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光栅纳米测量的研究与进展 被引量：5
1
作者 马修水 费业泰 +2 位作者 陈晓怀 李桂华 权继平 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2006年第4期53-55,共3页
概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的纳米光栅测量系统的测量原理及其关键技术,重点讨论了基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理。在对上述各测量系统分析研究的基础上,指出光... 概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的纳米光栅测量系统的测量原理及其关键技术,重点讨论了基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理。在对上述各测量系统分析研究的基础上,指出光栅纳米测量进一步研究的关键在于:研究基于新型测量原理的光栅纳米测量系统,研制光栅纳米测量系统的精密机械调整机构、光电信号处理和细分技术、误差分离和修正技术等。 展开更多
关键词 光栅纳米测量 双光栅测量系统 炫耀光栅 误差修正技术 二次莫尔条纹
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纳米测量精度光栅传感器研究综述 被引量：3
2
作者 马修水 费业泰 +2 位作者 陈晓怀 李桂华 权继平 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2006年第9期69-72,共4页
概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的光栅纳米测量系统、基于二次莫尔条纹原理的纳米光栅测量系统的测量原理,介绍了纳米测量精度光栅传感器研究的关键技术。
关键词 光栅纳米测量 双光栅测量系统 炫耀光栅 误差修正技术 二次莫尔条纹
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