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题名静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统的研究
被引量：1
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作者
肖奇军
崔峰
李胜勇
陈文元
张卫平
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机构
上海交通大学微纳科学技术研究院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期346-349,共4页
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基金
武器设备预研基金资助(9140A09020706JW0314)
国家自然科学基金资助(60402003)
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文摘
针对一种新颖的基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,提出了悬浮控制系统的原理和设计,并着重对Z轴悬浮控制系统的设计进行了分析,建立了Z轴方向悬浮控制系统的数学模型,通过分析扰动力对转子位移的影响,得出PID(比例-积分-微分控制)参数决定动态刚度,通过仿真结果可以看出,采用反馈线性化可补偿系统的负刚度特性,结合变预载控制实现转子的快速准确定位,为后续的旋转和加矩控制提供良好的条件。
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关键词
静电悬浮控制
微陀螺
反馈线性化
变预载控制
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Keywords
electrostatically suspended control
micro-gyroscope
feedback linearization
variable preload control
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分类号
TH703
[机械工程—仪器科学与技术]
O318
[机械工程—精密仪器及机械]
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