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题名双折射双频激光器及干涉仪的关键和全链条技术
被引量：1
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作者
张书练
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机构
清华大学精密仪器系
北京镭测科技有限公司
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第1期181-190,共10页
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基金
国家自然科学基金面上项目(68978018,69778010,4992006,50127501)
中德研究中心中德国际合作项目[GZ405(303/3)]
国家科技重大专项(2009ZX02208-009)。
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文摘
双频激光干涉仪功能强大,50年来保持良好的发展势头,应用面(特别是在先进制造业)越来越宽广。本文以解决关键技术为线,概述笔者及合作者经40年坚韧研究完成的“可伐-玻璃组装式单频He-Ne激光器→双折射双频激光器→双频激光干涉仪”的全链条技术。技术亮点有:开国内可伐-玻璃组装式He-Ne激光器之先,吹制工艺或成历史;开国内外内雕应力双频激光器之先,解大频差和高功率不可得兼之难,保持1 mW功率运转而频差可以在1~40 MHZ范围选择,还在源头上消除了干涉仪一直存在的测量非线性误差。目前,双折射双频激光器和干涉仪已在北京镭测科技有限公司批量生产。中国计量科学院测试结果表明,此双频激光干涉仪非线性误差小于1 nm,测量70 m长度时误差小于5μm。
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关键词
激光器
双频激光
干涉仪
研究历程
可伐-玻璃组装式结构
技术链条
激光雕刻
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Keywords
lasers
dual-frequency laser
interferometer
research history
kovar-glass assembled structure
technology chain
laser engraving
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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