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题名空间整形飞秒激光图案化加工氧化石墨烯
被引量：8
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作者
郭恒
闫剑锋
李欣
曲良体
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机构
清华大学机械工程系
北京理工大学机械车辆学院
清华大学化学系
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第2期292-300,共9页
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基金
国家重点研发计划(2017YFB1104300)
国家自然科学基金(51775303,52075289)。
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文摘
氧化石墨烯(GO)是结构中含有部分含氧官能团的石墨烯衍生物,通过加热、化学反应和激光诱导等方法,该材料可以被还原。激光辐照可以诱导一定区域内的GO发生还原反应,具有灵活、区域选择性良好、无需特殊环境等优点。提出了一种基于空间整形的飞秒激光图案化加工GO的方法,即空间整形激光辐照法,分别采用空间整形激光辐照法和激光逐点扫描法在GO上加工图案,并对加工结果进行表征和对比,分析了辐照时间、激光通量等参数对加工结果的影响。结果表明空间整形激光辐照法可以图案化加工GO并使加工区域的GO被还原,从而提高图案化加工效率,且该方法具有良好的可重复性和图案灵活性,在制备GO基底的微电路、微器件方面具有应用潜力。
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关键词
激光技术
飞秒激光
空间光整形
氧化石墨烯
图案化加工
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Keywords
laser technique
femtosecond laser
spatial pulse shaping
graphene oxide
patterning
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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题名激光冲击对氧化石墨烯薄膜的结构及力电性能影响
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作者
暴杨帆
王菡
李志刚
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机构
太原理工大学机械与运载工程学院
太原理工大学航空航天学院
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出处
《爆炸与冲击》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第11期154-160,共7页
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基金
山西省应用基础研究计划面上青年项目(201801D221133)。
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文摘
采用激光烧蚀氧化石墨烯薄膜,可实现其微尺度图案化加工,以应用于微纳米电子器件。但激光冲击下氧化石墨烯薄膜的结构及力、电性能变化直接影响了器件稳定性和可靠性。为研究超高应变率加载对氧化石墨烯薄膜的结构及性能的影响,采用不同功率激光冲击氧化石墨烯薄膜,通过对其表面形貌、化学成分表征揭示薄膜结构的改变机理,通过对薄膜冲击前后的硬度、弹性模量、导电率测试探索合理的激光加工参数。结果表明:在1.14 W功率的二氧化碳激光冲击下,可实现加工区氧化石墨烯薄膜的还原且不造成薄膜烧蚀断裂,其电导率可达到1.727×10^(3)S/m,弹性模量为49.97 GPa,硬度为5.71 GPa。
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关键词
激光冲击
图案化加工
电导率
硬度
弹性模量
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Keywords
laser processing
patterned processing
electrical conductivity
hardness
elastic modulus
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分类号
O389
[理学—流体力学]
TN244
[理学—力学]
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题名基于光学介电微球阵列的激光微纳图案化加工研究
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作者
张弋
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机构
北京工业大学材料与制造学部激光工程研究院
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第8期263-272,共10页
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基金
国家自然科学基金(12074019)。
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文摘
介绍了一种通过单层光学介电微球阵列对激光进行调制进而对微球表面的金膜进行加工的工艺方法,采用该方法可以高速地对大面积微球阵列上的金膜进行微米量级分辨率的图案化加工。针对介电微球阵列通过光学近场实现突破衍射极限的聚光进行了分析,然后采用软件模拟了微球对光场的调控,讨论了微球直径以及激光波长对加工精度的影响。通过改变工艺参数,分别研究了激光波长、介电微球直径、离子溅射镀膜厚度及激光照射的能量密度对加工出的金微纳结构的影响,得到了最佳的加工工艺参数。在此最佳工艺条件下能加工出直径约为100 nm的金膜单孔洞结构。通过改变激光的入射角度,研究了适合图案化加工的步进和线宽,最终加工出了线宽为280 nm的简单图案。
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关键词
激光技术
介电微球
微结构阵列
图案化微加工
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Keywords
laser technique
dielectric microspheres
microstructural array
patterned microfabrication
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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