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热导式硅流量传感器温度性能的研究
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作者 冯耀兰 陈艳 +2 位作者 刘方悟 黄金彪 童勤义 《传感技术学报》 CAS CSCD 1991年第4期28-32,共5页
本文从实验上研究了环境温度、流体温度和芯片温度对热导式硅流量传感器性能的影响。所得出的结果为有效的温度补偿提供了理论与实验的依据,并可望用于实际应用。
关键词 热导式 硅流量传感器 温度补偿 双芯片输出相减法
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