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基于带图形的硅衬底上制备硅薄膜的技术 被引量:4
1
作者 张正元 徐世六 +1 位作者 冯建 胡明雨 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1401-1403,共3页
对硅基MEMS的可动部件很多都是采用在带图形的硅衬底上制备的硅薄膜通过深槽腐蚀释放获得的特点,开展在带图形的硅衬底上制备硅薄膜技术研究,得到一种通过两次硅硅键合、减薄抛光、一次湿法腐蚀硅相结合的在带图形的硅衬底上制备硅薄膜... 对硅基MEMS的可动部件很多都是采用在带图形的硅衬底上制备的硅薄膜通过深槽腐蚀释放获得的特点,开展在带图形的硅衬底上制备硅薄膜技术研究,得到一种通过两次硅硅键合、减薄抛光、一次湿法腐蚀硅相结合的在带图形的硅衬底上制备硅薄膜的有效方法,该方法制备出了的薄膜厚度为10μm,均匀性为±0.5μm,达到了厚膜SOI材料制备的指标要求,硅薄膜完好率达到70%以上,为硅基MEMS的可动部件的制备打下了坚实的基础. 展开更多
关键词 部件 硅薄膜 MEMS
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电梯的安全使用和维护保养 被引量:3
2
作者 刘洪斌 《青年记者》 2011年第10Z期79-80,共2页
电梯的安全使用问题也越来越成为一个不容忽视的大问题。国家质检总局统计显示,目前,中国电梯产量、电梯保有量、年增长量均为世界第一。截至2010年底,中国在用电梯总数达到162.8万台。
关键词 轿厢 增长量 层门 井道 额定载重量 冲顶 伤亡事故 机械零部件 触电急救 部件
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光学头力矩器的特性参数研究 被引量:2
3
作者 张布卿 汝继刚 《记录媒体技术》 2006年第Z2期31-34,共4页
The actuator is the key component in the optical pickup.How to evaluate the performance of the actuator becomes more and more important in the design process.The characteristic parameters of the actuator are explained... The actuator is the key component in the optical pickup.How to evaluate the performance of the actuator becomes more and more important in the design process.The characteristic parameters of the actuator are explained in this paper,and the practical test methods are also given in details. 展开更多
关键词 力矩器 光学头 循迹 部件 共振峰 相频曲线 特性参数 盘片 频率特性 参数表示
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临界流文丘里喷嘴气体流量检定装置的应用 被引量:2
4
作者 张禄 裴锐 《中国计量》 2021年第3期119-120,共2页
临界流文丘里喷嘴气体流量检定装置,具有准确度等级高、稳定性好、纯机械加工件没有可动部件环保节能等特点,在气体流量计量检定和校准中得到了广泛的应用。临界流文丘里喷嘴结构简单、坚固耐用,纯机械部件,维护检定周期为5年。对于批... 临界流文丘里喷嘴气体流量检定装置,具有准确度等级高、稳定性好、纯机械加工件没有可动部件环保节能等特点,在气体流量计量检定和校准中得到了广泛的应用。临界流文丘里喷嘴结构简单、坚固耐用,纯机械部件,维护检定周期为5年。对于批次生产、同一型号、口径的气体流量计,装置可以将系统保存的系数直接导入未检定的仪表中。 展开更多
关键词 气体流量计 部件 流量检定装置 准确度等级 检定和校准 检定周期 临界流文丘里喷嘴 机械部件
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超高真空粘附、摩擦实验装置的研制 被引量:1
5
作者 戚震中 孙建三 +1 位作者 周芷仙 刘玲 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第3期185-188,共4页
本文描述了我们研制的超高真空粘附、摩擦实验装置,实现了超高真空条件下原位分析不同固体表面对粘附、摩擦性能的影响。实验研究证明该装置性能稳定,能满足设计要求。
关键词 摩擦性能 原位分析 粘附力 部件 残余气体 摩擦过程 真空度下降 接触电阻 测量系统 冷阴极
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在首届北京国际博览会上
6
作者 徐开梁 《采矿技术》 1989年第25期5-6,共2页
1989年7月14~23日在北京国际博览会期间,长沙矿山研究院作为中国有色金属展团成员,有8个项目近20种产品和技术参加了展出。这些项目包括:新型流量计、高压水射流切割技术及设备、782高效水泥速凝剂、天井钻机及钻进技术、新型异径管楔... 1989年7月14~23日在北京国际博览会期间,长沙矿山研究院作为中国有色金属展团成员,有8个项目近20种产品和技术参加了展出。这些项目包括:新型流量计、高压水射流切割技术及设备、782高效水泥速凝剂、天井钻机及钻进技术、新型异径管楔式锚杆、液压碎石器、矿用钻具及注浆堵水和注浆加固技术等。由于这些项目颇具新颍性和高技术,引起许多参观者的关注。 展开更多
关键词 天井钻机 水泥速凝剂 注浆加固技术 高压水射流切割 钻进技术 注浆堵水 切割技术 积算 部件 流量测量
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解决全球变暖问题的曙光——太阳能发电(续)
7
作者 Yama Tatagi 刘代福 《世界环境》 1991年第1期7-11,共5页
8.太阳能发电系统的特征用光电池能将太阳的光能直接变为电能的发电系统,除输入的太阳能是无穷无尽的这一特点外,还具有以下特征:(1)无可动部件、无噪音,是清洁的能源由于利用光电池内部光电效应使光能直接转换为电能,没有透平或发电... 8.太阳能发电系统的特征用光电池能将太阳的光能直接变为电能的发电系统,除输入的太阳能是无穷无尽的这一特点外,还具有以下特征:(1)无可动部件、无噪音,是清洁的能源由于利用光电池内部光电效应使光能直接转换为电能,没有透平或发电机等可动部件,故而没有噪声、放射性及爆炸等危险,另外也没有 SO<sub>X</sub>、NO<sub>X</sub> 等有害气体,甚至连 CO<sub>2</sub>的排放也没有,完全是一种清洁的能量转换源。这种发电源和经过漫长年代逐渐积累到地表的能源——如石油等化石燃料发电是完全不同的。 展开更多
关键词 太阳能发电 发电效率 部件 全球变暖问题 系统并网 能量转换 化石燃料发电 热发电 日照强度 电池组件
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驾气流翱翔的无人机
8
作者 Etienne Thierry-Ayme 吴苏妹(编译) 《新发现》 2019年第12期88-91,共4页
首架喷气式无人机问世了:无需机械控制,通过喷气就能改变气流,实现自如飞行!2019年4月,在英国威尔士西北部的兰贝德机场,一架新型飞机成功首飞。无需机翼或尾翼参与操纵,也不借助任何可动部件,就能令飞机自如起落转向,翱翔天空!这在人... 首架喷气式无人机问世了:无需机械控制,通过喷气就能改变气流,实现自如飞行!2019年4月,在英国威尔士西北部的兰贝德机场,一架新型飞机成功首飞。无需机翼或尾翼参与操纵,也不借助任何可动部件,就能令飞机自如起落转向,翱翔天空!这在人类历史上尚属首次!名为MAGMA的该无人机翼展4米,重50千克,飞行速度近150千米/时,其全部动力来自空气流动:通过发动机与机翼部位喷出的超声速废气来改变气流方向,完成各种飞行动作。 展开更多
关键词 新型飞机 无人机 飞行速度 超声速 气流方向 部件 空气流 英国威尔士
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专利摘要
9
作者 王洪宇(摘译) 《铸造》 CAS 北大核心 2022年第6期795-796,共2页
220601造型机[世界知识产权组织] WO2022097713,2021.11.05 TsujiMakoto;Toyoshima Toshiaki;Tabata Yoshihide;等[日本]本发明涉及一种造型机。在本发明中,压铸机的合模驱动装置可以在铸型的开启-闭合方向上驱动可移动模板。可动部件... 220601造型机[世界知识产权组织] WO2022097713,2021.11.05 TsujiMakoto;Toyoshima Toshiaki;Tabata Yoshihide;等[日本]本发明涉及一种造型机。在本发明中,压铸机的合模驱动装置可以在铸型的开启-闭合方向上驱动可移动模板。可动部件与顶针相互配合,该顶针沿着铸型的开启-闭合方向插入到可移动的模具内,并且顶针可以在该方向上驱动可移动模板。 展开更多
关键词 造型机 压铸机 世界知识产权组织 部件 装置 专利摘要 顶针
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电磁式热量表5大优势
10
作者 梁林新 《供热制冷》 2014年第10期30-31,共2页
电磁流量传感器是利用法拉第电磁感应定律的原理工作的。它能够把流速(流量)这个物理量线性地变换为感应电动势这另一物理量。 业内人士众所周知,任何仪表的性能特点,基本上都取决于其根本的工作原理。本文根据电磁式热量表的基本工... 电磁流量传感器是利用法拉第电磁感应定律的原理工作的。它能够把流速(流量)这个物理量线性地变换为感应电动势这另一物理量。 业内人士众所周知,任何仪表的性能特点,基本上都取决于其根本的工作原理。本文根据电磁式热量表的基本工作原理,粗浅地探讨一下电磁式热量表的性能特点。 展开更多
关键词 热量表 电磁流量传感器 磁式 工作原理 流体流量 计量仪表 直管段 线性地 供热计量收费 部件
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减量法计量装置在水泥生产中的应用
11
作者 王传东 《中国建材》 1989年第1期33-34,共2页
减量法计量装置是靠控制部分(单片机、模拟仪表)不停地计算每一时间间隔——周期中,料仓重量的减少来实现的。其特点是:1.计量精度高。其料仓称重方式本质上属于静态计量,它不受零点漂移等因素的影响,因而计量精度高于电子皮带秤、螺旋... 减量法计量装置是靠控制部分(单片机、模拟仪表)不停地计算每一时间间隔——周期中,料仓重量的减少来实现的。其特点是:1.计量精度高。其料仓称重方式本质上属于静态计量,它不受零点漂移等因素的影响,因而计量精度高于电子皮带秤、螺旋秤、冲量流量计等动态计量装置。2.适应重量范围大,一般连续秤难以完成的特大或特小料的计量,它都能完成。系统只要配备不同的料仓、料斗和相应的传感器,精度能达到0.5%以上。3.适应物料范围广。 展开更多
关键词 计量装置 计量精度 时间间隔 电子皮带秤 小料 零点漂移 部件 称重设备 软连接 集散式控制系统
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有可动部件的人造卫星的自适应姿态控制
12
作者 山田克彦 吉河章二 辛培庚 《控制工程(北京)》 1998年第6期32-39,共8页
1 前言近年来具有天线和机械手臂等在大范围内运动的部件的人造卫星逐渐增多。这样的卫星中可动部件的运动是对卫星姿态的扰动,因此要加以补偿。这种情况下常用的方式是以角动量守恒定律为基础的前馈控制。亦即以运动部件的运动为基础... 1 前言近年来具有天线和机械手臂等在大范围内运动的部件的人造卫星逐渐增多。这样的卫星中可动部件的运动是对卫星姿态的扰动,因此要加以补偿。这种情况下常用的方式是以角动量守恒定律为基础的前馈控制。亦即以运动部件的运动为基础计算出它的角动量,使姿态控制飞轮具有角动量以补偿该角动量的控制方法。该法是不提高控制增益,即可保持姿态精度的有效方法。为计算可动部件的角动量,要正确地弄清可动部件的数学模型。如果模型不正确,则模型误差部分即作为姿态扰动而作用于卫星。 展开更多
关键词 人造卫星 自适应 姿态控制 部件
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静态混合器
13
作者 黄运尧 《工业工程》 1988年第1期57-68,共12页
本文介绍一种完全没有运动部件,结构独特、高效节能的搅拌装置——静态混合器(Static Mixer)。文中论述了静态混合器的工作原理、结构特征和静态混合压力损失的计算方法,介绍了静态混合器在工业上应用实例。这种结构简单、混合性能良好... 本文介绍一种完全没有运动部件,结构独特、高效节能的搅拌装置——静态混合器(Static Mixer)。文中论述了静态混合器的工作原理、结构特征和静态混合压力损失的计算方法,介绍了静态混合器在工业上应用实例。这种结构简单、混合性能良好,适用范围广的新型设备,前些时候鲜为人知,但近年来由于它的性能,特点和用途正引起工业界人士的重视,它是一种很有前途的工业装置。 展开更多
关键词 静态混合器 搅拌装置 压力损失 混合性能 部件 工作原理 工业装置 元件数 普通液体 新型设备
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DVD光学头力矩器研究综述
14
作者 张布卿 《记录媒体技术》 2006年第2期30-34,共5页
The technology of optical pickup is the fundamental technology of the optical disk system,and the industry of optical pickup affects the development of the whole optical disk industry.The actuator is the key component... The technology of optical pickup is the fundamental technology of the optical disk system,and the industry of optical pickup affects the development of the whole optical disk industry.The actuator is the key component of the optical pickup and its characteristic parameters determine the quality of the optical pickup directly.The R&D status of the actuator is reviewed.Also,the relevant key parameters of the optical pickup are summarized,and the developing directions are analyzed. 展开更多
关键词 力矩器 DVD 光学头 部件 跟踪运 存储密度 跟踪线 盘片 存储速度
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结构隐形飞机起飞在即
15
作者 Stéphane Fay 白若冰(编译) 《新发现》 2021年第9期50-53,共4页
气流控制这一飞行基本原理将帮助研究人员制造出无需可动部件的飞机。一场航空革命指日可待。气流控制是让飞机飞行的秘诀。自飞机发明以来,一直是铰接部件在支撑着人类长久以来的飞行梦:副翼、方向舵和升降舵都属于铰接部件,确保飞机... 气流控制这一飞行基本原理将帮助研究人员制造出无需可动部件的飞机。一场航空革命指日可待。气流控制是让飞机飞行的秘诀。自飞机发明以来,一直是铰接部件在支撑着人类长久以来的飞行梦:副翼、方向舵和升降舵都属于铰接部件,确保飞机按要求飞行在可预测的既定轨迹上。 展开更多
关键词 隐形飞机 部件 气流控制 方向舵 升降舵 副翼 铰接 基本原理
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MEMS市场发展的新动向
16
作者 孙再吉 《半导体信息》 2007年第3期17-17,共1页
关键词 MEMS 半导体领域 芯片集成 年复合增长率 半导体制造 降低成本 代工厂 芯片厂商 部件 高密度封装
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胜利设计院研制出新型污水除油水力旋流器
17
作者 王勇 《中国海洋平台》 1995年第3期49-49,共1页
用水力旋流器处理采出水是国外80年代一项新技术。与其它采出水处理设备相比,它具有体积小、重量轻、处理量大、除油率高、无可动部件和运行安全可靠等优点而广泛应用于世界各地的海上和陆地油田,倍受人们重视。近年来,胜利油田先后从... 用水力旋流器处理采出水是国外80年代一项新技术。与其它采出水处理设备相比,它具有体积小、重量轻、处理量大、除油率高、无可动部件和运行安全可靠等优点而广泛应用于世界各地的海上和陆地油田,倍受人们重视。近年来,胜利油田先后从国外引进数套水力旋流器处理采出水并取得了良好的经济效益。为使该技术在国内推广。 展开更多
关键词 水力旋流器 污水除油 设计院 胜利油田 采出水处理 处理量 陆地油田 部件 经济效益 除油率
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一种可替代测试分离器的三相流量计
18
作者 王勇 《中国海洋平台》 1992年第6期270-270,共1页
英国Euromatic Machine and Oil有限公司已设计出一种新型三相流量计,可替代常规测试分离器在海上采油平台和海底使用。该流量计能给出单井生产的油、气、水瞬时质量读数,并通过电缆或声纳传至控制中心。操作人员既能把数口井的油输至... 英国Euromatic Machine and Oil有限公司已设计出一种新型三相流量计,可替代常规测试分离器在海上采油平台和海底使用。该流量计能给出单井生产的油、气、水瞬时质量读数,并通过电缆或声纳传至控制中心。操作人员既能把数口井的油输至总管汇,又可准确地掌握单井产量。该流量计的唯一可动部件是涡轮流量计,润湿部件均由镀钛不锈钢制成。 展开更多
关键词 部件 海上采油平台 把数 单井产量 常规测试 管汇 计量精度 控制中心 出油管线 气体分离器
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一种用于海上平台的新型涡街流量计
19
作者 王勇 《石油石化节能》 1992年第2期11-11,共1页
Yewflo 新型涡街流量计适用于各类海洋条件下的油气生产计量,如生产平台试井分离器和散装油分离器的油、气、水计量,还适用于提高采收率系统、火炬气系统和燃料气系统的计量等。流量计的直径为12.7~203mm。该流量计无可动部件。双压电... Yewflo 新型涡街流量计适用于各类海洋条件下的油气生产计量,如生产平台试井分离器和散装油分离器的油、气、水计量,还适用于提高采收率系统、火炬气系统和燃料气系统的计量等。流量计的直径为12.7~203mm。该流量计无可动部件。双压电传感器封在涡街杆内,不直接与计量流体接触,因而避免了砂和其它悬浮固体的磨损;同时也不受流体粘度和密度变化的影响,可在-40~+301℃的温度范围内工作。 展开更多
关键词 涡街流量计 海上平台 部件 流体粘度 压电传感器 生产平台 油分离器 试井 水计量 油气生产
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气动潜水泵通过部级鉴定
20
作者 郑友龙 《有色设备》 1993年第1期22-22,共1页
浙江黄岩华工潜水泵厂与煤炭科学研究总院上海分院联合,在1992年3月成功地开发出新产品 BQQ型气动潜水泵。中国统配煤矿总公司技术发展局于1992年9月20日通过了技术鉴定。BQQ 型气动潜水泵是单级单吸离心泵和叶片式气动马达合成一体的... 浙江黄岩华工潜水泵厂与煤炭科学研究总院上海分院联合,在1992年3月成功地开发出新产品 BQQ型气动潜水泵。中国统配煤矿总公司技术发展局于1992年9月20日通过了技术鉴定。BQQ 型气动潜水泵是单级单吸离心泵和叶片式气动马达合成一体的气动排水机具。该泵造型像一座奖杯,外壳全封闭,可动部件无一处暴露在外, 展开更多
关键词 单级单吸离心泵 部件 技术鉴定 叶片式 浙江黄岩 上海分院 密封性能 技术发展 井巷 井桐
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