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管式镀膜自动化设备提升良品率的措施 被引量：3
1
作者 戎有兰 《山西电子技术》 2019年第3期44-46,共3页
硅片良品率的高低与客户的经济效益息息相关,单晶PERC管式镀膜自动化设备中影响良品率的因素主要有吸盘印和划伤。本文主要分析了其产生的原因,并通过有效的改进措施使良品率大幅提升,为客户节约了成本。
关键词 自动化设备 吸盘印 划伤
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退火自动化上下料设备提升良品率的措施 被引量：1
2
作者 卫晓冲 《山西电子技术》 2018年第3期10-11,共2页
介绍了退火自动化上下料设备的功能,说明了该设备产生的不合格硅片的几种表现,分析了硅片产生不良的原因,详细说明了降低不良率采取的措施。
关键词 退火 吸盘印 划伤
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单晶PERC背钝化层自动化设备降低吸盘印的研究 被引量：1
3
作者 张云鹏 赵科巍 +6 位作者 鲁桂林 郭鹏 郭丽 郭卫 杨飞飞 吕涛 刘文超 《山东化工》 CAS 2019年第18期121-122,共2页
单晶PERC全称为发射极及背表面钝化的太阳能电池,是一种高效的晶硅光伏电池结构。在单晶PERC电池生产过程中,自动化设备极易对背钝化层造成吸盘印。针对此现象,对机械手点位、吸盘的压力和打磨吸盘并调整机械手运行轨迹三个方面进行优化... 单晶PERC全称为发射极及背表面钝化的太阳能电池,是一种高效的晶硅光伏电池结构。在单晶PERC电池生产过程中,自动化设备极易对背钝化层造成吸盘印。针对此现象,对机械手点位、吸盘的压力和打磨吸盘并调整机械手运行轨迹三个方面进行优化后,吸盘印问题得到了彻底的解决,改善了设备的运行状态,提高了产品的良率。 展开更多
关键词 PERC 背钝化 吸盘印 良率
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刻蚀工序吸盘印的有效解决措施
4
作者 吕沫 《山西电子技术》 2020年第1期26-28,共3页
本文以自主研发的刻蚀工序自动化设备为基础,针对刻蚀工序后自动化传输中容易产生的划痕缺陷,提出了解决办法,即采用翻转机构将刻蚀面朝上放置避免其与传送带接触,并分析了翻转过程中吸盘印产生的主要原因,并通过大量试验制定出解决吸... 本文以自主研发的刻蚀工序自动化设备为基础,针对刻蚀工序后自动化传输中容易产生的划痕缺陷,提出了解决办法,即采用翻转机构将刻蚀面朝上放置避免其与传送带接触,并分析了翻转过程中吸盘印产生的主要原因,并通过大量试验制定出解决吸盘印的有效措施。 展开更多
关键词 刻蚀 缺陷 吸盘印
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