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微机械薄膜应力的在线测试结构
被引量：
4
1
作者
刘祖韬
黄庆安
姜岩峰
《测控技术》
CSCD
2002年第7期6-9,共4页
微机械薄膜应力对MEMS器件有较大的影响 ,因此应力测量对于工艺监控和MEMS器件设计是必须的。介绍了微机械薄膜应力的在线测试结构与方法 ,详细分析了各种方法的特点。
关键词
微机械薄膜应力
在线
测试
结构
半导体加工
MEMS器件
微电子技术
下载PDF
职称材料
MEMS薄膜磁学特性的在线测试结构
2
作者
刘林生
刘肃
黄庆安
《微纳电子技术》
CAS
2005年第4期184-187,共4页
为了能实时监控MEMS器件的一些重要指标,人们对器件包括热导率,断裂强度等材料的属性进行了深入研究。由于MEMS磁学特性的复杂性,对MEMS磁学特性在线测量研究得很少。本文分析了具有代表性的薄膜磁学特性测试结构的原理及优缺点,并结合M...
为了能实时监控MEMS器件的一些重要指标,人们对器件包括热导率,断裂强度等材料的属性进行了深入研究。由于MEMS磁学特性的复杂性,对MEMS磁学特性在线测量研究得很少。本文分析了具有代表性的薄膜磁学特性测试结构的原理及优缺点,并结合MEMS在线测试的特点提出了一种比较适合MEMS在线测试的新结构。
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关键词
磁导率
磁化强度
在线
测试
结构
微机电系统薄膜
下载PDF
职称材料
题名
微机械薄膜应力的在线测试结构
被引量：
4
1
作者
刘祖韬
黄庆安
姜岩峰
机构
东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室
出处
《测控技术》
CSCD
2002年第7期6-9,共4页
文摘
微机械薄膜应力对MEMS器件有较大的影响 ,因此应力测量对于工艺监控和MEMS器件设计是必须的。介绍了微机械薄膜应力的在线测试结构与方法 ,详细分析了各种方法的特点。
关键词
微机械薄膜应力
在线
测试
结构
半导体加工
MEMS器件
微电子技术
Keywords
in stiu
stress
micromachine
film
test
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
MEMS薄膜磁学特性的在线测试结构
2
作者
刘林生
刘肃
黄庆安
机构
兰州大学
东南大学
出处
《微纳电子技术》
CAS
2005年第4期184-187,共4页
基金
国家863项目先进制造与自动化技术领域课题(2003AA40401)资助
文摘
为了能实时监控MEMS器件的一些重要指标,人们对器件包括热导率,断裂强度等材料的属性进行了深入研究。由于MEMS磁学特性的复杂性,对MEMS磁学特性在线测量研究得很少。本文分析了具有代表性的薄膜磁学特性测试结构的原理及优缺点,并结合MEMS在线测试的特点提出了一种比较适合MEMS在线测试的新结构。
关键词
磁导率
磁化强度
在线
测试
结构
微机电系统薄膜
Keywords
magnetic permeability
magnetization intensity
in situ rest structure
MEMS thin film
分类号
TM936 [电气工程—电力电子与电力传动]
TN409 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机械薄膜应力的在线测试结构
刘祖韬
黄庆安
姜岩峰
《测控技术》
CSCD
2002
4
下载PDF
职称材料
2
MEMS薄膜磁学特性的在线测试结构
刘林生
刘肃
黄庆安
《微纳电子技术》
CAS
2005
0
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职称材料
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