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基于叠层扫描成像技术的成像透镜透射波前测量方法 被引量:4
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作者 纵榜铭 栾嘉蕴 +3 位作者 蒋志龙 孔艳 王绶玙 刘诚 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期131-137,共7页
将叠层扫描成像技术(ePIE)用于成像透镜透射波前的高精度测量。将透镜的透射光束照射至一个固定于二维扫描台的衍射物上,并在其后的探测器上形成衍射光斑,扫描台横向扫描并记录衍射物在每个位置所形成的衍射光斑,采用ePIE精确重建衍射... 将叠层扫描成像技术(ePIE)用于成像透镜透射波前的高精度测量。将透镜的透射光束照射至一个固定于二维扫描台的衍射物上,并在其后的探测器上形成衍射光斑,扫描台横向扫描并记录衍射物在每个位置所形成的衍射光斑,采用ePIE精确重建衍射物体的光场复振幅,并据此反演出透镜后表面的透射光波前;移去透镜后重复上述步骤,可以重建入射到透镜上的光束波前;将透射波前减去入射波前即可得到透镜的透射波前。该方法具有准确性高、结构简单、成本低廉等优点。 展开更多
关键词 测量 透镜透射波前 叠层扫描成像技术 衍射成像 波前重建
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