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烘焙工艺条件对厚胶光刻面形的影响 被引量：11
1
作者 唐雄贵 姚欣 +5 位作者 郭永康 杜惊雷 温圣林 刘波 刘倩 董小春 《微细加工技术》 EI 2005年第3期31-35,共5页
采用厚层正性光刻胶AZ P4620进行光刻实验,考察了在前烘和坚膜阶段不同的工艺参数条件下的光刻胶浮雕面形的变化。实验表明,完全显影后光刻胶的浮雕面形受前烘工艺参数的影响很小,但其显影速率有一定差别;当坚膜烘焙后,不同前烘条件下... 采用厚层正性光刻胶AZ P4620进行光刻实验,考察了在前烘和坚膜阶段不同的工艺参数条件下的光刻胶浮雕面形的变化。实验表明,完全显影后光刻胶的浮雕面形受前烘工艺参数的影响很小,但其显影速率有一定差别;当坚膜烘焙后,不同前烘条件下的浮雕面形差别较大;当前烘条件相同时,坚膜参数的变化对光刻胶的浮雕面形影响较大。由此得出,在前烘阶段应采取较高温度、较短时间的烘焙,而在坚膜阶段应采取较低温度、较长时间的烘焙,这样可提高厚胶光刻面形的质量。 展开更多
关键词 厚胶光刻 前烘 坚膜 光刻面形
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7740玻璃湿法腐蚀凹槽及槽内光刻图形的研究 被引量：6
2
作者 郑志霞 林雁飞 冯勇建 《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期370-372,共3页
用玻璃腐蚀工艺制作MEMS器件,腐蚀非常困难.通过对PYREX7740玻璃在Buffer溶液中腐蚀速率的研究发现,PYREX7740玻璃腐蚀1μm的槽需要25min,而作为掩膜的光刻胶在腐蚀液中只能保持10min不浮胶.为此,文中详细介绍了运用一次光刻,多次坚膜,... 用玻璃腐蚀工艺制作MEMS器件,腐蚀非常困难.通过对PYREX7740玻璃在Buffer溶液中腐蚀速率的研究发现,PYREX7740玻璃腐蚀1μm的槽需要25min,而作为掩膜的光刻胶在腐蚀液中只能保持10min不浮胶.为此,文中详细介绍了运用一次光刻,多次坚膜,多次腐蚀的工艺,来达到对PYREX7740玻璃进行深腐蚀的方法.实验结果表明,光刻胶厚度、坚膜时间、坚膜次数和坚膜温度都与光刻胶的浮胶有关,最后给出了不同条件下凹槽深度与所需的曝光和显影时间的关系,槽越深需要的曝光和显影时间越长.这对于用PYREX7740玻璃制作MEMS器件具有重要意义. 展开更多
关键词 玻璃 光刻图形 湿法腐蚀 MEMS器件 BUFFER 显影时间 光刻胶 工艺制作 腐蚀速率 详细介绍 凹槽深度 坚膜 腐蚀液 曝光
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金属蚀刻技术 被引量：7
3
作者 李国一 徐玉松 +1 位作者 王晓艳 高延敏 《全面腐蚀控制》 2009年第3期20-23,共4页
金属蚀刻技术历史悠久,是一项既古老又新颖、既普通又尖端的技术。随着新技术的发展,新产品的开发,金属蚀刻技术发挥着越来越重要的作用。本文从金属蚀刻的原理入手,简单介绍了这种技术的分类,并详细叙述了其加工过程、应用实例、目前... 金属蚀刻技术历史悠久,是一项既古老又新颖、既普通又尖端的技术。随着新技术的发展,新产品的开发,金属蚀刻技术发挥着越来越重要的作用。本文从金属蚀刻的原理入手,简单介绍了这种技术的分类,并详细叙述了其加工过程、应用实例、目前主要存在问题及前景展望。 展开更多
关键词 蚀刻 光致油墨 坚膜 金属
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BP-212正性光刻胶的抗蚀特性研究 被引量：3
4
作者 郑志霞 冯勇建 +1 位作者 张丹 林雁飞 《微纳电子技术》 CAS 2005年第2期87-89,94,共4页
BP-212正性光刻胶作为掩膜在BHF腐蚀液中腐蚀十几分钟后,光刻胶被腐蚀液破坏而浮胶。玻璃或热生长的二氧化硅深槽腐蚀时间要求几十分钟,传统解决办法是多次光刻腐蚀。本文研究了光刻胶抗腐蚀特性,得出足够的活化时间、合适的匀胶转速、... BP-212正性光刻胶作为掩膜在BHF腐蚀液中腐蚀十几分钟后,光刻胶被腐蚀液破坏而浮胶。玻璃或热生长的二氧化硅深槽腐蚀时间要求几十分钟,传统解决办法是多次光刻腐蚀。本文研究了光刻胶抗腐蚀特性,得出足够的活化时间、合适的匀胶转速、多次坚膜腐蚀可以延长产生浮胶时间的结论。 展开更多
关键词 正性光刻胶 掩膜 坚膜 湿法腐蚀
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坚膜对不锈钢着色膜性能的影响 被引量：2
5
作者 程作慧 薛永强 汤芝平 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期49-51,共3页
坚膜处理对不锈钢着色膜的耐磨性和耐蚀性有重要的影响。研究了2种不同坚膜方法处理后膜的耐磨性和耐蚀性,利用扫描电镜及X射线能谱仪对坚膜处理前后着色膜的表面形貌和成分进行了分析,讨论了坚膜处理对彩色不锈钢耐磨性和耐蚀性的影响... 坚膜处理对不锈钢着色膜的耐磨性和耐蚀性有重要的影响。研究了2种不同坚膜方法处理后膜的耐磨性和耐蚀性,利用扫描电镜及X射线能谱仪对坚膜处理前后着色膜的表面形貌和成分进行了分析,讨论了坚膜处理对彩色不锈钢耐磨性和耐蚀性的影响。结果表明:经电解坚膜处理后着色膜的耐磨性和耐蚀性明显优于经化学坚膜处理后的着色膜;坚膜前着色膜疏松、柔软、不耐磨、易被污物沾染,电解坚膜处理后由于膜中Cr、O的富集,膜上微孔基本消失,增强了膜的耐磨性能和耐蚀性能。 展开更多
关键词 坚膜 着色 不锈钢 耐磨性 耐蚀性
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坚膜剂2,4-二氯-6-羟基均三嗪钠盐的另法制备
6
作者 张景育 《影像技术》 CAS 2007年第4期20-21,共2页
用偏硼酸钠(NaBO2)制备坚膜剂2,4-二氯-6-羟基均三嗪钠盐,坚膜作用与用NaHCO3法的基本相同,但该产品能在室温下自然保存。
关键词 坚膜 坚膜剂 2 4-二氯-6-羟基均三嗪钠盐
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明胶坚膜性能的测定 被引量：1
7
作者 汪仲川 《明胶科学与技术》 CAS 1991年第1期34-40,共7页
照相胶片的坚膜是现代感光材料生产的重要研究课题之一。多层一次薄层高速涂布、高温快速显影加工工艺都需要最佳的坚膜效果。为达此目的,选择最佳的坚膜剂。
关键词 照相胶 明胶 坚膜 性能测定
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聚苯乙烯树脂可剥塑料在枪弹检验中的应用
8
作者 张敏 《刑事技术》 1983年第4期1-2,共2页
多年来,我们曾做了不少枪弹检验,并储存了许多有检验价值的弹壳、弹丸,但由于缺乏科学管理方法,致使弹壳、弹丸金属氧化变质,造成痕迹消褪或消失,失去了储存检验的意义。1982年,在侦破'二·二七'案的过程中,我们检验了1,40... 多年来,我们曾做了不少枪弹检验,并储存了许多有检验价值的弹壳、弹丸,但由于缺乏科学管理方法,致使弹壳、弹丸金属氧化变质,造成痕迹消褪或消失,失去了储存检验的意义。1982年,在侦破'二·二七'案的过程中,我们检验了1,408支枪。 展开更多
关键词 枪弹检验 聚苯乙烯树脂 金属氧化 检材 二七 科学管理方法 坚膜 脱膜 抗蚀 测试效果
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不锈钢板在标牌、面板及装饰品中的应用(二)
9
作者 李春甫 《网印工业》 2004年第2期43-45,共3页
蚀刻+电镀型 此工艺可有几种选择: 1.不锈钢蚀刻后不去膜,然后镀黑镍,这样可获得黑色底层,字和图形为金属本色. 2.钛金板蚀刻后再镀黑镍,即可获得黑色底层,字和图形为金色.
关键词 化学着色 局部调色 坚膜
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用旋转式粘度计研究明胶坚膜过程
10
作者 杨淼 纪冠平 +1 位作者 缪进康 黄明智 《明胶科学与技术》 CAS 1995年第2期82-88,共7页
1.前言 照相材料明胶涂层的坚膜是现代感光科学与照相材料科研中的一个重要课题。随着高温快速加工工艺的发展,要求感光材料具有更为理想的物理机械性能。因此研究照相明胶的坚膜更有其特殊的重要性。 作为坚膜剂的化合物其种类甚多,大... 1.前言 照相材料明胶涂层的坚膜是现代感光科学与照相材料科研中的一个重要课题。随着高温快速加工工艺的发展,要求感光材料具有更为理想的物理机械性能。因此研究照相明胶的坚膜更有其特殊的重要性。 作为坚膜剂的化合物其种类甚多,大体上可分为无机和有机两大类。 展开更多
关键词 照相胶 明胶 粘度计 坚膜 旋转式粘度计
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电路板的制作体会
11
作者 杨有恕 马凤宝 王祥 《中国医学物理学杂志》 CSCD 1990年第2期15-,37,共2页
近几年我们在浊度计试生产中,进行了电路板的制作,摸索了一些经验,取得了令人满意的结果。我们采用光化学法,制作分三步。一、制作玻璃底板。就是将所用电路绘成黑白底图,通过照相,在玻璃上制成付片。二、印制电路板。首先配制感光胶。... 近几年我们在浊度计试生产中,进行了电路板的制作,摸索了一些经验,取得了令人满意的结果。我们采用光化学法,制作分三步。一、制作玻璃底板。就是将所用电路绘成黑白底图,通过照相,在玻璃上制成付片。二、印制电路板。首先配制感光胶。配方是牛胶100克,重铬酸铵8克,水400CC。配制时将牛胶和水倒入烧杯中,隔水加热,搅拌溶解,冷却后加入重铬酸铵,溶解混匀,过滤备用。其次选择表面平滑的敷铜板,用“去污粉”进行除锈去污处理,然后涂上感光胶,置于水平转动园盘上,将感光胶膜甩平,甩干。再进行曝光、显影、坚膜。 展开更多
关键词 重铬酸铵 敷铜板 感光胶 牛胶 坚膜 浊度计 光化学法 去污 印制板 胶膜
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化学加工辅助技术在制作全息图中的应用
12
作者 赵庆春 《光学技术》 EI CAS CSCD 1993年第3期36-39,共4页
本文以卤化银记录材料制作透射型全息图为例,提出了在化学加工过程中,依不同情况和需要分别采用减薄、坚膜、漂白等辅助技术,以提高全息图的衍射效率和再现效果的具体方法,从而达到提高全息图质量之目的。
关键词 全息图 减薄 坚膜 漂白 浮雕像
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等离子刻蚀工艺中UV坚膜技术研究 被引量：2
13
作者 李祥 孙峰 《微电子技术》 1994年第1期36-39,共4页
对正性光刻胶进行UV坚膜处理，可有效地保持图形形貌的完整性，并提高抗蚀性能，可消除等离子刻蚀中容易产生的燃胶等现象，但坚膜用起始温度、终点温度、温升速率及UV光照时间等参数对坚膜效果均会产生较大的影响。参数选择不当，同样... 对正性光刻胶进行UV坚膜处理，可有效地保持图形形貌的完整性，并提高抗蚀性能，可消除等离子刻蚀中容易产生的燃胶等现象，但坚膜用起始温度、终点温度、温升速率及UV光照时间等参数对坚膜效果均会产生较大的影响。参数选择不当，同样会产生不良效果。 展开更多
关键词 等离子刻蚀 工艺 UV坚膜
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坚膜剂在胶质涂层中的辅助作用研究 被引量：3
14
作者 张文广 张永利 《信息记录材料》 2003年第2期17-19,共3页
论述了作为提高胶片物理机械性能的坚膜剂在胶质涂层中除提高坚膜、降低吸水率外 。
关键词 坚膜剂 胶质涂层 感光材料 牢度 卷曲度
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明胶水解产物被坚膜剂交联可能性实验 被引量：3
15
作者 郭云 张锦锡 《明胶科学与技术》 CAS 2009年第1期15-16,共2页
关键词 水解明胶 水解产物 坚膜剂 实验 交联 产物控制 缓慢释放 分子量
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感光胶片坚膜剂——烯基砜类化合物 被引量：3
16
作者 牛志红 燕银发 席真 《感光材料》 北大核心 1991年第5期14-20,46,共8页
烯基砜类化合物[Vinylsulfonyl compounds]对于照相乳剂中的明胶具有优良的坚膜性质,尤其用于卤化银乳剂中不减感,而且减少灰雾。本文介绍了这类坚膜剂,并综述了其制法及其在感光胶片中的应用。
关键词 感光胶片 坚膜剂 烯基砜类
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感光乳剂快速坚膜剂 被引量：2
17
作者 金恩庆 《影像技术》 CAS 2000年第4期32-38,共7页
本文扼要总结了用于制备感光乳剂 ,尤其是彩色胶片的新型有机坚膜剂 ,其应用能使胶片感光层快速坚膜 。
关键词 感光乳剂 快速坚膜剂 有机坚膜剂
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感光材料坚膜剂 被引量：2
18
作者 李而淮 《影像技术》 CAS 2001年第4期12-13,共2页
感光材料坚膜剂的种类介绍和最佳坚膜剂二氯均三嗪的反应应用历程
关键词 感光材料 坚膜剂 有机合成 二氯均三嗪
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胶片的坚膜和防粘连 被引量：2
19
作者 郑志雄 《感光材料》 北大核心 1989年第1期30-32,共3页
作者选择几种典型胶片分别加入不同种类的坚膜剂,坚膜到不同程度。然后,将这些胶片自然存放在无锡没有空调的房间中,经过了湿热的梅雨季节(最长放置了4～10年),观察其粘连情况。发现合理的坚膜程度加上合理的护膜组分可以有效地防止胶... 作者选择几种典型胶片分别加入不同种类的坚膜剂,坚膜到不同程度。然后,将这些胶片自然存放在无锡没有空调的房间中,经过了湿热的梅雨季节(最长放置了4～10年),观察其粘连情况。发现合理的坚膜程度加上合理的护膜组分可以有效地防止胶片粘连,并进而应用分子结构理论对这一现象作了解释。 展开更多
关键词 胶片 坚膜剂 高聚物 防粘连
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坚膜剂H-18的应用研究
20
作者 康长瑞 赵艳红 《影像技术》 CAS 2001年第4期10-11,共2页
本文对乙烯砜基坚膜剂H—18在用量、坚膜效果、溶液的稳定性方面进行了试验。结果表明该坚膜剂具有坚膜速度快、无后期坚膜效应的特点。
关键词 坚膜剂 应用研究 H-18 用量 坚膜效果 双乙烯砜烷基化合物 感光材料
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