羌塘盆地尼玛地区盒子波分析 被引量：3

1

作者 王飞 裴金梅 +2 位作者 刘凤智 刘志欢 李国顺 《物探与化探》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期352-357,共6页

西藏地区羌塘盆地地表、地质条件复杂,资料信噪比极低,地层褶皱严重,地震成像差。目前勘探程度低,资料有限,地震勘探施工参数选择困难,对于地震资料处理参数选取难度大。为了更加有效地认识该地区资料干扰波特点,选择合适的地震勘探采... 西藏地区羌塘盆地地表、地质条件复杂,资料信噪比极低,地层褶皱严重,地震成像差。目前勘探程度低,资料有限,地震勘探施工参数选择困难,对于地震资料处理参数选取难度大。为了更加有效地认识该地区资料干扰波特点,选择合适的地震勘探采集参数,提出了合适的盒子波调查方法。通过盒子波分析,发现该区产生规律性很强的规则干扰波,其速度、振幅存在较大差异。通过室内组合分析,认为该地区接收组合方式对资料影响较大,接收组合个数、基距和组合图形等参数均影响着资料品质。 展开更多

关键词 羌塘盆地 盒子波 施工参数 组合 基距

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铁路货物装卸作业计费办法解释(续二)

2

《铁道货运》 1997年第2期53-54,共2页

关键词 装卸作业 铁路货物 装卸距离 法解释 搬运作业 基距 装卸机械 托运人 集装箱 运费率

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不同磁控溅射模式膜厚均匀性研究 被引量：18

3

作者 惠迎雪 杭凌侠 +1 位作者 徐均琪 陈伟 《西安工业学院学报》 2003年第1期32-36,共5页

　使用磁控溅射和非平衡磁控溅射方法,在玻璃基底上沉积钛膜.实验了在同等工艺条件下平衡和非平衡两种不同的工作模式对膜厚均匀性的影响.结果表明,靶基距是影响磁控溅射薄膜厚度均匀性的重要工艺参数,在一定范围内,随着靶基距的增大,... 　使用磁控溅射和非平衡磁控溅射方法,在玻璃基底上沉积钛膜.实验了在同等工艺条件下平衡和非平衡两种不同的工作模式对膜厚均匀性的影响.结果表明,靶基距是影响磁控溅射薄膜厚度均匀性的重要工艺参数,在一定范围内,随着靶基距的增大,膜厚分布均匀性有提高的趋势;磁场分布是影响两种磁控溅射膜厚分布差异的主要因素;非平衡磁控溅射膜厚均匀性随附加励磁线圈电流改变而变化. 展开更多

关键词 磁控溅射 非平衡磁控溅射 均匀性 靶基距

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检波器野外组合因素对地震资料品质的影响分析 被引量：22

4

作者 魏继东 丁伟 《石油物探》 EI CSCD 北大核心 2010年第3期312-318,共7页

检波器组合是地震资料野外采集阶段衰减噪声最重要的手段之一。决定组合衰减噪声效果的因素有组合因素(组合基距,组内距,检波器数量,组合高差,组合形式等)以及施工地区的地质条件、噪声的类型与强度等。从验证不同组合因素对地震资料的... 检波器组合是地震资料野外采集阶段衰减噪声最重要的手段之一。决定组合衰减噪声效果的因素有组合因素(组合基距,组内距,检波器数量,组合高差,组合形式等)以及施工地区的地质条件、噪声的类型与强度等。从验证不同组合因素对地震资料的影响出发,通过计算组合的方向特性曲线及野外试验,量化分析了组合因素对地震资料的影响,提出一种组合基距在Inline方向设置为一个道距,在Crossline方向设置为一个最大干扰波波长的组合方案,以有效衰减来自各个方向的规则干扰波。计算表明,在组合基距确定的前提下,缩小组内距、增加检波器数量有利于提高资料的信噪比,但当检波器数量增加到某个临界点后,继续缩小组内距、增加检波器个数则不能显著提高组合的压噪能力。实践证明,在地表复杂、地层吸收严重、次生干扰发育的地区,组内高差允许值应适当放宽,这有利于提高地震资料的信噪比。分析认为,Inline方向大致等于一个道距,Crossline方向大致等于一个最大干扰波波长的矩形组合是具有良好方向特性,又便于野外施工的检波器最佳组合方式之一。 展开更多

关键词 组合基距 组内距 检波器数量 组内高差 组合方式 信噪比

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靶基距对直流反应磁控溅射制备TiO_2薄膜光学性质的影响 被引量：4

5

作者 王贺权 沈辉 +2 位作者 巴德纯 汪保卫 闻立时 《真空》 CAS 北大核心 2005年第1期11-14,共4页

应用DC(直流)反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜,在固定的电源功率下,氩气流量为42.6sccm,氧流量为15sccm,溅射时间为30min的条件下,通过控制靶基距改变TiO2薄膜的光学性质。应用n&kAnalyzer1200测量,当靶基距增加时薄膜的平... 应用DC(直流)反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜,在固定的电源功率下,氩气流量为42.6sccm,氧流量为15sccm,溅射时间为30min的条件下,通过控制靶基距改变TiO2薄膜的光学性质。应用n&kAnalyzer1200测量,当靶基距增加时薄膜的平均反射率降低,同时反射低谷先短波后长波之后再短波;靶基距对消光系数k影响较大;随着靶基距的增加薄膜的折射率出现了下降的趋势,但当靶基距达到一定的量值时折射率的变化趋于稳定。通过XRD和SEM表征发现,随着靶基距的增加TiO2的晶体结构由金红石相向锐钛矿相转变,薄膜表面的颗粒度大小由粗大变得微小细密。 展开更多

关键词 二氧化钛薄膜 直流反应磁控溅射 靶基距 反射率

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高密度三维地震采集技术在高尚堡油田的应用 被引量：9

6

作者 谢占安 邢文军 赵会欣 《石油钻采工艺》 CAS CSCD 北大核心 2009年第A01期33-38,共6页

随着对老油田勘探开发程度的不断深入,常规地震勘探已经难以满足对微构造、薄互层、精细油藏描述等问题研究的需要,对地震资料的信噪比、分辨率和保真度方面提出了更高的要求。为了满足精细勘探开发的需要,2007年冀东油田在高南地区进行... 随着对老油田勘探开发程度的不断深入,常规地震勘探已经难以满足对微构造、薄互层、精细油藏描述等问题研究的需要,对地震资料的信噪比、分辨率和保真度方面提出了更高的要求。为了满足精细勘探开发的需要,2007年冀东油田在高南地区进行了40 km2高密度空间采样三维地震采集,重点对面元尺寸、覆盖次数和组合基距的选择进行了研究,通过采集处理攻关,获取的地震资料较原三维地震资料品质有大幅度提高,尤其在分辨率方面效果更显著,资料的频带展宽了25 Hz左右。为该区的深化勘探、开发工作奠定了坚实的基础。 展开更多

关键词 高密度三维地震 面元 覆盖次数 组合基距 高尚堡油田

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检波器组合对高分辨率地震勘探的影响 被引量：8

7

作者 王珂 《中国煤炭地质》 2010年第7期61-65,共5页

基于检波器组合各点为平面简谐波同相叠加的假设,地震勘探野外施工多将检波器组合作为压制噪音提高原始资料信噪比的一种主要手段,但实际野外地震地质因素难以满足假设条件,导致由多个检波器组合叠加的地震信号存在一定程度的畸变,进而... 基于检波器组合各点为平面简谐波同相叠加的假设,地震勘探野外施工多将检波器组合作为压制噪音提高原始资料信噪比的一种主要手段,但实际野外地震地质因素难以满足假设条件,导致由多个检波器组合叠加的地震信号存在一定程度的畸变,进而影响到信号的振幅和频率。通过对组合基距及组内距的计算,论证了检波器组合对信号频率及振幅的影响程度。实际资料分析证明,检波器组合在噪音压制的同时也会损伤到有效信号,尤其高频信息成份;过大的检波器组合基距,不仅会降低原始资料信噪比,甚至还会降低原始资料频率。据此提出在高信噪比地区,采集地震数据宜采用较小检波器组合基距,以提高原始资料的分辨率。 展开更多

关键词 检波器组合 组合基距 高分辨率 地震勘探

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WO_3薄膜的微观结构与电致变色机制研究 被引量：7

8

作者 杨海刚 王聪 +2 位作者 宋桂林 王天兴 常方高 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期181-184,共4页

采用直流反应磁控溅射方法在ITO导电玻璃上沉积了WO3薄膜,研究了靶基距对其微结构和电致变色性能的影响,利用XRD、SEM和XPS对薄膜的微结构和成分进行了表征。通过可见光透射谱对样品的电致变色性能进行了研究,并且讨论了WO3薄膜电致变... 采用直流反应磁控溅射方法在ITO导电玻璃上沉积了WO3薄膜,研究了靶基距对其微结构和电致变色性能的影响,利用XRD、SEM和XPS对薄膜的微结构和成分进行了表征。通过可见光透射谱对样品的电致变色性能进行了研究,并且讨论了WO3薄膜电致变色性能与其微结构、价态变化之间的关系。发现靶基距为7cm的情况下沉积得到的WO3薄膜呈非晶态,薄膜有更多的孔隙,有利于Li+的抽取,进而显示出较好的电致变色性能。反应溅射制备的WO3薄膜中W是W6+价态,颜色为透明状,当发生着色反应时,随着薄膜中Li+成分增加,薄膜颜色变为蓝色,薄膜中W原子为W6+和W5+的混合价态。认为其电致变色的行为是由于Li+和e-在薄膜中的注入和拉出引起的W6+和W5+发生转化所致。 展开更多

关键词 WO3薄膜 磁控溅射 靶基距 电致变色机制

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氧化锌共掺杂薄膜的光电性能研究

9

作者 李粮任 朱刘 《广东化工》 CAS 2024年第14期1-4,42,共5页

为研究不同掺杂氧化锌靶材制备薄膜的光电性能,采用了AZO和AGZO靶材制备薄膜样品,研究不同靶基距下制备AZO薄膜的均匀性,同时研究了不同溅射工艺参数下的AZO、AGZO薄膜的光电性能,此外,通过对比分析AZO、AGZO薄膜之间的性能差异,探究靶... 为研究不同掺杂氧化锌靶材制备薄膜的光电性能,采用了AZO和AGZO靶材制备薄膜样品,研究不同靶基距下制备AZO薄膜的均匀性,同时研究了不同溅射工艺参数下的AZO、AGZO薄膜的光电性能,此外,通过对比分析AZO、AGZO薄膜之间的性能差异,探究靶材组分改进对薄膜性能的影响和机理。实验结果表明,靶基距为9 cm沉积薄膜的厚度均匀性较好;在纯氩条件制备的AZO和AGZO薄膜的方阻最低,此外,AZO和AGZO薄膜在300nm~1300 nm的较宽区域均展现了良好的光学透射性能,在200℃/0%O2的参数条件下,AZO和AGZO薄膜的电阻率在10^(-3)Ω·cm量级,载流子浓度在10^(20)cm^(-3)量级,其中Ⅲ族元素的掺杂量增大的AGZO(2.6wt%Al_(2)O_(3)+Ga_(2)O_(3))在最佳工艺参数条件制备的薄膜的光电性能更为优越。 展开更多

关键词 磁控溅射 靶基距 薄膜 铝掺杂氧化锌 铝镓掺杂氧化锌 光电性能

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CoFe/NiFe复合自由层对自旋阀磁电阻变化率的影响

10

作者 刘斌 王向谦 +2 位作者 李钰瑛 卢启海 谢明玲 《甘肃科学学报》 2024年第1期52-57,86,共7页

研究CoFe/NiFe复合自由层对自旋阀磁电阻变化率的影响。在实验中通过固定溅射功率、时间和气流,调节靶基距(TSD)得到不同厚度及均匀性的复合自由层CoFe/NiFe薄膜,进而达到优化自旋阀结构提高其磁电阻率的目的。实验结果表明:在TSD分别为... 研究CoFe/NiFe复合自由层对自旋阀磁电阻变化率的影响。在实验中通过固定溅射功率、时间和气流,调节靶基距(TSD)得到不同厚度及均匀性的复合自由层CoFe/NiFe薄膜,进而达到优化自旋阀结构提高其磁电阻率的目的。实验结果表明:在TSD分别为8.382 cm、8.890 cm时,制备的CoFe和NiFe单层膜性能最优,电阻标准偏差分别为1.33%、0.98%。通过磁性能综合测试平台对优化后的CoFe/NiFe复合自由层的自旋阀结构进行了测试,磁电阻变化率(MR)较优化前提高了约0.84%。该研究可为高性能自旋阀结构的制备提供参考。 展开更多

关键词 自旋阀 CoFe/NiFe复合自由层 靶基距 磁电阻变化率

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靶基距对射频磁控溅射法制备氟碳膜的结构与性能影响 被引量：4

11

作者 刘增机 纪全 +2 位作者 张浴晖 夏延致 王凤军 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期918-920,共3页

采用射频磁控溅射法,以聚四氟乙烯(PT-FE)为靶,氩气为载气,在再生纤维素基底上制备了氟碳膜。用原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)和静态接触角测试仪对氟碳膜的表面形貌、表面结构和表面性能进行了研究。结果表明,该法制得的氟... 采用射频磁控溅射法,以聚四氟乙烯(PT-FE)为靶,氩气为载气,在再生纤维素基底上制备了氟碳膜。用原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)和静态接触角测试仪对氟碳膜的表面形貌、表面结构和表面性能进行了研究。结果表明,该法制得的氟碳膜是由纳米粒子组成的岛状结构,岛的表面起伏不平。这种氟碳膜由—CF3、—CF2—、—CF—和—C—4个组分构成,靶基距从30mm增加到80mm时,氟碳膜的F/C从0.551减小到0.427,呈逐渐减小的趋势。随着靶基距的增大,接触角从107°逐渐减小到75°,减小靶基距有利于提高氟碳膜的疏水性能。 展开更多

关键词 射频磁控溅射 靶基距 AFM XPS 接触角

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枪基距对悬浮液等离子喷涂YSZ组织结构的影响

12

作者 刘保侠 张盟 +5 位作者 周绪强 牛云松 黄迪 杨沁乾 鲍泽斌 朱圣龙 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第17期202-207,217,共7页

目的研究三电极悬浮液等离子喷涂不同枪基距对涂层组织结构的影响。方法在DZ411高温合金表面制备铂铝涂层后,配制纳米氧化钇稳定氧化锆悬浮液,采用AXIALⅢ型悬浮液等离子喷涂设备,高能喷涂8YSZ热障涂层,探索不同枪基距对热障涂层组织结... 目的研究三电极悬浮液等离子喷涂不同枪基距对涂层组织结构的影响。方法在DZ411高温合金表面制备铂铝涂层后,配制纳米氧化钇稳定氧化锆悬浮液,采用AXIALⅢ型悬浮液等离子喷涂设备,高能喷涂8YSZ热障涂层,探索不同枪基距对热障涂层组织结构的影响规律。采用扫描电子显微镜和X射线衍射仪,分析YSZ沉积态和退火态陶瓷涂层的组织结构。结果喷涂所得的YSZ热障涂层呈花菜状,涂层均为非平衡t'相微纳米组织结构。随着喷枪与基体之间的距离增加,所获涂层的结晶度较好,粗糙度逐渐提高,菜花状颗粒尺度逐渐增大,涂层内部孔洞数量逐渐增加。涂层在1100℃退火后,出现不同程度的剥落、界面剥离以及横纵向裂纹搭接的现象。仅枪基距为105mm的YSZ涂层孔洞数量最多,且退火后并未出现明显的涂层剥离现象。结论利用三电极等离子喷涂纳米YSZ悬浮液获得花菜状热障涂层,探讨了枪基距的不同对涂层组织结构的影响,涂层厚度的增加使得涂层结晶程度增加、孔隙高、裂纹少,且膜基界面的热稳定性好。 展开更多

关键词 悬浮液等离子喷涂 热障涂层 花菜状 枪基距

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高能等离子喷涂垂直裂纹氧化锆热障涂层工艺及结合性能研究

13

作者 刘保侠 张盟 +5 位作者 周绪强 牛云松 黄迪 杨沁乾 鲍泽斌 朱圣龙 《耐火材料》 CAS 北大核心 2024年第4期284-289,共6页

为延长氧化钇稳定氧化锆热障涂层的使用寿命,通过高能等离子喷涂设备,以HS188合金为基体,NiCrAlY粉(打底层,d_(50)=106μm)和氧化钇稳定的氧化锆粉(YSZ,d_(50)=50μm)为喷涂料,采用递进式的探索方法,通过调整枪基距(85、95、105和115 mm... 为延长氧化钇稳定氧化锆热障涂层的使用寿命,通过高能等离子喷涂设备,以HS188合金为基体,NiCrAlY粉(打底层,d_(50)=106μm)和氧化钇稳定的氧化锆粉(YSZ,d_(50)=50μm)为喷涂料,采用递进式的探索方法,通过调整枪基距(85、95、105和115 mm)和冷却方式(后风冷、后风冷+枪冷、前风冷、前风冷+枪冷)来控制涂层的组织结构,并采用拉拔法评价NiCrAlY+YSZ涂层的结合强度。结果表明:在枪基距较远以及冷却速率较低的情况下,因试样表面瞬热温度较低和激冷不足,涂层难以形成垂直裂纹结构。然而,在瞬热温度达到要求,风冷速率过度的情况下,会出现喷涂颗粒未熔的现象。当枪基距为85 mm,冷却方式为前风冷时,在HS188合金上获得了垂直裂纹形貌的热障陶瓷涂层,同时涂层的垂直裂纹密度适中,结合强度最高,韧性也最好。 展开更多

关键词 高能等离子喷涂 热障涂层 NICRALY 氧化锆 风冷 枪基距

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胜利探区弱反射信号接收方法研究及试验 被引量：4

14

作者 徐雷良 张光德 +2 位作者 刘斌 徐钰 胡来东 《地球物理学进展》 CSCD 北大核心 2013年第6期3132-3141,共10页

通过地震弱反射信号的分析研究获得地球深部精细构造,增强深部资源勘探能力,是目前地球物理学研究的热点之一.胜利探区在高精度地震资料后续处理过程中逐步发现,目前地震资料数据难以满足当前微幅构造、砂砾岩体等复杂地质体调查的需要... 通过地震弱反射信号的分析研究获得地球深部精细构造,增强深部资源勘探能力,是目前地球物理学研究的热点之一.胜利探区在高精度地震资料后续处理过程中逐步发现,目前地震资料数据难以满足当前微幅构造、砂砾岩体等复杂地质体调查的需要.本文通过在胜利探区高精度地震采集过程中开展各种接收方法试验,对检波器二次串并联、接收点位、组合基距等不同接收方式开展研究,初步归纳形成一套提高弱反射信号的接收方法.研究结果表明,该技术方法记录信噪比高、能量强,可有效拓宽地震资料频宽、增强弱反射信号接收能力. 展开更多

关键词 弱反射信号 串并联方式 接收点位数 组合基距 单炮频宽

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靶/基距对CrTiAlN薄膜性能影响的研究 被引量：3

15

作者 金杰 李娜 +1 位作者 田正磊 李浩 《浙江工业大学学报》 CAS 2013年第1期73-75,115,共4页

利用闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备在H13热作模具钢基体上沉积了CrTiAlN薄膜.采用SEM、EDS、维氏显微硬度计、涂层附着力划痕仪等测试仪器对薄膜的形貌和成分进行了表征和分析,测得了薄膜的表面显微硬度和膜/基结合力,并采用摩擦磨损... 利用闭合场非平衡磁控溅射离子镀设备在H13热作模具钢基体上沉积了CrTiAlN薄膜.采用SEM、EDS、维氏显微硬度计、涂层附着力划痕仪等测试仪器对薄膜的形貌和成分进行了表征和分析,测得了薄膜的表面显微硬度和膜/基结合力,并采用摩擦磨损试验仪对薄膜的摩擦磨损性能进行了测试.研究和分析了不同靶/基距对CrTiAlN薄膜的厚度、成分和性能的影响. 展开更多

关键词 靶/基距 CrTiAlN 显微硬度 膜/基结合力 摩擦磨损性能

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鄂尔多斯盆地低信噪比复杂地区检波器组合方法分析 被引量：3

16

作者 王正良 肖国强 +11 位作者 付群礼 吕震川 姚宗惠 史庆阳 高斌 伊鸿斌 高强 张鹏 侯杰 史炳程 王彦铎 焦桂行 《煤田地质与勘探》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期225-233,共9页

在鄂尔多斯盆地西北部,低信噪比复杂地区存在严重的随机干扰,这导致该区地震资料信噪比很低。在不提高覆盖次数情况下,针对该区造成地震资料信噪比低的严重随机干扰问题,开展检波器组合压制随机干扰的方法研究。研究了随机干扰对动静校... 在鄂尔多斯盆地西北部,低信噪比复杂地区存在严重的随机干扰,这导致该区地震资料信噪比很低。在不提高覆盖次数情况下,针对该区造成地震资料信噪比低的严重随机干扰问题,开展检波器组合压制随机干扰的方法研究。研究了随机干扰对动静校正量准确求取的影响,检波器组合对干扰波的压制作用,组内高差和组合基距对地震采集资料高频的影响,对比分析检波器组内距对随机干扰的衰减效果。研究结果表明:在盆地低信噪比复杂地区,野外检波器组合重点压制严重的随机干扰波,提高地震资料信噪比;小于1 m的检波器组内高差对该区地震采集资料110 Hz以下高频成分影响有限,小于13 m组合基距对中、深目的层地震资料70 Hz以内频率影响有限;理论计算和试验资料综合确定的随机干扰半径为1.7~2.0 m,大于随机干扰半径的检波器组合内距能有效压制随机干扰波,其中组内距3 m比较稳定;以上参数确定的检波器组合接收方法压制随机干扰波后,所得到的地震单炮记录相比单点接收、高覆盖次数压制随机干扰波所得到的资料在70 Hz有限频带内更能提高信噪比、频率,而且成本相对低。该结果在鄂尔多斯盆地低信噪比复杂地区地震勘探野外采集中具有指导作用。 展开更多

关键词 检波器组合 随机干扰波 组内高差 组合基距 低信噪比复杂地区 鄂尔多斯盆地

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陕西长武地区巨厚黄土塬激发技术研究 被引量：2

17

作者 张帆 李刚 徐磊磊 《海洋地质动态》 北大核心 2009年第4期38-42,共5页

阐述了对陕西长武地区巨厚黄土塬地区激发方式的研究分析,突破了对在黄土塬地区进行单深井激发取得效果差的认识;并对组合激发进行了理论研究和试验分析,证明巨厚黄土塬大组合基距激发更有利于压制噪音,可以得到信噪比较高的资料,研究... 阐述了对陕西长武地区巨厚黄土塬地区激发方式的研究分析,突破了对在黄土塬地区进行单深井激发取得效果差的认识;并对组合激发进行了理论研究和试验分析,证明巨厚黄土塬大组合基距激发更有利于压制噪音,可以得到信噪比较高的资料,研究成果丰富和发展了黄土塬地区地震勘探理论,为实现黄土塬地区直线采集奠定了基础。 展开更多

关键词 黄土塬 地震激发 组合基距

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不同靶基距下凹槽表面HIPIMS法制备钒膜的微观结构及膜厚均匀性 被引量：3

18

作者 李春伟 田修波 +1 位作者 巩春志 许建平 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期122-127,共6页

目的研究不同靶基距对高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)在凹槽表面制备钒膜微观结构和膜厚均匀性的影响,实现凹槽表面高膜层致密性和均匀性的钒膜制备。方法采用HIPIMS方法制备钒膜,在其他工艺参数不变的前提下,探讨不同靶基距对凹槽表面钒... 目的研究不同靶基距对高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)在凹槽表面制备钒膜微观结构和膜厚均匀性的影响,实现凹槽表面高膜层致密性和均匀性的钒膜制备。方法采用HIPIMS方法制备钒膜,在其他工艺参数不变的前提下,探讨不同靶基距对凹槽表面钒膜相结构、表面形貌及表面粗糙度、膜层厚度均匀性的影响。采用XRD、AFM及SEM等观测钒膜的表面形貌及生长特征。结果随着靶基距的增加,V(111)晶面衍射峰强度逐渐降低。当靶基距为12 cm时,钒膜膜层表面粗糙度最小,为0.434nm。相比直流磁控溅射(DCMS),采用HIPIMS制备的钒膜呈现出致密的膜层结构且柱状晶晶界不清晰。采用HIPIMS和DCMS方法制备钒膜时的沉积速率均随靶基距的增加而减少。当靶基距为8 cm时,采用HIPIMS方法在凹槽表面制备的钒膜均匀性最佳。结论采用HIPIMS方法凹槽表面钒膜生长的择优取向、表面形貌、沉积速率及膜厚均匀性均有影响。在相同的靶基距下,采用HIPIMS获得的钒膜膜厚均匀性优于DCMS方法。 展开更多

关键词 高功率脉冲磁控溅射 靶基距 钒膜 微观结构 厚度均匀性

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柔性PET衬底上低温制备TZO透明导电薄膜 被引量：3

19

作者 刘汉法 张化福 袁长坤 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期784-788,共5页

利用直流磁控溅射法,在室温水冷柔性PET衬底上成功制备出了掺钛氧化锌透明导电薄膜(TZO)。通过X射线衍射和扫描电镜等表征方法对薄膜结构和特性进行测试分析,研究了靶与衬底之间的距离(靶基距)对TZO薄膜表面形貌、结构、力学、电学和光... 利用直流磁控溅射法,在室温水冷柔性PET衬底上成功制备出了掺钛氧化锌透明导电薄膜(TZO)。通过X射线衍射和扫描电镜等表征方法对薄膜结构和特性进行测试分析,研究了靶与衬底之间的距离(靶基距)对TZO薄膜表面形貌、结构、力学、电学和光学性能的影响。结果表明,实验制备的柔性TZO透明导电薄膜为具有c轴择优取向的六角纤锌矿结构的多晶薄膜;靶基距对PET衬底上的柔性TZO薄膜的性能有较大的影响。随着靶基距从42 mm增大到70 mm,薄膜的生长速率由22.46 nm/min降低到6.92 nm/min;薄膜的电阻率先由55.99×10-4Ω.cm快速减小到5.34×10-4Ω.cm后略有增大并趋稳,5.34×10-4Ω.cm为最小电阻率,其靶基距为52 mm;70 mm靶基距时样品薄膜应力最小,为0.4914 GPa;所有样品的可见光区平均透过率都高于90.97%。 展开更多

关键词 柔性TZO薄膜 透明导电薄膜 应力 靶基距

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靶基距对反应溅射AlN薄膜微结构和性能的影响 被引量：2

20

作者 王进 李翠平 +3 位作者 杨保和 张庚宇 尹涛涛 苏林 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期1519-1524,共6页

采用射频(RF)磁控反应溅射法在Si基底上制备了氮化铝(AlN)薄膜,利用X射线衍射(XRD)、傅立叶红外光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米力学测试系统研究靶基距对AlN薄膜取向性、微结构、形貌和力学性能的影响。结果表明,靶基距较大时,... 采用射频(RF)磁控反应溅射法在Si基底上制备了氮化铝(AlN)薄膜,利用X射线衍射(XRD)、傅立叶红外光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米力学测试系统研究靶基距对AlN薄膜取向性、微结构、形貌和力学性能的影响。结果表明,靶基距较大时,形成的AlN薄膜为非晶态,薄膜表面较疏松;随着靶基距的减少,AlN薄膜变为多晶态,且具有(100)择优取向;随着靶基距的进一步减少,薄膜结晶质量变好,晶粒变大,薄膜变得更致密,择优取向也由(100)逐渐向(002)转变;靶基距较小时,AlN压电薄膜与基底结合得更牢固,而压电薄膜与基底结合的紧密程度对多层膜声表面波(SAW)器件性能优劣的影响至关重要。 展开更多

关键词 氮化铝(AlN)薄膜 靶基距 射频(RF)磁控 择优取向

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