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题名自解耦二维微位移平台设计与分析
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作者
张玉嘉
张剑
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机构
同济大学机械与能源工程学院
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出处
《机械工程师》
2021年第12期33-35,40,共4页
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文摘
提出了一种以压电陶瓷驱动、以柔性铰链传动的自解耦二维微位移平台。该平台通过桥式机构放大输入位移,并基于双四杆平行四边形导向机构实现二自由度运动解耦。建立了柔性铰链的伪刚体模型,推导出柔性铰链弯曲刚度、平台输出刚度表达式,通过能量法计算了平台一阶固有频率。经试验验证,平台工作行程为126.10μm×126.30μm,重复定位精度可达0.29μm,运动耦合率小于2.2%,一阶固有频率为1096.12 Hz。结果表明,文中的设计分析方法可靠,微位移平台性能表现较好,具有较高的实用意义。
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关键词
压电陶瓷
柔性铰链
桥式机构
双四杆平行四边形导向机构
运动解耦
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Keywords
piezoelectric ceramics
flexible hinge
bridge mechanism
double four-bar parallelogram guide mechanism
motion decoupling
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
TH702
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