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硅烷在现代科技中的地位 被引量：5
1
作者 胡晨展 余京松 姚奎鸿 《低温与特气》 CAS 1998年第4期12-15,共4页
评述了硅烷在现代科技中应用的发展，介绍了硅烷在各个领域的应用，指出以更高的纯度、更低的成本、更大量地生产硅烷，充分发挥硅烷的特长，探索更广泛和独特的应用，制造无数优异的功能材料，２１世纪硅烷应用的前景将十分广阔。
关键词 硅烷 化学气相沉积 高纯度 硅 非晶硅 含硅薄膜
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面向芯片制造过程的含Si-N键化合物
2
作者 刘清月 董红 +1 位作者 伍川 瞿志荣 《浙江化工》 CAS 2020年第9期16-22,26,共8页
叙述了在芯片制造过程中,含硅薄膜沉积所需的前体化合物的制备。介绍了芯片制造过程中沉积含硅薄膜的方法,包括原子沉积法、脉冲激光沉积法、化学气相沉积法以及磁控溅射法。未来含硅薄膜在电子材料、光学器件和太阳能电池等方面的需求... 叙述了在芯片制造过程中,含硅薄膜沉积所需的前体化合物的制备。介绍了芯片制造过程中沉积含硅薄膜的方法,包括原子沉积法、脉冲激光沉积法、化学气相沉积法以及磁控溅射法。未来含硅薄膜在电子材料、光学器件和太阳能电池等方面的需求会逐步提高,在此基础上有望制备出更优异的含硅薄膜前体化合物,用于沉积制备纯度高、致密性好以及物理性能好的含硅薄膜。 展开更多
关键词 含硅薄膜 制备方法 硅氮键化合物 前体
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消息报道
3
《化工新型材料》 CAS CSCD 2004年第9期50-52,共3页
关键词 二氯硅烷 含硅薄膜 改性纳米硅酮胶 有机硅 国家标准 太阳能级多晶硅锭 聚氨酯 复合材料 碳纤维 市场需求 热成型聚苯硫醚 纳米材料 环氧树脂 碳纳米管 增强材料 加工助剂 含氟聚合物 聚碳酸酯/不锈钢纤维复合材料 无机阻气性薄膜 有机LED导电材料
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