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高精密伺服阀气动测量的研究
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作者 张舒勃 卢泽生 +1 位作者 罗克然 陶崇德 《计量技术》 1990年第11期1-3,共3页
在自动控制系统中采用的电液、气电伺服阀精度很高,测量困难。本文提出了用喷嘴盖板式气动测量方法有效地解决这一难题。用该方法制成的仪器可达到指标:(1)重复测量精度为 0.1微米;(2)仪器稳定性为0.1微米;(3)仪器测单件重复性误差为3σ... 在自动控制系统中采用的电液、气电伺服阀精度很高,测量困难。本文提出了用喷嘴盖板式气动测量方法有效地解决这一难题。用该方法制成的仪器可达到指标:(1)重复测量精度为 0.1微米;(2)仪器稳定性为0.1微米;(3)仪器测单件重复性误差为3σ=0.2微米;(4)不同时间,不同条件的重复精度为0.4微米;(5)仪器的分辨率为0.1微米。 展开更多
关键词 伺服阀 气动测量 喷嘴盖板式
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