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题名半导体生产线动态调度方法研究
被引量：14
- 1
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作者
李莉
乔非
姜桦
吴启迪
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机构
同济大学电子与信息工程学院CIMS中心
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出处
《计算机集成制造系统》
EI
CSCD
北大核心
2004年第8期949-954,共6页
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基金
国家973计划资助项目(2002CB312202)
国家自然科学基金资助项目(60374005
+3 种基金
60104004
70271035
70201004)
中国博士后基金资助项目。~~
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文摘
为了满足半导体生产线多目标优化要求,提出了多目标优化动态调度规则。它由正常状态调度规则、瓶颈设备较低在制品水平的调度规则、非瓶颈设备较高在制品水平的调度规则、多批加工设备调度规则以及紧急工件调度规则五种类型的调度规则组成。使用具有半导体生产线本质特征的简化模型,将多目标优化动态调度规则与先入先出法、最早交货期法、临界值法进行了比较,结果表明,多目标优化动态调度规则能够改善半导体生产线的整体性能,更好地优化模型的生产率、加工周期与在制品水平,最终提高准时交货率。
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关键词
半导体生产线
动态调度
生产率
加工周期
在制品水平
准时交货率
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Keywords
semiconductor wafer fabrication
dynamic dispatching
throughout put
cycle time
WIP level
on-time-delivery rate
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分类号
TP278
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名半导体生产线动态在制品水平控制方法
被引量：8
- 2
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作者
胡鸿韬
江志斌
张怀
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机构
上海交通大学机械与动力工程学院
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出处
《计算机集成制造系统》
EI
CSCD
北大核心
2008年第9期1759-1765,共7页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50475027)
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20040248052)
国家863计划资助项目(2006AA04Z128)~~
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文摘
针对半导体晶圆制造中设备众多,生产周期长和多次重入等特点,提出一种在制品水平分解控制方法。首先,通过仿真实验,依据系统关键指标受设备性能变化影响的灵敏度大小,确定设备的约束权重;然后,依据设备约束权重,结合产品的加工参数,确定每种产品各加工阶段合理的在制品水平分布;最后,设备依据实际在制品水平和目标在制品水平的差别和上下游信息,动态地选择工件加工。通过仿真实验,验证了算法的可行性和有效性。
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关键词
半导体晶圆制造系统
调度
在制品水平
设备约束权重
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Keywords
semiconductor wafer fabrication
scheduling
work in process level
machine constraint weight
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分类号
TP278
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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