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碳源浓度对CVD金刚石涂层质量的影响 被引量：6
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作者 邓福铭 赵晓凯 +3 位作者 吴学林 邹波 张丹 陆绍悌 《硬质合金》 CAS 2013年第2期59-65,共7页
在自制不锈钢钟罩式HFCVD设备上，以CH3COCH，和H2为气源，采用热丝CVD法在经过碱酸两步法预处理后的YG6硬质合金基体上制备了微米金刚石涂层：利用扫描电镜、Raman光谱仪、洛氏硬度计、维氏硬度计检测涂层的形貌结构、成分、附着性能... 在自制不锈钢钟罩式HFCVD设备上，以CH3COCH，和H2为气源，采用热丝CVD法在经过碱酸两步法预处理后的YG6硬质合金基体上制备了微米金刚石涂层：利用扫描电镜、Raman光谱仪、洛氏硬度计、维氏硬度计检测涂层的形貌结构、成分、附着性能和硬度，着重考察了碳源浓度对涂层质量的影响。结果表明过低碳源浓度造成涂层晶粒间存在缝隙，而过高的碳源浓度会使涂层晶粒细化，同时非金刚石相成分增加。以两步法工艺预处理基体，当碳源浓度为2％、沉积功率为4kW、反应气压3kPa、衬底温度为800℃、热丝基体距离为5mm时，经4h生长，可获得厚度为5．36μm、平均硬度HV为8143．09、平均粒径1~2恤m、纯度高、附着性能良好的微米金刚石涂层。 展开更多
关键词 热丝化学气相沉积 硬质合金 金刚石涂层 基体预处理工艺 碳源浓度
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