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LSI 薄膜台阶测量仪的研制
1
作者 王云庆 李庆祥 +1 位作者 薛实福 周兆英 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期268-273,共6页
本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满... 本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满足了ＬＳＩ生产线上的要求。 展开更多
关键词 台阶测量仪 触针 片簧支承 模糊控制 薄膜台阶
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十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验 被引量：1
2
作者 于水 白立芬 +1 位作者 李庆祥 王云庆 《实验技术与管理》 CAS 2000年第1期19-21,共3页
台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活... 台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活、回转精度高、测量力小、调整方便、抗疲劳性好，使用中无磨损、不需润滑、工作稳定可靠等特点，该机构台阶测量仪的要求。 展开更多
关键词 十字片簧 弹性支承 测量机构 台阶测量仪
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基于LVDT的台阶信号拾取方法研究
3
作者 白立芬 李庆祥 +1 位作者 薛实福 于水 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第7期37-38,46,共3页
大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ,以及正确设计传感器的安装角度等措施 ,有效地减小了零点... 大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ,以及正确设计传感器的安装角度等措施 ,有效地减小了零点残余电压的影响 ,并消除测量机构本身固有的二次项误差 ,提高了仪器的测量精度。实验表明 ,该仪器垂直方向测量分辨率可达 0 .5 μm ,重复测量精度为± 0 0 1 5 μm . 展开更多
关键词 台阶测量仪 集成电路 LVDT传感器 信号拾取方法
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智能化的微细台阶测量系统
4
作者 王云庆 李庆祥 +1 位作者 薛实福 周兆英 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期389-390,共2页
智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大... 智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、... 展开更多
关键词 微细台阶 智能化 测量系统 测量原理 台阶测量仪 工作台 测量精度 测量软件 半导体生产工艺 触针
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十字片簧弹性支承机构的设计
5
作者 白立芬 李庆祥 +1 位作者 于水 薛实福 《机械设计》 CSCD 北大核心 2001年第3期18-19,30,共3页
首先建立了接触式台阶测量仪中关键部件———十字片簧支承的杠杆机构的数学模型并对其进行初步设计。直片簧应力有限元分析表明 ,该结构应力分布很不均匀 ;经片簧参数的改进设计 ,得出变截面片簧的设计参数。 0 .2N外加载荷作用下 ,采... 首先建立了接触式台阶测量仪中关键部件———十字片簧支承的杠杆机构的数学模型并对其进行初步设计。直片簧应力有限元分析表明 ,该结构应力分布很不均匀 ;经片簧参数的改进设计 ,得出变截面片簧的设计参数。 0 .2N外加载荷作用下 ,采用Algor有限元软件分别对变截面片簧进行仿真实验 ,最大、最小应力之比由直片簧的 3 1.4降低为7.7,扭转刚度为 0 .0 6N·m ,测量力变化率为 3 6.6N/m 。 展开更多
关键词 台阶测量仪 弹性支承 有限元 集成电路 十字片簧
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微细台阶测量中的非线性误差及消除
6
作者 王云庆 李庆样 周兆英 《机电工程》 CAS 1996年第1期29-30,共2页
为了实现高精度的台阶测量，本文推导出触针位移与差动变压器式位移传感器（ＬＶＤＴ）磁芯轴向位移之间的传递关系，分析了其中存在的非线性二次项误差。并通过合理设计传感器的安装角度，消除了这一误差，保证了测量结果是被测台阶表... 为了实现高精度的台阶测量，本文推导出触针位移与差动变压器式位移传感器（ＬＶＤＴ）磁芯轴向位移之间的传递关系，分析了其中存在的非线性二次项误差。并通过合理设计传感器的安装角度，消除了这一误差，保证了测量结果是被测台阶表面的真实反映。 展开更多
关键词 非线性误差 台阶测量仪
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TY—1型台阶测量仪
7
作者 薛实福 李庆祥 《LSI制造与测试》 1996年第6期37-39,42,共4页
关键词 台阶测量仪 集成电路 LSI VLSI
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接触式台阶测量仪常见故障的调修 被引量：3
8
作者 韩志国 李锁印 +1 位作者 赵革艳 赵新宇 《电子工业专用设备》 2015年第11期43-46,共4页
介绍了接触式台阶测量仪的基本测量原理,针对该仪器使用过程中常见的探针扫描位置问题、探针针尖沾污问题和测力问题等软故障的现象进行了描述,对故障产生的原因进行了分析,最后给出了三种故障的调修方法,该方法在我单位台阶测量仪上进... 介绍了接触式台阶测量仪的基本测量原理,针对该仪器使用过程中常见的探针扫描位置问题、探针针尖沾污问题和测力问题等软故障的现象进行了描述,对故障产生的原因进行了分析,最后给出了三种故障的调修方法,该方法在我单位台阶测量仪上进行了应用,效果良好,希望能为该类仪器的操作人员和仪器维修人员提供借鉴。 展开更多
关键词 接触式台阶测量仪 软故障 探针 测力
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