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题名超大口径光学制造的静压支撑系统集成与控制
被引量：4
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作者
胡海飞
罗霄
戚二辉
胡海翔
郑立功
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
中国科学院大学
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期246-254,共9页
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基金
国家973计划(2011CB013205)
国家自然科学基金(61210015)
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文摘
在超大口径光学制造中,镜体背部空间狭小,转台承载能力有限,要求光学制造的支撑结构尽量简单;镜体承受加工载荷且弥漫加工磨料,要求支撑系统对加工载荷和环境不敏感;此外,为便于在线检测,缩短检测周期,还要求支撑系统具有较高的调整精度和稳定性。设计了一种均力型静压支撑系统,先测试了单个支撑的均力性及刚度,预测了压印效应的大小;随后阐述了支撑系统的控制方法;最后实现了系统集成及其图形用户界面（GUI）界面操作。将该系统用于2m Si C反射镜的光学加工,可将压印效应均方根（RMS）值控制到13.1 nm≈λ/48,满足加工需要;用于立式检测,系统对镜体倾斜和俯仰角可监测到的角度范围为0.34″~0.48°,以及沿Z方向±5 mm的运动;对应曲率中心在XY平面的调节范围d R最大值50 mm,最小值为10μm,与电荷耦合器件（CCD）像元尺寸接近,满足立式检测需要。对目前具有重大需求的2~4 m量级反射镜而言,该系统具有较好的适用性。
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关键词
光学制造
均力静压支撑
调整精度
超大口径反射镜
在线加工检测
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Keywords
optical fabrication
equal-force hydrostatic support
adjustment precision
ultra-large aperture mirror
online testing for fabrication
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
TH161.14
[理学—光学]
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