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题名2 kW射频板条CO_2激光器电极表面膜特性研究
被引量：3
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作者
杨卫红
张雪
李建东
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机构
文华学院机械与电气工程学部
武昌理工学院信息工程学院
天津市蓟州区下营医院
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出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
2019年第1期136-142,共7页
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基金
博士基金资助项目(项目编号:2014AAA02)
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文摘
国内高功率射频板条CO_2激光器铜电极表面没有镀介质膜,裸铜在放电程中,表面容易氧化,受激光电子溅射及激光损伤,波导损耗大,影响了激光器的出光效率。针对以上问题,课题组研制了Al+Al_2O_3混合波导介质膜,对该电极膜层进行了成分分析,测试了抗电子溅射能力,检测了膜层表面对CO_2光波反常色散特性。结果表明,镀膜层主要成分为Al和O,原子数Al∶O远大于2∶3,膜层结构为Al+Al_2O_3,满足电极镀膜层结构设计。测试了不同角度下的反射率,在掠入射角为10°～170°时,Al_2O_3膜层对波长10.6μm CO_2光波的最高反射率为85%。Al_2O_3镀膜电极2 kW射频板条CO_2激光器,电光转换效率平均为10.4%;裸铜电极2 kW射频板条CO_2激光器,平均电光转换效率为6.5%。
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关键词
射频板条CO2激光器
Al+Al2O3波导介质膜
受激光电子溅射
激光损伤
波导损耗
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Keywords
RF slab CO2 laser
Al+Al2O3 waveguide dielectric film
laser electron sputtering
laser damage
waveguide loss
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分类号
TG456.7
[金属学及工艺—焊接]
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