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等离子沉积ZrO_2-Y_2O_3陶瓷涂层与基体结合力的研究 被引量:1
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作者 孟琳 李凡 于维平 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2002年第11期8-9,共2页
研究了在利用高能脉冲等离子方法沉积的ZrO2 Y2 O3 陶瓷涂层和NiCoCrAlY合金层之间加入陶瓷梯度结合层的技术 ,进行了涂层的截面形貌分析。实验结果证明 ,在加入陶瓷梯度结合层之后 ,提高了NiCoCrAlY合金的抗高温氧化性能及与ZrO2 Y2 ... 研究了在利用高能脉冲等离子方法沉积的ZrO2 Y2 O3 陶瓷涂层和NiCoCrAlY合金层之间加入陶瓷梯度结合层的技术 ,进行了涂层的截面形貌分析。实验结果证明 ,在加入陶瓷梯度结合层之后 ,提高了NiCoCrAlY合金的抗高温氧化性能及与ZrO2 Y2 O3 ZrO2 陶瓷涂层的结合力。在实验的基础上提出了陶瓷涂层的物理模型。 展开更多
关键词 等离子沉积 ZRO2-Y2O3 陶瓷涂层 基体结合力 研究 高能脉冲等离子
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划痕试验法对特殊薄膜系结合力的检测与评价 被引量:37
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作者 华敏奇 袁振海 《分析测试技术与仪器》 CAS 2002年第4期218-225,共8页
简要介绍了划痕试验法测量表面薄膜与基体结合力的测试原理和实验方法,讨论了影响临界载荷Lc测量值准确性的主要因素.通过对薄膜系的分类以及大量实际测量数据的总结和分析,认为被测薄膜以及基体的物理化学特性对临界载荷的测量具有重... 简要介绍了划痕试验法测量表面薄膜与基体结合力的测试原理和实验方法,讨论了影响临界载荷Lc测量值准确性的主要因素.通过对薄膜系的分类以及大量实际测量数据的总结和分析,认为被测薄膜以及基体的物理化学特性对临界载荷的测量具有重要的影响,单纯从声发射信号的变化来确定临界载荷的方法有可能存在较大误差.分析和讨论了某些特殊薄膜系的声发射信号与其实际临界载荷值之间存在较大偏差的现象和原因,并提出了针对不同膜系,合理利用声发射曲线、摩擦力斜率以及显微观测来正确判定临界载荷的必要性. 展开更多
关键词 划痕试验法 薄膜 检测 评价 膜-基体结合力 临界载荷Lc
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合理使用划痕法及显微法测定TiN薄膜与基体结合力 被引量:3
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作者 肖娜 杜菲菲 《理化检验(物理分册)》 CAS 2015年第9期619-622,625,共5页
采用反应磁控溅射的方法在TC4钛合金基板上制备了TiN薄膜,利用划痕法测试了TiN薄膜与基体之间的结合力,并结合薄膜硬度与显微法判断的临界载荷进行了对比分析。结果表明:单纯依靠划痕法判断临界载荷较为局限,结合显微法同时考虑硬度等... 采用反应磁控溅射的方法在TC4钛合金基板上制备了TiN薄膜,利用划痕法测试了TiN薄膜与基体之间的结合力,并结合薄膜硬度与显微法判断的临界载荷进行了对比分析。结果表明:单纯依靠划痕法判断临界载荷较为局限,结合显微法同时考虑硬度等力学性能共同判断临界载荷,是更为科学合理的办法。 展开更多
关键词 划痕法 显微法 TiN薄膜/基体结合力 硬度
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纳米Al_(2)O_(3)/TiO_(2)多层涂层的低温制备及其性能 被引量:2
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作者 卞凯 唐思文 +4 位作者 王睿 杨植富 张浩 刘骞 刘德顺 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第3期245-253,共9页
采用原子层沉积技术(ALD)在200℃低温条件下将纳米Al_(2)O_(3)/TiO_(2)多层涂层沉积在硬质合金刀具表面。利用扫描电镜SEM、划痕测试仪和三向测力仪以及数控机床等设备,对不同形式的纳米Al_(2)O_(3)/TiO_(2)多层涂层刀具的涂层-基体结... 采用原子层沉积技术(ALD)在200℃低温条件下将纳米Al_(2)O_(3)/TiO_(2)多层涂层沉积在硬质合金刀具表面。利用扫描电镜SEM、划痕测试仪和三向测力仪以及数控机床等设备,对不同形式的纳米Al_(2)O_(3)/TiO_(2)多层涂层刀具的涂层-基体结合力和切削性能等进行研究。结果表明,基于原子层沉积技术低温制备的纳米多层涂层刀具的涂层-基体结合强度高;涂层层数、涂层沉积顺序及涂层层厚比对纳米多层涂层刀具的切削力有不同程度的影响;纳米多层涂层刀具更适合高速切削,当切削速度大于2.33m/s时,纳米多层涂层刀具的切削力和摩擦因数呈下降趋势,表现出良好的切削性能,其中双层纳米涂层刀具的切削性能更好;在高速切削时,纳米多层涂层刀具表面摩擦因数比普通未涂层硬质合金刀具低,纳米Al_(2)O_(3)/TiO_(2)多层涂层能够有效改善刀具的黏结磨损,减少刀-屑粘黏现象和烫伤现象,能够改善刀具表面的耐磨损性能。 展开更多
关键词 原子层沉积 低温制备 纳米多层涂层 涂层-基体结合力 切削性能
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