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变层分段多煤形给煤技术及其应用 被引量:1
1
作者 郁鸿凌 林涛 《上海节能》 2011年第5期38-42,共5页
文章总结了变层分段多煤形给煤技术的特点,并与上海市场多项同类技术进行比较。变层给煤作为正转燃煤链条锅炉节能的创新技术,简要介绍了实际应用案例。
关键词 分段 多煤形 分行 横向均衡配风 风门
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近距离煤层变层间距开采下位煤层巷道合理位置研究 被引量:6
2
作者 刘晓明 李铁峥 +4 位作者 雷学涛 黄海鹏 李杨 任玉琦 王文迪 《煤炭工程》 北大核心 2023年第7期1-6,共6页
为确定宁夏梅花井煤矿近距离煤层变层间距开采条件下位3号煤层巷道的合理位置,结合上位2号煤层232204工作面与下位3号煤层的5组层间钻孔信息,通过理论分析、现场实测与数值模拟的方法,探究了上位2号煤层开采后底板煤岩层的破坏范围,分... 为确定宁夏梅花井煤矿近距离煤层变层间距开采条件下位3号煤层巷道的合理位置,结合上位2号煤层232204工作面与下位3号煤层的5组层间钻孔信息,通过理论分析、现场实测与数值模拟的方法,探究了上位2号煤层开采后底板煤岩层的破坏范围,分析了上位煤层开采后底板煤岩层的裂隙发育规律与应力分布规律特征,确定了下位3号煤层工作面回采巷道的合理位置。研究结果表明:依据5组层间钻孔信息计算得出底板煤岩层的最大破坏深度为19.57 m,下位3号煤层基本受到上位2号煤层开采的扰动破坏;变层间距条件下裂隙发育区域呈倒梯形,且应力降低区与边界煤柱的最大水平距离为9.69 m;考虑1.5倍的安全系数,最终确定了下位煤层回采巷道需内错15 m布置,并提出了变层间距条件下巷道分区支护方案。 展开更多
关键词 近距离煤 间距 底板破坏 巷道布置
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多层天线罩功率系数和插入相移的仿真计算 被引量:9
3
作者 陈国平 张弘 杜建春 《电子信息对抗技术》 2006年第1期45-48,共4页
使用四端口网络理论,运用面向对象程序设计方法对变层数天线罩壁结构进行仿真,建立一套计算多介质平板的功率透过系数、功率反射系数和插入相移的通用类。计算了一种典型的A夹层结构的四端口网络理论值与基本电介平板理论值,并进行了比较。
关键词 天线罩 天线罩壁结构 四端口网络理论 面向对象程序设计 C++
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干热岩控热构造系统厘定与类型划分 被引量:8
4
作者 刘德民 韦梅华 +6 位作者 孙明行 张昌生 关俊朋 康志强 祁焱雅 张小波 周天禹 《地球科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第10期3723-3735,共13页
为了研究干热岩成因机理,综合分析了干热岩形成背景、控热构造系统及尺度.地球中的干热岩具有特殊的形成构造背景,控热构造对干热岩热能的传输与聚敛具有很重要的作用,导致岩石圈不同热结构和热异常.控热构造可划分为生热、导热、储热... 为了研究干热岩成因机理,综合分析了干热岩形成背景、控热构造系统及尺度.地球中的干热岩具有特殊的形成构造背景,控热构造对干热岩热能的传输与聚敛具有很重要的作用,导致岩石圈不同热结构和热异常.控热构造可划分为生热、导热、储热和释热构造.生热构造包括地幔软流圈底辟,具有大量高放射性元素的岩浆房,活动性的深大断裂等;中、下地壳脆韧性转换带,活动的韧性剪切带是导热构造;中、下地壳的低阻高导体,韧性剪切流变层既是导热层,也是储热构造;火山、地震、浅表层次的活动断裂等为释热构造;控热构造的类型受到构造尺度和构造背景的限定.由于地壳中控热构造分布状态及发育特征差异较大,从而导致干热岩等地热能资源在地壳中的埋深、规模、热量以及分布状态等也有较大差异. 展开更多
关键词 干热岩 控热构造 韧性剪切流 热聚敛与传输 地球物理.
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超声冲击工艺参数对SMA490BW钢塑变层的影响 被引量:7
5
作者 吕宗敏 何柏林 于影霞 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期30-33,共4页
用HJ-Ⅲ型超声冲击设备对SMA490BW钢表面进行冲击处理,利用GX-51OLYMPUS金相显微镜观察冲击处理后试样表面微观结构的变化,测试试样冲击层的深度。结果表明:超声冲击使SMA490BW钢表层产生严重的塑性变形,电流相同时塑变层深度随着冲击... 用HJ-Ⅲ型超声冲击设备对SMA490BW钢表面进行冲击处理,利用GX-51OLYMPUS金相显微镜观察冲击处理后试样表面微观结构的变化,测试试样冲击层的深度。结果表明:超声冲击使SMA490BW钢表层产生严重的塑性变形,电流相同时塑变层深度随着冲击时间的延长而增加;电流为2.0、1.5 A时的塑变层深度基本相同,说明塑变层深度并不会随冲击强度的增加而无限增加;冲击强度相对较大时,试样表层开始出现微观缺陷使表面质量劣化。 展开更多
关键词 超声冲击 冲击参数 缺陷
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硼硅酸盐核废料玻璃在深地质处置过程中腐蚀机理研究进展
6
作者 张宇轩 马瑞 +2 位作者 崔秀涛 吴楠楠 欧阳顺利 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期1749-1760,共12页
在放射性核废料深地质处置过程中,硼硅酸盐玻璃是目前国际上首选的固化材料。但是在10^(5)~10^(6)年的时间尺度上不能排除地下水对玻璃侵蚀,因此需要进行玻璃在水溶液环境中的长时间腐蚀机制的研究。研究过程发现,大多数玻璃最终都会以... 在放射性核废料深地质处置过程中,硼硅酸盐玻璃是目前国际上首选的固化材料。但是在10^(5)~10^(6)年的时间尺度上不能排除地下水对玻璃侵蚀,因此需要进行玻璃在水溶液环境中的长时间腐蚀机制的研究。研究过程发现,大多数玻璃最终都会以一个及其缓慢的残余速率腐蚀,因此可以使利用玻璃在深地质处置核废料。本综述针对硼硅酸盐核废料玻璃现有的腐蚀现象、行为及模型进行了总结,并讨论其中存在的问题,为玻璃长期腐蚀性研究提出可能的研究设想。 展开更多
关键词 核废料玻璃 腐蚀 化学亲和力模型
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氧化物忆阻器材料及其阻变机理研究进展 被引量:4
7
作者 殷一民 程海峰 +1 位作者 刘东青 张朝阳 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2016年第9期9-14,共6页
忆阻器是目前材料和电子领域的研究前沿和热点,氧化物材料在忆阻器研究中具有重大价值。本文综述了近年来研究较多的几种典型氧化物忆阻器材料,包括TiO_2、SiO_x、HfO_x、Al_2O_3、ZnO、ZrO_2、TaOx以及ZnSnO_3等,并介绍了导电细丝机制... 忆阻器是目前材料和电子领域的研究前沿和热点,氧化物材料在忆阻器研究中具有重大价值。本文综述了近年来研究较多的几种典型氧化物忆阻器材料,包括TiO_2、SiO_x、HfO_x、Al_2O_3、ZnO、ZrO_2、TaOx以及ZnSnO_3等,并介绍了导电细丝机制、氧化还原机制、边界迁移机制以及相变机制等四种常见的阻变机理,展望了未来忆阻器材料研究的方向与重点。 展开更多
关键词 氧化物材料 忆阻器 综述 忆阻效应 机理
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细菌色素在水体环境中的指示作用与意义
8
作者 阚家薇 段丽琴 +2 位作者 宋金明 袁华茂 李学刚 《中国环境科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期4849-4858,共10页
细菌色素(Bchl)作为厌氧光合细菌(APB)的主要色素,其在沉积物中的信息是研究古环境变化的重要生物标志物.系统总结了细菌色素的来源、APB的分布、色素分析测定方法及其在指示古海洋、古湖泊以及现代水生环境的水文条件、极地冰盖变化和... 细菌色素(Bchl)作为厌氧光合细菌(APB)的主要色素,其在沉积物中的信息是研究古环境变化的重要生物标志物.系统总结了细菌色素的来源、APB的分布、色素分析测定方法及其在指示古海洋、古湖泊以及现代水生环境的水文条件、极地冰盖变化和水体缺氧事件发生中的应用.细菌色素主要来源于水体化变层处的绿硫细菌(GSB)和紫硫细菌(PSB)等厌氧光合细菌;PSB的碳同位素分馏较GSB的高.因APB独特的生存环境,产生的色素能够指示湖泊的化变层深度变化及半混合历史.目前针对细菌色素的分析方法主要有光谱法、色谱法及色谱-质谱联用法,其中色谱-质谱联用法在色素定性和定量上有绝对优势.细菌色素在水体和沉积物中的保存易受到物理、化学、生物等因素的干扰,其稳定性还存在不确定性,且其分析方法还在摸索中,需进一步深入探究和优化测定方法和降解保存机制,以便将其广泛运用到古环境、古气候研究中. 展开更多
关键词 细菌叶绿素 厌氧光合细菌 水体缺氧 古环境
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离子辐照导致硼硅酸盐玻璃浸出性能的变化
9
作者 姜宇哲 王左江 +4 位作者 孙钊 赵野君 邓文敏 王铁山 陈亮 《核化学与放射化学》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期48-56,共9页
在高放射性废物深地质处置过程中,放射性核素衰变引起的强辐射场会导致玻璃固化体浸出性能的变化。本工作利用15 MeV Si离子辐照模拟深地质处置强辐射场,采用MCC-1静态浸泡法在pH=9.0的KOH溶液中对硼硅酸盐玻璃分别浸泡1、3、7、14、28... 在高放射性废物深地质处置过程中,放射性核素衰变引起的强辐射场会导致玻璃固化体浸出性能的变化。本工作利用15 MeV Si离子辐照模拟深地质处置强辐射场,采用MCC-1静态浸泡法在pH=9.0的KOH溶液中对硼硅酸盐玻璃分别浸泡1、3、7、14、28 d,结合电感耦合等离子体发射光谱仪、拉曼光谱仪以及扫描电镜研究了辐照前后玻璃样品的浸出行为。结果表明:随着浸出时间推移,玻璃表面会不断地腐蚀脱落;辐照后玻璃样品的浸出率明显高于未辐照玻璃样品的,蚀变层结构与元素组成无明显差异,但厚度明显增大;形成的蚀变层中Na元素和B元素基本耗尽;蚀变层中SiO_(2)网络体结构溶解,生成大量的Si—OH键及硼硅酸盐结构,并出现四配位B单元向三配位B单元的转变。 展开更多
关键词 硼硅酸盐玻璃 离子辐照 浸出率 拉曼光谱
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模拟高放硼硅酸盐玻璃固化体的浸出行为
10
作者 文焱立 刘春雨 +3 位作者 林鹏 刘夏杰 张蒙 许章炼 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期1987-1999,共13页
基于R7T7硼硅酸盐玻璃配方,采用挂片静态浸泡法评价了不同包容量的R7T7硼硅酸盐玻璃固化体在不同温度和2种浸泡剂(去离子水和北山模拟地下水)浸蚀长达365 d的浸出行为。同时,用X射线衍射仪,扫描电子显微镜-X射线能谱仪和电感耦合等离子... 基于R7T7硼硅酸盐玻璃配方,采用挂片静态浸泡法评价了不同包容量的R7T7硼硅酸盐玻璃固化体在不同温度和2种浸泡剂(去离子水和北山模拟地下水)浸蚀长达365 d的浸出行为。同时,用X射线衍射仪,扫描电子显微镜-X射线能谱仪和电感耦合等离子体质谱仪等手段分析了蚀变层物相、形貌及成分随浸出时间的变化情况。结果表明:包容率超过20%时玻璃开始出现异相,均匀性变差,其成分主要为富钼物质和贵金属。其后的浸出实验中发现玻璃的质量损失率与浸出温度成正相关。在初始浸出阶段,各个温度下Na,Si和B3种元素在去离子水比模拟北山地下水的浸出率高,而平衡后三者在2种浸出剂中的浸出率相当。玻璃固化体表面在浸泡365 d后有多种结晶相生成,主要呈球状,花状和棱状和蜂窝状形貌,主要由Mg-Si-O和Si-Nd-Gd-O等成分组成。玻璃固化体的浸出过程由离子扩散机制和玻璃固化体网络溶解机制共同控制。这些研究结果可为中国未来高放玻璃固化体在地质处置过程的安全评价提供数据支撑。 展开更多
关键词 硼硅酸盐玻璃 静态浸出 浸出行为 浸出机理
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近距离双厚煤层变层间距条件下回采巷道布置方式研究
11
作者 郭伟亮 常毛毛 宋晓寒 《煤炭与化工》 CAS 2023年第11期1-5,共5页
在近距离煤层群开采中,下位煤层巷道为了避开上位煤层开采造成的不利应力环境,选择合理的巷道布置方式是较为有效的技术手段。本文以准旗煤矿6上煤层和6号煤层近距离下行开采为背景,采用数值模拟手段研究了近距离双厚煤层变层间距条件... 在近距离煤层群开采中,下位煤层巷道为了避开上位煤层开采造成的不利应力环境,选择合理的巷道布置方式是较为有效的技术手段。本文以准旗煤矿6上煤层和6号煤层近距离下行开采为背景,采用数值模拟手段研究了近距离双厚煤层变层间距条件下回采巷道的合理布置方式,分析了层间煤柱应力传导的规律,模拟了下位煤层回采巷道在不同层间距和布置方式下的应力环境,并对下部6煤首采工作面和接续工作面的回采巷道布置方案进行了设计。6号煤层首采工作面巷道采用内错式布置方式,后续工作面采用平移式布置方式,为兼顾变层间距条件下6煤工作面巷道布置,6煤巷道内错同侧6上煤巷道的距离应不小于30 m。 展开更多
关键词 近距离 双厚煤 间距 应力分布 巷道布置方式 数值模拟
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变层厚打印对选区激光熔化试件成形质量影响研究
12
作者 王堃 刘玉德 +3 位作者 石文天 韩剑 周裕圣 肖乐欢 《应用激光》 CSCD 北大核心 2023年第12期34-46,共13页
试验以选区激光熔化(SLM)成形TC4固定层厚成形试件的试验研究为基础,提出变层厚打印的成形方法,并设计变层厚叠加方式,探究变层厚试件与固定层厚试件成形质量之间的差异。研究表明,采用200μm→200μm→100μm→100μm→100μm→50μm... 试验以选区激光熔化(SLM)成形TC4固定层厚成形试件的试验研究为基础,提出变层厚打印的成形方法,并设计变层厚叠加方式,探究变层厚试件与固定层厚试件成形质量之间的差异。研究表明,采用200μm→200μm→100μm→100μm→100μm→50μm→50μm→50μm→50μm层厚叠加模式成形的试件致密度高于200μm层厚试件,可达99.13%,成形速率为2.054 mm^(3)/s,优于100μm层厚试件;所得的变层厚试件表面粗糙度为14.2μm,接近50μm层厚试件表面粗糙度。该变层厚试件抗拉强度可达1 047.76 MPa,延伸率可达6.18%,拉伸断口形貌与50μm层厚试件相似。通过显微组织分析可知,该变层厚试件具有较为致密的针状马氏体α′。变层厚成形可为SLM成形提供新的方法,在一定条件下,提高成形质量和成形速率,实现SLM高质量、高速率成形试件。 展开更多
关键词 选区激光熔化 厚成形 成形质量 表面粗糙度 力学性能
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应用于电弧增材制造技术的变层厚分层切片算法
13
作者 刘帅旗 刘仁培 +2 位作者 李忠民 杜心伟 沈泳华 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第10期120-126,I0009,I0010,共9页
在实际生产的过程中,应用电弧增材制造技术对失效模具进行修复时,会在边缘部位出现缺肉、凹陷、过堆积等成形不良的问题,从而导致熔覆层各处厚度不一、起伏较大,对实际的增材制造结果造成精度上的较大误差.为了减少上述缺陷,提出了一种... 在实际生产的过程中,应用电弧增材制造技术对失效模具进行修复时,会在边缘部位出现缺肉、凹陷、过堆积等成形不良的问题,从而导致熔覆层各处厚度不一、起伏较大,对实际的增材制造结果造成精度上的较大误差.为了减少上述缺陷,提出了一种变层厚分层切片算法,主要包括模型前处理、焊接参数的确定、对模型实际切片厚度的修正,并完成最终的增材制造过程.变层厚分层切片算法通过调节熔覆过程中的搭接率从而实现对成形件层厚变化的精准把握,提高成形精度的同时,还可以减少缺肉、凹陷、过堆积等缺陷.通过选取不同的模型对其进行变层厚分层切片以及对应的路径规划,验证了算法的适用性.最后,采用变层厚分层切片算法对棱台结构模型进行处理,并进行熔覆试验.结果表明,理论计算得到的填充路径可以对当前分层面实现完全填充,实际的熔覆高度和平面尺寸与理论计算值相差较小,在热积累较小的时候,成形精度可以达到工业要求.创新点:(1)相对于电弧增材制造技术中传统的等厚分层切片算法,提出了变层厚分层切片算法,能够实现在特定的焊接工艺参数下模型的计算层厚和实际熔覆层厚的相对误差保证在较小范围内.(2)解决了电弧增材制造技术在实际生产中因分层不合理导致的凹陷、过堆积等缺陷,提高了模型的成形精度. 展开更多
关键词 电弧增材制造 厚分切片 成形缺陷 模具修复
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p/i 界面的缓变层对大面积(2790cm^2)a-Si : H 太阳电池性能影响的研究 被引量:2
14
作者 于化丛 杨红 +2 位作者 王克俭 胡宏勋 崔容强 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期421-426,共6页
报道了在大面积(2790cm2)p-i-n型a-Si∶H异质结太阳电池p/i界面之间引入缓变层(CGL∶C,CGL∶B∶C)对电池性能影响的研究结果。实验发现,带有CGL∶C的a-Si∶H太阳电池性能的改善主要来源于... 报道了在大面积(2790cm2)p-i-n型a-Si∶H异质结太阳电池p/i界面之间引入缓变层(CGL∶C,CGL∶B∶C)对电池性能影响的研究结果。实验发现,带有CGL∶C的a-Si∶H太阳电池性能的改善主要来源于开路电压的提高,带有CGL∶B∶C的a-Si∶H太阳电池性能的提高主要来源于填充因子FF的增加。提出了带有缓变层a-Si∶H电池的能带模型,据此分析了p/i结附近载流子的复合动力学过程,从理论上解释了实验中所发现的现象。 展开更多
关键词 界面 非晶硅 太阳电池
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带有缓变层的大面积集成型a-Si:H太阳电池的研制 被引量:2
15
作者 杨红 于化丛 +4 位作者 胡宏勋 崔容强 穆少俊 刘明义 辛士宇 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第3期235-239,共5页
报道了把缓变层用于大面积(2790cm2)单结集成型a-Si:H太阳电池板工业化生产的研究工作。分析了它对太阳电池板性能参数Voc、Isc、FF、η的影响和对提高a-Si:H太阳电池板转换效率的作用。试验所得电池板的... 报道了把缓变层用于大面积(2790cm2)单结集成型a-Si:H太阳电池板工业化生产的研究工作。分析了它对太阳电池板性能参数Voc、Isc、FF、η的影响和对提高a-Si:H太阳电池板转换效率的作用。试验所得电池板的平均开路电压达25.1V,平均转换效率达6.2%,分别比同时生产的无级变层电池板的水平提高9.13%和16.98%。试验中最好的电池板开路电压达25.6V,转换效率达6.6%。 展开更多
关键词 集成型 太阳能电池 制造
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沉积物中细菌叶绿素的环境指示意义 被引量:3
16
作者 王曼 季峻峰 +1 位作者 陈骏 张传伦 《高校地质学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期23-29,共7页
沉积物中的光合细菌与细菌叶绿素(BChl)包含着丰富的古湖泊和古海洋信息。对光合细菌的生存环境,BChl的分布、保存、演化规律等方面进行了阐述,并探讨了湖泊和海洋沉积物中BChl的环境指示意义。BChl作为厌氧光合细菌的主要色素,不但可... 沉积物中的光合细菌与细菌叶绿素(BChl)包含着丰富的古湖泊和古海洋信息。对光合细菌的生存环境,BChl的分布、保存、演化规律等方面进行了阐述,并探讨了湖泊和海洋沉积物中BChl的环境指示意义。BChl作为厌氧光合细菌的主要色素,不但可以指示水体中厌氧光合细菌的演变,而且能够反映化变层深度变化和水体环境特征,揭示季节性和年际尺度的气候变化。同时,根据沉积物中BChl含量可以估算古气候环境下湖泊和海洋的厌氧初级生产力。 展开更多
关键词 沉积物 光合细菌 BChl
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硼硅酸盐玻璃固化体蚀变层结构及浸出行为研究 被引量:2
17
作者 张海洋 吴浪 +2 位作者 王宾 姚颖 康泽 《玻璃》 2021年第5期7-14,共8页
采用挂片静态浸泡法评价了硼硅酸盐玻璃固化体经模拟地下水侵蚀长达364 d的浸出行为,用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜-X射线能谱仪(BSE-EDS)等手段分析了蚀变层物相、形貌及成分随时间的变化情况。结果表明,浸泡56 d后玻璃固化体表... 采用挂片静态浸泡法评价了硼硅酸盐玻璃固化体经模拟地下水侵蚀长达364 d的浸出行为,用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜-X射线能谱仪(BSE-EDS)等手段分析了蚀变层物相、形貌及成分随时间的变化情况。结果表明,浸泡56 d后玻璃固化体表面出现了蜂窝状的页硅酸盐,其结构疏松且孔隙较大,使得Si、B的浸出速率略有升高;91 d后由蜂窝状转变为短棒状形貌并出现了棱柱状CaCO_(3)和片状BaSO_(4)晶体,随着时间进一步延长其结构变得更加致密,Si、B的浸出速率因此逐渐下降且Si的浸出比B低一个数量级;蚀变层主要由富Mg硅酸盐二次相和凝胶层构成,其厚度随着浸泡时间的延长而增加,二次相厚度在182 d后基本保持不变;Cs在7 d内快速浸出后逐渐下降,U的浸出速率总体呈下降趋势。 展开更多
关键词 硼硅酸盐玻璃 静态浸出 模拟地下水
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云龙分水岭铁矿成因 被引量:1
18
作者 杨光 郭桂林 +1 位作者 戚林坤 孔云丽 《云南地质》 2007年第4期411-415,共5页
分水岭铁矿产于千枚状板岩夹大理岩地层中,层状或似层状产出,围岩和矿体中石英、方解石脉发育,局部产囊状方铅矿,矿床成因属受热液矿化影响的沉积变质磁铁矿床。
关键词 沉积 滨海-浅海 酸-碱过渡环境 磁铁矿 分水岭云龙云南
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含扩变层约束阻尼复合结构性能优化 被引量:2
19
作者 丁亮 林国兴 张明霞 《材料开发与应用》 CAS 2017年第4期113-121,共9页
本文以一种典型结构作为研究对象,从约束层、扩变层两方面对其减振处理方案进行优化。通过利用大型通用有限元软件ANSYS,以固有频率、损耗因子和频率响应曲线作为评价参数,讨论和分析了影响典型结构动态性能的因素。
关键词 粘弹性 约束阻尼 优化
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f_T=140GHz,f_(max)=200GHz的超高速InP DHBT 被引量:2
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作者 蔡道民 李献杰 +3 位作者 赵永林 刘跳 高向芝 郝跃 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第10期743-746,共4页
InP/InGaAs/InP DHBT具有频带宽、电流驱动能力强、线性好、相位噪声低和阈值电压一致性好等优点成为研究热点。通过优化外延材料结构设计和采用四元InGaAsP缓变层消除集电结电流阻塞效应;改进发射极-基极自对准工艺和集电区台面侧向腐... InP/InGaAs/InP DHBT具有频带宽、电流驱动能力强、线性好、相位噪声低和阈值电压一致性好等优点成为研究热点。通过优化外延材料结构设计和采用四元InGaAsP缓变层消除集电结电流阻塞效应;改进发射极-基极自对准工艺和集电区台面侧向腐蚀工艺,降低Rb和Cbc乘积;优化PI钝化工艺和空气桥互联等工艺,实现了发射极面积为2μm×10μm的自对准InP/InGaAs/InP DHBT器件,其直流增益β约为25,击穿电压BVCEO≥7 V@10μA,在VCE=4 V,Ic=10 mA下,截止频率fT=140 GHz,最高振荡频率fmax=200 GHz,优于同一外延片上的非自对准InP DHB器件,该器件将可应用于高速光通信和微波毫米波通信。 展开更多
关键词 双异质结双极晶体管(DHBT) 发射极-基极自对准 空气桥 侧向腐蚀
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