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台阶阵列阴极真空微电子压力传感器研究
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作者 夏善红 崔大付 +2 位作者 韩泾鸿 陈绍凤 王利 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 1996年第3期182-186,共5页
本文提出并研究了一种新型台阶阵列阴极真空微电子压力传感器。与平面阵列阴极真空微电子压力传感器相比，该传感器在扩展量程和提高灵敏度方面有较大的潜力。作者展示了计算机模拟计算结果和部分实验结果。
关键词 真空微电子 压力传感器 台阶阵列阴极 传感器
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