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声表面波技术在微流控研究领域中的应用 被引量：4
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作者 杨旭豪 刘国君 +3 位作者 赵天 杨志刚 刘建芳 李新波 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第7期438-446,共9页
介绍了声表面波(SAW)器件的基本构造及工作原理,分析了声表面波进入微流体后所产生的复杂的流-固耦合效应。根据液滴随着声表面波功率的增大所出现的不同响应,将声表面波技术在微流控研究领域中的应用具体分为液滴振动及粒子聚集、液滴... 介绍了声表面波(SAW)器件的基本构造及工作原理,分析了声表面波进入微流体后所产生的复杂的流-固耦合效应。根据液滴随着声表面波功率的增大所出现的不同响应,将声表面波技术在微流控研究领域中的应用具体分为液滴振动及粒子聚集、液滴平移及粒子收集、微流体喷射、微流体雾化四大类。分别讨论了各类应用的工作原理及其在相关研究领域中典型的应用实例,指出了声表面波相比其他驱动方式在微流控研究领域中的优势。综合国内外研发现状,分析了目前研究过程中存在的问题,提出了声表面波驱动微流体今后的研究方向。 展开更多
关键词 声表面波(SAW) 叉指型换能器(idt) 微流体 液滴振动 液滴平移 微流体喷射 微流体雾化
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