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基于PDMS的金属可调谐光栅
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作者 徐胜 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期742-746,共5页
介绍了一种制备周期可调谐金属光栅的新技术。首先采用紫外光刻技术将光栅结构制备至硅衬底,并在其上蒸镀一层薄的银以增强衍射效率,然后采取金属举离工艺,最后转移光栅结构至PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底。利用PDMS高弹性的特点,通过控制P... 介绍了一种制备周期可调谐金属光栅的新技术。首先采用紫外光刻技术将光栅结构制备至硅衬底,并在其上蒸镀一层薄的银以增强衍射效率,然后采取金属举离工艺,最后转移光栅结构至PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底。利用PDMS高弹性的特点,通过控制PDMS的纵、横向机械拉伸程度,对金属光栅周期进行连续调谐,获得预定的目标周期。实验结果表明,金属光栅调谐范围超过其初始周期的30%。 展开更多
关键词 周期可调谐金属光栅 PDMS(聚二甲基硅氧烷) 机械拉伸
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