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四氯化硅固定床冷氢化工艺的研究 被引量：16
1
作者 宋佳 曹祖宾 +2 位作者 李会鹏 韩冬云 李大为 《化学工业与工程》 CAS 2011年第3期20-24,共5页
对四氯化硅固定床加氢工艺进行了研究,考察了反应温度、压力、n(氢气)/n(四氯化硅)、m(催化剂)/m(硅)等因素对四氯化硅转化率的影响。该工艺克服了流化床中粉末状物质会严重堵塞反应装置以及催化剂大量流失的缺点,可以指导生产并为企业... 对四氯化硅固定床加氢工艺进行了研究,考察了反应温度、压力、n(氢气)/n(四氯化硅)、m(催化剂)/m(硅)等因素对四氯化硅转化率的影响。该工艺克服了流化床中粉末状物质会严重堵塞反应装置以及催化剂大量流失的缺点,可以指导生产并为企业带来可观效益。经探讨,最适宜工艺条件为:温度500℃;压力3.5 MPa;n(氢气)/n(四氯化硅)为5.0;m(催化剂)/m(硅)为0.100。 展开更多
关键词 多晶硅 四氯化硅(stc) 三氯氢硅(TCS)
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四氯化硅氢化技术进展 被引量：5
2
作者 陈宁 《河北化工》 2011年第12期48-51,共4页
四氯化硅作为西门法高纯多晶硅生产中产量最大的副产物,是一种具有强腐蚀性的毒害物质。目前,国内多晶硅的大规模生产即将兴起,解决其副产物四氯化硅的最有效的方法是转化为三氯氢硅。着重介绍了热氢化、冷氢化、氯氢化、等离子体氢化... 四氯化硅作为西门法高纯多晶硅生产中产量最大的副产物,是一种具有强腐蚀性的毒害物质。目前,国内多晶硅的大规模生产即将兴起,解决其副产物四氯化硅的最有效的方法是转化为三氯氢硅。着重介绍了热氢化、冷氢化、氯氢化、等离子体氢化等国内外四氯化硅氢化技术的工艺特点和研究进展。 展开更多
关键词 四氯化硅(stc) 三氯氢硅(TCS) 转化技术
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