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低功率圆柱形阳极层离子源的性能研究 被引量：8
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作者 赵杰 唐德礼 +1 位作者 程昌明 耿少飞 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期92-96,共5页
介绍了一种低功率圆柱形阳极层离子源的工作特性和束流分布特性。离子源正常工作参数范围为工作电压200～1200V,放电电流0.1～1.4A,工作气压1.9×10-2～1.7×10-1Pa,气体流量5～20sccm。离子源有两个工作状态:发散状态和准直性... 介绍了一种低功率圆柱形阳极层离子源的工作特性和束流分布特性。离子源正常工作参数范围为工作电压200～1200V,放电电流0.1～1.4A,工作气压1.9×10-2～1.7×10-1Pa,气体流量5～20sccm。离子源有两个工作状态:发散状态和准直性状态。 展开更多
关键词 圆柱形阳极层离子源 离子束 发散状态 准直性状态
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