; 关键词飞秒激光时域有限差分法增透性抗反射微结构硫化锌; 下载PDF 职称材料

金刚石自支撑膜衬底制备AlN薄膜的性能被引量：2: 3; 作者张营营李成明 +3 位作者陈良贤刘金龙黑立富吕反修《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1-5,共5页; 采用射频磁控反应溅射法在金刚石自支撑膜衬底上沉积了AlN薄膜,XRD结果表明得到了(002)面择优取向的AlN薄膜;AFM的表面形貌结果显示薄膜表面平整,晶粒均匀,表面粗糙度为2.97 nm。XPS分析结果表明,离子剥蚀2.1 nm后Al/N原子百分比接近于1... 展开更多; 关键词射频磁控反应溅射金刚石自支撑膜 ALN 增透性; 原文传递

金刚石薄膜的红外增透性被引量：2: 4; 作者杨国伟毛友德《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1992年第2期148-150,182,共4页; 以 CH_3COCH_3/H_2为工作气体,用 HFCVD 方法,制备出适用于红外光学的金刚石薄膜。用 SEM 观察到了所制备膜的表面晶形。讨论了金刚石薄膜的红外增透性。; 关键词金刚石薄膜表面晶形红外增透性; 下载PDF 职称材料

金刚石薄膜结构和光学性质的研究: 5; 作者宋慧《长春师范学院学报》 1997年第5期27-31,共5页; 采用电子辅助热丝CVD方法在Si衬底上制备出金刚石薄膜,用扫描电子显微镜(SEM).Raman光谱和红外吸收光谱等研究方法对金刚石薄膜的结构及其红外增透性进行了详尽的研究。; 关键词金刚石薄膜结构红外增透性; 下载PDF 职称材料

金刚石薄膜的红外增透性质: 6; 作者金曾孙吕宪义 +2 位作者于三杨钧邹广田《真空》 CAS 北大核心 1990年第5期21-24,共4页; 本文研究了用热解化学气相沉积方法在硅单晶衬底上制备的金刚石膜对硅衬底的红外透过率的影响，发现有些金刚石薄膜具有明显的红外增透性质。; 关键词金刚石薄膜红外增透性气相沉积; 下载PDF 职称材料

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