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相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量研究
被引量:
7
1
作者
周小珊
李岩
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期1013-1017,共5页
为了克服一般绝对距离测量方法量程和精度不能同时满足的问题,提出一种相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量方案。该方案使用相位激光测距技术进行粗测,双纵模He-Ne激光器外差干涉测长技术进行精测,保证两者结合的单值性。建立...
为了克服一般绝对距离测量方法量程和精度不能同时满足的问题,提出一种相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量方案。该方案使用相位激光测距技术进行粗测,双纵模He-Ne激光器外差干涉测长技术进行精测,保证两者结合的单值性。建立测量系统,对方案的可行性进行了实验验证,并对影响系统稳定性的因素进行了分析。与双频激光干涉仪的比对结果表明:测量标准差优于1 mm,可以满足一些大尺寸的测量精度要求。
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关键词
绝对距离测量
相位
激光
测距
外差干涉测量
双
纵模
he
-
ne
激光器
下载PDF
职称材料
题名
相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量研究
被引量:
7
1
作者
周小珊
李岩
机构
清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期1013-1017,共5页
文摘
为了克服一般绝对距离测量方法量程和精度不能同时满足的问题,提出一种相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量方案。该方案使用相位激光测距技术进行粗测,双纵模He-Ne激光器外差干涉测长技术进行精测,保证两者结合的单值性。建立测量系统,对方案的可行性进行了实验验证,并对影响系统稳定性的因素进行了分析。与双频激光干涉仪的比对结果表明:测量标准差优于1 mm,可以满足一些大尺寸的测量精度要求。
关键词
绝对距离测量
相位
激光
测距
外差干涉测量
双
纵模
he
-
ne
激光器
Keywords
absolute distance measurement
phase distance meter
he
terody
ne
interferometer
he
-
ne
laser with dual longitudinal modes
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
相位激光测距与外差干涉相结合的绝对距离测量研究
周小珊
李岩
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2010
7
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