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题名用于新型等效原理空间实验检验的静电加速度计设计
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作者
韩丰田
李林林
尹永刚
刘天一
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机构
清华大学精密仪器系
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2016年第1期72-76,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(91436107
61374207)
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文摘
等效原理是爱因斯坦广义相对论的基本假设之一,在更高精度上检验等效原理是否成立可以预言新型基本相互作用力。新型等效原理是我国科技工作者提出的一种假设,通过检验两个相同材料但自旋状态不同的宏观物体的自由落体运动来检验等效原理可能存在的破坏。提出了一种面向空间检验新型等效原理的差分静电加速度计设计方案,给出了地面实验用原理样机的结构设计,对结构模态和温度应力进行了有限元仿真;依据支承刚度和量程约束条件,对径向和轴向静电支承控制回路进行了设计和仿真分析;建模分析了高真空下转子静电加转驱动回路的主要性能,仿真结果表明启动过程中达到目标转速（10^4 rpm）的启动时间为36.9 min。
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关键词
新型等效原理
静电加速度计
静电支承
可变电容电机
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Keywords
new equivalence principle
electrostatic accelerometer
electrostatic suspension
variable capacitance motor
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分类号
U666.1
[交通运输工程—船舶及航道工程]
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题名基于静电悬浮转子的硅微陀螺技术
被引量：7
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作者
韩丰田
吴秋平
吴黎明
董景新
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机构
清华大学精密仪器及机械学系
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2008年第3期339-342,347,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50577036)
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文摘
设计了一种转子采用五自由度静电悬浮的微机械陀螺。微陀螺基于玻璃-硅-玻璃键合的三明治结构、环形转子、体硅工艺、电容式位移检测方案;采用公共电极施加高频激励信号,基于隔离网络和频分复用的方法实现检测电极与加力电极的复用以简化陀螺结构;通过有源静电悬浮系统约束环形转子沿五自由度的运动,并提供足够的支承刚度;转子的转速控制基于三相可变电容式电机驱动方式,借助于检测转子与定子旋转电极的电容变化获得转子速度以实现转速闭环控制。目前已加工出基于深反应离子刻蚀工艺的微结构,采用基于DSP的数字控制器实现了环形转子的五自由度稳定悬浮。
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关键词
硅微陀螺
静电悬浮
体硅工艺
电容式位移检测
可变电容式电机
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Keywords
： micromachined gyroscope
electrostatic levitation
bulk micromachiningcapacitive position sensing
variable-capacitance motor
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分类号
U666.1
[交通运输工程—船舶及航道工程]
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