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基于前馈-反馈综合控制的SG-Ⅱ升级装置腔空间滤波器远场串并行自动准直
被引量：
3
1
作者
刘代金
邹伟
+4 位作者
张峰
李红
林强
高妍琦
刘代中
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期17-25,共9页
结合神光Ⅱ升级装置腔空间滤波器远场准直的特点,通过建立孔间耦合模型,提出了一种孔间前馈补偿和孔内反馈调节相结合的多孔串并行综合准直控制方法。该方法通过位置预估和局部极值搜索来实现所有基准中心的提取,并依据图像Jacobian矩阵...
结合神光Ⅱ升级装置腔空间滤波器远场准直的特点,通过建立孔间耦合模型,提出了一种孔间前馈补偿和孔内反馈调节相结合的多孔串并行综合准直控制方法。该方法通过位置预估和局部极值搜索来实现所有基准中心的提取,并依据图像Jacobian矩阵,计算各反射镜电机的反馈控制量。将前孔准直调节量作为后孔准直扰动,并利用孔间耦合模型计算出后孔准直所需的前馈扰动补偿控制量,综合反馈控制量和前馈补偿量实现多孔的串并行准直调节。实验结果表明,基准中心的识别准确率达到97%以上,准直时间由约1 min缩短至30 s左右,在很大程度上提高了准直效率。
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关键词
成像系统
腔空间滤波器
基准
提取
前馈补偿
并行准直
图像Jacobian矩阵
原文传递
改进双树复小波在阶跃特征结构表面基准提取中的应用
2
作者
任志英
高诚辉
+1 位作者
林有希
黄健萌
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第19期84-92,共9页
刻线尺寸的器件表面存在着大量的如槽、台阶等不连续特征,当提取其基准面来做质量评定时,ISO规定最小二乘拟合法来实现,但其鲁棒性远远差于滤波法。而若直接采用传统滤波法(如高斯滤波、小波滤波等)在不连续特征处会产生波动。基于此,...
刻线尺寸的器件表面存在着大量的如槽、台阶等不连续特征,当提取其基准面来做质量评定时,ISO规定最小二乘拟合法来实现,但其鲁棒性远远差于滤波法。而若直接采用传统滤波法(如高斯滤波、小波滤波等)在不连续特征处会产生波动。基于此,提出一种新的滤波稳健算法,通过对双树复小波变换(Dual-tree complex wavelet transform,DT-CWT)进行全变分最小化理论(Total variation minimization,TVM)梯度处理,即对每层的小波系数运用阈值方法进行初始化,借助投影次梯度法将TVM理论与DT-CWT相结合,不断迭代,最终增强DT-CWT在提取几何结构特征基准面的鲁棒性。仿真结果表明,所提算法与传统滤波方法相比,整个表征精度(最大重构误差和均方差)具有最优性,且评定高度也最接近理想高度。对一实测标块,无论从直观三维视图还是侧面对比图,其在阶跃处能很好地抑制波动,与标块实际加工的理论高度偏差只有0.040 3μm,保证了产品的几何特征,为实际的工程应用提供了一种有效的基准提取方法。
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关键词
阶跃结构表面
基准
提取
双树复小波变换
全变分最小化理论
参数评定
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职称材料
题名
基于前馈-反馈综合控制的SG-Ⅱ升级装置腔空间滤波器远场串并行自动准直
被引量：
3
1
作者
刘代金
邹伟
张峰
李红
林强
高妍琦
刘代中
机构
中国科学院自动化研究所精密感知与控制中心
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期17-25,共9页
基金
国家自然科学基金(61403378)
文摘
结合神光Ⅱ升级装置腔空间滤波器远场准直的特点,通过建立孔间耦合模型,提出了一种孔间前馈补偿和孔内反馈调节相结合的多孔串并行综合准直控制方法。该方法通过位置预估和局部极值搜索来实现所有基准中心的提取,并依据图像Jacobian矩阵,计算各反射镜电机的反馈控制量。将前孔准直调节量作为后孔准直扰动,并利用孔间耦合模型计算出后孔准直所需的前馈扰动补偿控制量,综合反馈控制量和前馈补偿量实现多孔的串并行准直调节。实验结果表明,基准中心的识别准确率达到97%以上,准直时间由约1 min缩短至30 s左右,在很大程度上提高了准直效率。
关键词
成像系统
腔空间滤波器
基准
提取
前馈补偿
并行准直
图像Jacobian矩阵
Keywords
imaging systems
cavity spatial filter
reference extraction
feed forward compensation
parallelalignment
image Jacobian matrix
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
改进双树复小波在阶跃特征结构表面基准提取中的应用
2
作者
任志英
高诚辉
林有希
黄健萌
机构
福州大学机械工程及自动化学院
福州大学摩擦学研究所
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第19期84-92,共9页
基金
国家自然科学基金(51175085
51375094
+3 种基金
51205062)
清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金(SKLTKF13B02)
福建省自然科学基金(2015J01195)
福州市科技局(2014-G-74)资助项目
文摘
刻线尺寸的器件表面存在着大量的如槽、台阶等不连续特征,当提取其基准面来做质量评定时,ISO规定最小二乘拟合法来实现,但其鲁棒性远远差于滤波法。而若直接采用传统滤波法(如高斯滤波、小波滤波等)在不连续特征处会产生波动。基于此,提出一种新的滤波稳健算法,通过对双树复小波变换(Dual-tree complex wavelet transform,DT-CWT)进行全变分最小化理论(Total variation minimization,TVM)梯度处理,即对每层的小波系数运用阈值方法进行初始化,借助投影次梯度法将TVM理论与DT-CWT相结合,不断迭代,最终增强DT-CWT在提取几何结构特征基准面的鲁棒性。仿真结果表明,所提算法与传统滤波方法相比,整个表征精度(最大重构误差和均方差)具有最优性,且评定高度也最接近理想高度。对一实测标块,无论从直观三维视图还是侧面对比图,其在阶跃处能很好地抑制波动,与标块实际加工的理论高度偏差只有0.040 3μm,保证了产品的几何特征,为实际的工程应用提供了一种有效的基准提取方法。
关键词
阶跃结构表面
基准
提取
双树复小波变换
全变分最小化理论
参数评定
Keywords
step characteristic structure surface
reference extraction
dual tree complex wavelet
total variation minimization
parameter evaluation
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于前馈-反馈综合控制的SG-Ⅱ升级装置腔空间滤波器远场串并行自动准直
刘代金
邹伟
张峰
李红
林强
高妍琦
刘代中
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
原文传递
2
改进双树复小波在阶跃特征结构表面基准提取中的应用
任志英
高诚辉
林有希
黄健萌
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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